一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法技术

本发明专利技术涉及一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法。干式真空泵套件包括固定模块、多种规格的外侧罩、多种规格的轴套和多种规格的定子，固定模块包括驱动室、主动轴和从动轴，根据可拆卸地安装在主动轴和从动轴上的一对或多对啮合转子，选配定子、轴套和外侧罩以使得定子、轴套、外侧罩、主动轴和从动轴上的轴向定位结构以及驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室，并整体形成一个干式真空泵。测试方法应用上述干式真空泵套件。由此，可通过一台干式真空泵上不同转子组合形式的简单快速装配并构成测试系统来探究不同压力区域段不同转子组合形式的抽气效果与优化方案，解决了干式真空泵产品研发阶段样泵的不必要材料与能源浪费的技术问题。

A dry vacuum pump kit and test method for rotor performance test

The invention relates to a dry vacuum pump kit for a rotor performance test and a test method thereof. The dry vacuum pump kit includes a fixed module, a variety of specifications of the outer cover, a variety of specifications of the sleeve and a variety of specifications of the stator. The fixed module includes a driving chamber, an active shaft, and a driven shaft, and a pair of or multiple pairs of rotors which are detachably mounted on the active and driven axes, and the stator, shaft sleeve, and the outer cover are selected to make the stator. The stator, the shaft sleeve, the outer cover, the axial orientation structure on the active axis and the driven shaft, and the driving chamber form a pump room independent of each pair of meshing rotors, and a dry vacuum pump is formed as a whole. The test method applies the above dry vacuum pump kit. In this way, a simple fast assembly and test system can be used to explore the pumping effect and optimization scheme of different combinations of rotor combinations in different pressure regions, and the technical problems of unnecessary materials and energy waste in the research and development stage of the dry vacuum pump can be solved by a simple fast assembly and a test system.

