一种集成电路生产线设备常量监控的方法技术

本发明专利技术涉及一种集成电路生产线上设备常量监控的方法，配置设备常量数据文件，形成设备常量数据配置文件；获取设备常量数据配置文件的路径，并判断按照路径是否能读取设备常量数据配置文件，读取设备常量数据配置文件的设备常量信息，存放入内存中；根据设备常量信息内容对应读取实时的设备常量信息，并将实时的设备常量数据值与设备常量数据配置文件的设备常量信息对比，进行检查和校验，存储至服务器。本发明专利技术方法利用设备常量配置文件，从设备中实时读取对应的设备常量数据值，对读取的设备常量数据值进行范围校验，能够实现实时监控设备常量数据值是否出现异常的问题、具有很强的实时性和扩展性等特点。 1

A constant monitoring method for IC production line equipment

The invention relates to a method of constant monitoring of equipment in an integrated circuit production line, configuring the constant data file of the equipment, forming a constant data configuration file of the equipment, obtaining the path of the equipment constant data configuration file, and judging whether the device can read the device constant data configuration file according to the path, and read the device constant data configuration text. The constant information of the device is stored in the memory; the constant information of the equipment is read according to the constant information content of the equipment, and the real-time data value of the equipment constant is compared with the equipment constant information of the equipment constant data configuration file to check and check it and store it to the service device. The method uses the device constant configuration file to read the constant data value of the corresponding equipment from the equipment in real time and check the value of the read equipment constant data. It can realize the problem of whether the constant data value of the real-time monitoring device appears abnormal, and has the characteristics of strong real-time and extensibility. One

