表面处理方法技术

本发明专利技术涉及不使用危险性高的硝酸等除去构成真空容器等真空处理装置的部件的表面附着的药液和金属等的附着物的方法。该方法是以构成真空处理装置的金属制部件作为被处理物的表面处理方法，其特征为，对上述被处理物的表面进行电解抛光、部分电解抛光、化学抛光、酸洗或电解酸洗后，利用在大于等于０．５重量％、小于３重量％的稀碱液中，添加羧酸或羧酸盐以使浓度达到大于等于０．５重量％、小于１０重量％而得到的碱系螯合物溶液对上述被处理物的表面进行洗涤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
表面处理方法，其是以构成真空处理装置的金属制部件作为被处理物的表面处理方法，对上述被处理物的表面进行电解抛光、部分电解处理、化学抛光、酸洗或电解酸洗后，利用碱系螯合物溶液对上述被处理物的表面进行洗涤，所述碱系螯合物是在大于等于０．５重量％、小于３重量％的稀碱液中添加羧酸或羧酸盐以使浓度达到大于等于０．５重量％、小于１０重量％而得到的。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻吉荣，野村健，石泽克修，齐藤真一，山口真奈美，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：JP[日本]