【技术实现步骤摘要】
一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法
本专利技术涉及一种转子性能测试用干式真空泵套件及测试方法。
技术介绍
由于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展，国内外干式真空泵的市场需求量不断增长，干式真空泵产品的更新换代周期正在逐渐缩短。针对干式真空泵产品的性能测试工作可直接反映产品的优势与缺陷，对干式真空泵产品性能提升起着关键性作用。多级干式真空泵为目前干式真空泵领域应用最为广泛、转子组合形式最多的一种干式真空泵类型，包括多级罗茨干式真空泵，多级罗茨-爪复合干式真空泵等等，选择不同转子的组合设置，可提高整泵抽速或提高整泵压缩比。在干式真空泵，尤其是在多级干式真空泵的研发过程中，包括对多种类型转子及其组合形式进行讨论及形成多种设计方案并形成最优方案，因此完成一种新型干式真空泵的研发，需要制造及测试多台样泵，并依次进行性能测试以选择一种最优方案作为产品雏形，这极大地浪费了人力物力资源并使新泵研发周期较长。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的在于提供一种转子性能测试用干式真空泵套件及应用该干式真空泵套件的干式真空泵转子性能测试方法，其可针对任意转子组合形式进行性能测试，解决了干式真空泵产品研发阶段样泵的不必要材料与能源浪费的技术问题。(二)技术方案为了达到上述目的，本专利技术采用的主要技术方案包括：本专利技术一方面提供一种转子性能测试用干式真空泵套件，包括固定模块、多种规格的外侧罩、多种规格的轴套和多种规格的定子，固定模块包括驱动室、主动轴和从动轴，驱动室包括动力源，主动轴的一端伸入驱动室中与动力源驱动连接，主动轴上设有第一轴向定位结构，从动轴的一端伸入驱动室中与主动轴驱动连接，从动轴上设有第二轴向定位结构；其中，根据可拆卸地安装在主动轴和从动轴上的一对或多对啮合转子，从多种规格的定子中选配一个或多个定子套设在一对或多对啮合转子外并和与其轴向相邻的驱动室/定子可拆卸地连接，从多种规格的轴套中选配两个轴套分别可拆卸地安装在主动轴和从动轴上、并分别与第一轴向定位结构和第二轴向定位结构配合限制一对或多对啮合转子的轴向移动，从多种规格的外侧罩中选配一个外侧罩套设在主动轴和从动轴外并和与其轴向相邻的定子可拆卸的连接，使得定子、主动轴上的轴套、从动轴上的轴套、外侧罩、第一轴向定位结构、第二轴向定位结构和驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室。根据本专利技术，多种规格的外侧罩包括一个外端盖和多种规格的外端罩，外端罩为一端敞开的罩体；从多种规格的外侧罩中选配一个外侧罩套设在主动轴和从动轴外并和与其轴向相邻的定子可拆卸的连接包括：将外端盖套设在主动轴和从动轴外并和与其轴向相邻的定子可拆卸的连接，并且从多种规格的外端罩中选配一个外端罩套设在主动轴和从动轴外并与外端盖可拆卸的连接。根据本专利技术，外端盖与主动轴上的轴套之间动密封；外端盖与从动轴上的轴套之间动密封。根据本专利技术，驱动室包括动力侧端盖，主动轴和从动轴从动力侧端盖穿出驱动室，动力侧端盖的外周壁上设有凸缘，定子的外周壁的两端均设有凸缘，外端盖的外周壁上设有凸缘，定子、动力侧端盖和外端盖的凸缘均和与其相邻部件上的凸缘通过螺栓可拆卸地连接；外端罩的外周壁上设有凸缘，该凸缘通过螺栓与外端盖可拆卸的连接。根据本专利技术，主动轴和从动轴可转动地支承在驱动室中，主动轴和从动轴中位于驱动室外侧的部分形成悬臂。根据本专利技术，多种规格的定子包括多种规格的两端敞开式定子和多种规格的一端敞开式定子，其中，两端敞开式定子为环状壳体，一端敞开式定子为盆状壳体；在设置多对啮合转子时，两端敞开式定子套设在相邻于驱动室的一对啮合转子的外侧并与驱动室可拆卸的连接，在两端敞开式定子的远离驱动室一侧安装一个或多个一端敞开式定子，以使任意相邻两对啮合转子之间通过一端敞开式定子的盆底间隔开；在设置一对啮合转子时，两端敞开式定子套设在一对啮合转子的外侧并与驱动室可拆卸的连接。根据本专利技术，多种规格的两端敞开式定子中包含多种规格的单孔两端敞开式定子和多种规格的双孔两端敞开式定子，单孔两端敞开式定子的环状侧壁上设有一个作为排气口的通孔，双孔两端敞开式定子的环状侧壁上设有分别作为进气口和排气口的两个通孔，在设置一对啮合转子时，两端敞开式定子选配双孔两端敞开式定子，在设置多对啮合转子时，两端敞开式定子选配单孔两端敞开式定子；一端敞开式定子的盆底上设有级间连接气道；多种规格的一端敞开式定子中包含多种规格的单孔一端敞开式定子和多种规格的封闭一端敞开式定子，单孔一端敞开式定子的环状侧壁上设有一个作为进气口的通孔，封闭一端敞开式定子的环状侧壁为封闭结构；设置两对啮合转子时，一端敞开式定子选配单孔一端敞开式定子；在设置三对以上啮合转子时，与最远离固定模块的啮合转子配合的一端敞开式定子选配单孔一端敞开式定子，与其余啮合转子配合的一端敞开式定子选配封闭一端敞开式定子。根据本专利技术，轴套呈一端敞开的套筒，主动轴上的轴套的筒底与主动轴的远离驱动室的一端通过轴端锁紧装置可拆卸的连接，从动轴上的轴套的筒底与从动轴的远离驱动室的一端通过轴端锁紧装置可拆卸的连接。根据本专利技术，驱动室还包括传动机构，传动机构与主动轴驱动连接，从动轴伸入驱动室的一端与传动机构驱动连接。本专利技术另一方面提供一种采用上述任一项的转子性能测试用干式真空泵套件的干式真空泵转子性能测试方法，测试对象为含一对啮合转子的干式真空泵时：在固定模块的主动轴和从动轴上可拆卸地安装一对啮合转子，根据当前安装的一对啮合转子从多种规格的定子中选配一个定子套设在一对啮合转子外并和与其轴向相邻的驱动室可拆卸地连接，从多种规格的轴套中选配两个轴套分别可拆卸地安装在主动轴和从动轴上、并分别与第一轴向定位结构和第二轴向定位结构配合限制一对啮合转子的轴向移动，从多种规格的外侧罩中选配一个外侧罩套设在主动轴和从动轴外并和与其轴向相邻的定子可拆卸的连接，使得定子、主动轴上的轴套、从动轴上的轴套、外侧罩、第一轴向定位结构、第二轴向定位结构和驱动室形成针对一对啮合转子独立的泵室，然后对形成的干式真空泵进行转子性能测试；测试对象为含多对啮合转子的干式真空泵时：在固定模块的主动轴和从动轴上可拆卸地安装多对啮合转子，并在安装多对啮合转子的过程中每安装完一对啮合转子都根据当前安装的一对啮合转子从多种规格的定子中选配一个定子套设在当前安装的一对啮合转子外并和与其轴向相邻的驱动室/定子可拆卸地连接，在所有啮合转子都安装完成后，从多种规格的轴套中选配两个轴套分别可拆卸地安装在主动轴和从动轴上、并分别与第一轴向定位结构和第二轴向定位结构配合限制一对啮合转子的轴向移动，从多种规格的外侧罩中选配一个外侧罩套设在主动轴和从动轴外并和与其轴向相邻的定子可拆卸的连接，使得定子、主动轴上的轴套、从动轴上的轴套、外侧罩、第一轴向定位结构、第二轴向定位结构和驱动室形成针对每对啮合转子独立的泵室，然后对形成的干式真空泵进行转子性能测试。(三)有益效果本专利技术的有益效果是：本专利技术所提供的转子性能测试用干式真空泵套件，能够基于固定模块根据所安装的不同种类和数量的转子来选配并可拆卸地组装相匹配的定子、轴套和外侧罩，进而可通过一台干式真空泵上不同转子组合形式的简单快速装配并构成测试系统来探究不同压力区域段不同转子组合形式的抽气效果与优化方案，解决了干式真空泵产品研本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种转子性能测试用干式真空泵套件，其特征在于，包括固定模块(1)、多种规格的外侧罩(10)、多种规格的轴套(13)和多种规格的定子，所述固定模块(1)包括驱动室(3)、主动轴(11)和从动轴(27)，所述驱动室(3)包括动力源(2)，所述主动轴(11)的一端伸入所述驱动室(3)中与所述动力源(2)驱动连接，所述主动轴(11)上设有第一轴向定位结构(17)，所述从动轴(27)的一端伸入所述驱动室(3)中与所述主动轴驱动连接，所述从动轴(27)上设有第二轴向定位结构(28)；其中，根据可拆卸地安装在所述主动轴(11)和所述从动轴(27)上的一对或多对啮合转子(7)，从多种规格的定子(6)中选配一个或多个定子(6)套设在所述一对或多对啮合转子(7)外并和与其轴向相邻的驱动室(3)/定子(6)可拆卸地连接，从多种规格的轴套(13)中选配两个轴套(13)分别可拆卸地安装在所述主动轴(11)和所述从动轴(27)上、并分别与所述第一轴向定位结构(17)和所述第二轴向定位结构(28)配合限制所述所述一对或多对啮合转子(7)的轴向移动，从多种规格的外侧罩(10)中选配一个外侧罩(10)套设在所述主动轴(11)和所述从动轴(27)外并和与其轴向相邻的定子(6)可拆卸的连接，使得所述定子(6)、所述主动轴(11)上的轴套(13)、所述从动轴(27)上的轴套(13)、所述外侧罩(10)、所述第一轴向定位结构(17)、所述第二轴向定位结构(28)和所述驱动室(3)形成针对每对啮合转子(7)独立的泵室(16)。...