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路生产线设备常量监控的方法
本专利技术涉及一种设备常量监控的方法，具体地说是一种集成电路生产线设备常量的监控方法。
技术介绍
在集成电路生产线设备管理系统中，需要对生产线上所有的设备进行设备常量的监控和管理操作，现在本领域现状，以及存在的问题是设备常量的监控和管理操作由设备工程师在设备本地控制系统中定期去查询，但在整个生产线中会面临设备种类繁多，设备常量差异很大，操作和监控难度大等问题。上述方式需要每个设备厂商定期指派设备工程师在现场进行维护，实施起来难度大，效率低，不仅增加了维护难度，而且不能做到实时监控和维护设备常量的变化，并及时给出报警提示，这些问题也是我们需要解决的技术问题。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术提供一种高效的用于集成电路生产线设备常量的监控方法。本专利技术为实现上述目的所采用的技术方案是：一种集成电路生产线上设备常量监控的方法，包括以下步骤：步骤1：配置设备常量数据文件，形成设备常量数据配置文件；步骤2：获取设备常量数据配置文件的路径，并判断按照路径是否能读取设备常量数据配置文件，如果是，则执行步骤3，否则抛出错误信息并退出；步骤3：读取设备常量数据配置文件的设备常量信息，存放入内存中；步骤4：根据设备常量信息内容对应读取实时的设备常量信息，并将实时的设备常量数据值与设备常量数据配置文件的设备常量信息对比，进行检查和校验，存储至服务器。所述设备常量配置文件以XML格式保存在数据配置服务器上，文件内部结构包含若干节点，一个节点存放一条设备常量信息。所述设备常量数据配置文件的路径是由数据配置服务器的路径和设备常量配置文件的名称组合而成。所述检查和校验过程为：如果实时的设备常量数据值在设备常量配置文件里数据项配置的数据范围内，则将该实时的设备常量信息存储至服务器；否则给出报警信息，并将异常数据信息存储至服务器。所述实时的设备常量信息包括数据编号，数据名称，当前数值，记录时间。所述异常数据信息包括数据编号，数据名称，当前数值，数据范围，记录时间和报警信息描述。所述设备常量信息包括：数据编号、数据名称、数据类型、数据范围和数据异常提示信息。本专利技术具有以下有益效果及优点：1、设备常量监控实时性强。本专利技术是针对生产线各种类型的设备，将设备常量信息整合成设备常量数据配置文件，系统运行时依据设备常量配置文件从生产线设备中读取设备常量数据值，可以实现对设备常量的实时监控。2、具有很强的扩展性。可以根据实际需要，在设备常量数据配置文件上增加或删除某些设备常量信息，使存储的设备常量文件保存实际需要保存的设备常量信息，而不必改动程序代码，从而具有很强的扩展性。附图说明图1是本专利技术的设备常量监控流程图；图2是本专利技术的从设备中读取设备常量数据值流程图；图3是本专利技术的依据读取结果来选择数据处理方式流程图。具体实施方式下面结合附图及实施例对本专利技术做进一步的详细说明。如图1所示为本专利技术的设备常量监控流程图。一种集成电路生产线上设备常量监控的方法，包括设备常量配置文件，其特征在于，所述设备常量配置文件中存储所有的设备常量信息，所述设备常量信息包括：数据编号、数据名称、数据类型、数据范围、数据异常提示信息。所述的设备常量监控方法，包括以下步骤：步骤1：配置设备常量数据文件，形成设备常量数据配置文件；步骤2：获取设备常量数据配置文件的路径，并判断按照路径是否能读取设备常量数据配置文件，如果是，则执行步骤3，否则抛出错误信息并退出；步骤3：读取设备常量数据配置文件的设备常量信息，存放入内存中；步骤4：根据设备常量信息内容对应读取实时的设备常量信息，并将实时的设备常量数据值与设备常量数据配置文件的设备常量信息对比，进行检查和校验，存储至服务器。在所述步骤1中，配置设备常量数据文件，所述配置设备常量数据文件以XML格式保存在配置服务器上，设备常量数据配置文件的内部结构包含若干节点，一个节点存放一条设备常量信息。在所述步骤3中，如果按照获取的设备常量配置文件的路径不能打开设备常量配置文件，则抛出错误信息并退出。在所述步骤3中，如果按照获取的设备常量配置文件的路径能打开设备常量配置文件，则读取设备常量配置文件的所有设备常量信息，存储至内存中。在所述步骤4中，通过设备常量数据配置文件信息实时读取的设备常量数据值，设备常量数据配置文件信息包括数据编号，数据名称，包括以下步骤：步骤a，与设备建立连接；步骤b，向生产设备发送设备常量配置信息，包括数据编号和数据名称；步骤c，接收从设备读取过来的设备常量的数据编号、数据名称和数据值；在所述步骤5中，如果从设备中读取的设备常量数据值在对应设备常量配置的范围内，将读取的设备常量数据信息存储至数据服务器，设备常量数据信息包括数据编号，数据名称，当前数值，记录时间。在所述步骤5中，如果从设备中读取的设备常量数据值不在配置的数据范围内，给出对应的报警信息，并将异常数据信息写入服务器，异常数据信息包括数据编号，数据名称，当前数值，数据范围，记录时间和报警信息描述。如图2所示为本专利技术的从设备中读取设备常量数据值流程图。从设备中读取设备常量数据值包括以下流程：判断判断与设备连接是否成功；如果连接不成功，报告错误信息并退出；如果连接成功，则读取设备常量数据值；判断依据配置的设备常量编号和名称是否读取到设备常量数据值；如果不能读取设备常量数据值，报告错误信息并继续读取下一条设备常量数据值如果能读取设备常量数据值，保存读取的数据值并继续读取下一条设备常量数据值。如图3所示为本专利技术的依据读取结果来选择数据处理方式流程图。根据读取的结果来选择数据处理方式的流程如下：根据设备常量编号和常量名称从设备中读取其对应的数据值；如果从设备中读取的设备常量数据值在对应设备常量配置的范围内，将读取的设备常量数据信息存储至数据服务器，设备常量数据信息包括数据编号，数据名称，当前数值，记录时间；如果从设备中读取的设备常量数据值不在配置的数据范围内，给出对应的报警信息，并将异常数据信息写入服务器，异常数据信息包括数据编号，数据名称，当前数值，数据范围，记录时间和报警信息描述。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于，包括以下步骤：

【技术特征摘要】
1.一种集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：配置设备常量数据文件，形成设备常量数据配置文件；步骤2：获取设备常量数据配置文件的路径，并判断按照路径是否能读取设备常量数据配置文件，如果是，则执行步骤3，否则抛出错误信息并退出；步骤3：读取设备常量数据配置文件的设备常量信息，存放入内存中；步骤4：根据设备常量信息内容对应读取实时的设备常量信息，并将实时的设备常量数据值与设备常量数据配置文件的设备常量信息对比，进行检查和校验，存储至服务器。2.根据权利要求1所述的集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于：所述设备常量配置文件以XML格式保存在数据配置服务器上，文件内部结构包含若干节点，一个节点存放一条设备常量信息。3.根据权利要求1所述的集成电路生产线上设备常量监控的方法，其特征在于：所述设备常量数据配置文件的路...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹阳，祁峰，杨娇，姚呈呈，闫洪旭，白媛，姬小兵，徐增利，王晶，张丽丽，
申请(专利权)人：沈阳中科博微科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21