温控间距调整装置及镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种温控间距调整装置及镀膜设备，包括工艺鼓以及设置在工艺鼓外侧的喷头，工艺鼓与喷头之间安装有用于对喷头两端加热补偿的加热件。在镀膜过程中，工艺鼓的中间区域向喷头辐射的热量较多，工艺鼓的两端区域向喷头辐射的热量较少，喷头会发生变形,喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距具有不一致性，从而导致镀膜的不均匀性，通过加热件对喷头两端加热补偿，让喷头在整体上呈现平整态势，被加热补偿后的喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距大小一致，提高镀膜的均匀性。本申请仅由加热温度一个参数控制间距大小，简单可靠。根据不同技术要求调整工艺鼓的鼓面与喷头之间的间距，可以提高化学源利用率和镀膜均匀性，提高产品性能。

Temperature control distance adjusting device and coating equipment

The utility model discloses a temperature control distance adjusting device and a coating equipment, including a process drum and a spray head arranged outside the process drum, and a heating part is installed between the process drum and the nozzle for heating compensation at both ends of the nozzle. During the coating process, the middle region of the process drum radiated more heat from the nozzle, and the heat of the two ends of the process drum is less radiated to the nozzle, the nozzle will be deformed, the distance between the different regions of the nozzle and the drum surface of the process drum is inconsistent, which leads to the inhomogeneity of the coating, and the nozzle is two through the heating part. The end heating compensation makes the nozzle present a flat situation on the whole, and the distance between the different regions of the nozzle after the heating and the drum surface of the process drum is the same, so as to improve the uniformity of the coating. This application is only simple and reliable by controlling the spacing of one parameter by heating temperature. According to different technical requirements, adjusting the distance between the drum surface and the spray head of the drum can increase the utilization ratio of chemical source and the uniformity of coating, and improve the performance of the product.

【技术实现步骤摘要】
温控间距调整装置及镀膜设备
本技术涉及镀膜
，特别涉及一种温控间距调整装置及镀膜设备。
技术介绍
镀膜设备的喷头与衬底薄膜之间的距离，一般通过固定螺丝扣或电机调整。固定螺丝扣调节间距，设备简单、成本低，但是生产成本非常高。拆卸螺丝和校准间距，重新组装喷头和工艺鼓全程预计耗时一周。电机控制间距虽然简易快捷，但是设备成本高，维护复杂。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种温控间距调整装置及镀膜设备，以解决现有技术中存在的上述技术问题。本技术提供的温控间距调整装置，包括工艺鼓以及设置在所述工艺鼓外侧的喷头，所述工艺鼓与所述喷头之间安装有用于对所述喷头两端加热补偿的加热件。进一步地，所述工艺鼓上对应所述喷头两端的位置安装有加热件，所述喷头两端分别安装在所述加热件上。进一步地，所述加热件滑动安装在所述工艺鼓上，以调节所述喷头与所述工艺鼓的鼓面之间的距离。进一步地，所述喷头为多个，多个所述喷头围绕所述工艺鼓的3/4鼓面设置。进一步地，所述加热件为电加热件。进一步地，所述喷头的长度方向与所述工艺鼓的轴线方向一致。进一步地，所述喷头两端的距离与所述工艺鼓两端面的距离相同。进一步地，所述工艺鼓为柱状工艺鼓。进一步地，所述电加热件为铝合金电加热件。本技术提供的温控间距调整装置，具有如下优点：在镀膜过程中，工艺鼓的中间区域向喷头辐射的热量较多，工艺鼓的两端区域向喷头辐射的热量较少，喷头会发生变形，即喷头中间膨出工艺鼓的鼓面较多，喷头两端膨出较少,喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距具有不一致性，从而导致镀膜的不均匀性，通过加热件对喷头两端加热补偿，让喷头在整体上呈现平整态势，被加热补偿后的喷头的不同区域与工艺鼓的鼓面之间的间距大小一致，提高镀膜的均匀性。本申请仅由加热温度一个参数控制间距大小，简单可靠。根据不同技术要求调整工艺鼓的鼓面与喷头之间的间距，可以提高化学源利用率和镀膜均匀性，提高产品性能。另外，本技术还提供了一种镀膜设备，包括上述温控间距调整装置。采用上述温控间距调整装置的镀膜设备，结构简单、生产成本低、维护方便。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例一提供的温控间距调整装置的结构主视图。图2为图1的左视图。图3为图1的A-A剖视图。图4为本技术实施例一提供的加热板没有对喷头两端加热补偿的结构示意图。图5为本技术实施例一提供的加热板对喷头两端加热补偿的结构示意图。附图附记：1-工艺鼓；2-喷头；3-加热件。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例一：图1为本技术实施例一提供的温控间距调整装置的结构主视图；图2为图1的左视图；图3为图1的A-A剖视图；图4为本技术实施例一提供的加热板没有对喷头两端加热补偿的结构示意图；图5为本技术实施例一提供的加热板对喷头两端加热补偿的结构示意图；如图1-图5所示，本技术实施例一提供的温控间距调整装置，包括工艺鼓1以及设置在工艺鼓1外侧的喷头2，工艺鼓1与喷头2之间安装有用于对喷头2两端加热补偿的加热件3。具体地，工艺鼓1上对应喷头2两端的位置安装有加热件3，喷头2两端分别安装在加热件3上。具体地，加热件3滑动安装在工艺鼓1上，以调节喷头2与工艺鼓1的鼓面之间的距离。具体地，喷头2为多个，多个喷头2围绕工艺鼓1的3/4鼓面设置。本实施例一提供的温控间距调整装置，具有如下优点：在镀膜过程中，工艺鼓1的中间区域向喷头2辐射的热量较多，工艺鼓1的两端区域向喷头2辐射的热量较少，喷头2会发生变形，即喷头2中间膨出工艺鼓1的鼓面较多，喷头2两端膨出较少,喷头2的不同区域与工艺鼓1的鼓面之间的间距具有不一致性，从而导致镀膜的不均匀性，通过加热件3对喷头2两端加热补偿，让喷头2在整体上呈现平整态势，被加热补偿后的喷头2的不同区域与工艺鼓1的鼓面之间的间距大小一致，提高镀膜的均匀性。本申请仅由加热温度一个参数控制间距大小，简单可靠。根据不同技术要求调整工艺鼓1的鼓面与喷头2之间的间距，可以提高化学源利用率和镀膜均匀性，提高产品性能。实施例二：本实施例二提供的温控间距调整装置是对实施例一提供的温控间距调整装置的进一步改进，在实施例一以及图1-图5的基础上，本实施例二提供的温控间距调整装置，包括工艺鼓1以及设置在工艺鼓1外侧的喷头2，工艺鼓1与喷头2之间安装有用于对喷头2两端加热补偿的加热件3。具体地，工艺鼓1上对应喷头2两端的位置安装有加热件3，喷头2两端分别安装在加热件3上。具体地，加热件3滑动安装在工艺鼓1上，以调节喷头2与工艺鼓1的鼓面之间的距离。具体地，喷头2为多个，多个喷头2围绕工艺鼓1的3/4鼓面设置。具体地，加热件3为电加热件。电加热是目前对金属材料加热效率最高、速度最快，低耗节能环保型的加热方式。实施例三：本实施例三提供的温控间距调整装置是对实施例一提供的温控间距调整装置的进一步改进，在实施例一以及图1-图5的基础上，本实施例三提供的温控间距调整装置，包括工艺鼓1以及设置在工艺鼓1外侧的喷头2，工艺鼓1与喷头2之间安装有用于对喷头2两端加热补偿的加热件3。具体地，工艺鼓1上对应喷头2两端的位置安装有加热件3，喷头2两端分别安装在加热件3上。具体地，加热件3滑动安装在工艺鼓1上，以调节喷头2与工艺鼓1的鼓面之间的距离。具体地，喷头2为多个，多个喷头2围绕工艺鼓1的3/4鼓面设置。具体地，加热件3为电加热件。电加热是目前对金属材料加热效率最高、速度最快，低耗节能环保型的加热方式。具体地，喷头2的长度方向与工艺鼓1的轴线方向一致，从而使得喷头2与工艺鼓1为平行设置。实施例四：本实施例四提供的温控间距调整装置是对实施例一提供的温控间距调整装置的进一步改进，在实施例一以及图1-图5的基础上，本实施例四提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种温控间距调整装置，其特征在于，包括工艺鼓以及设置在所述工艺鼓外侧的喷头，所述工艺鼓与所述喷头之间安装有用于对所述喷头两端加热补偿的加热件。

【技术特征摘要】
1.一种温控间距调整装置，其特征在于，包括工艺鼓以及设置在所述工艺鼓外侧的喷头，所述工艺鼓与所述喷头之间安装有用于对所述喷头两端加热补偿的加热件。2.根据权利要求1所述的温控间距调整装置，其特征在于，所述工艺鼓上对应所述喷头两端的位置安装有加热件，所述喷头两端分别安装在所述加热件上。3.根据权利要求1或2所述的温控间距调整装置，其特征在于，所述加热件滑动安装在所述工艺鼓上，以调节所述喷头与所述工艺鼓的鼓面之间的距离。4.根据权利要求1所述的温控间距调整装置，其特征在于，所述喷头为多个，多个所述喷头围绕所述工艺鼓的3/4鼓面设...

【专利技术属性】
技术研发人员：白金亮，李硕，于甄，常家华，
申请(专利权)人：张家港康得新光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32