【技术特征摘要】
1.一种转子性能测试用干式真空泵套件，其特征在于，包括固定模块(1)、多种规格的外侧罩(10)、多种规格的轴套(13)和多种规格的定子，所述固定模块(1)包括驱动室(3)、主动轴(11)和从动轴(27)，所述驱动室(3)包括动力源(2)，所述主动轴(11)的一端伸入所述驱动室(3)中与所述动力源(2)驱动连接，所述主动轴(11)上设有第一轴向定位结构(17)，所述从动轴(27)的一端伸入所述驱动室(3)中与所述主动轴驱动连接，所述从动轴(27)上设有第二轴向定位结构(28)；其中，根据可拆卸地安装在所述主动轴(11)和所述从动轴(27)上的一对或多对啮合转子(7)，从多种规格的定子(6)中选配一个或多个定子(6)套设在所述一对或多对啮合转子(7)外并和与其轴向相邻的驱动室(3)/定子(6)可拆卸地连接，从多种规格的轴套(13)中选配两个轴套(13)分别可拆卸地安装在所述主动轴(11)和所述从动轴(27)上、并分别与所述第一轴向定位结构(17)和所述第二轴向定位结构(28)配合限制所述所述一对或多对啮合转子(7)的轴向移动，从多种规格的外侧罩(10)中选配一个外侧罩(10)套设在所述主动轴(11)和所述从动轴(27)外并和与其轴向相邻的定子(6)可拆卸的连接，使得所述定子(6)、所述主动轴(11)上的轴套(13)、所述从动轴(27)上的轴套(13)、所述外侧罩(10)、所述第一轴向定位结构(17)、所述第二轴向定位结构(28)和所述驱动室(3)形成针对每对啮合转子(7)独立的泵室(16)。2.根据权利要求1所述的转子性能测试用干式真空泵套件，其特征在于，所述多种规格的外侧罩(10)包括一个外端盖(8)和多种规格的外端罩(9)，所述外端罩(9)为一端敞开的罩体；所述从多种规格的外侧罩(10)中选配一个外侧罩(10)套设在所述主动轴(11)和所述从动轴(27)外并和与其轴向相邻的定子(6)可拆卸的连接包括：将所述外端盖(8)套设在所述主动轴(11)和所述从动轴(27)外并和与其轴向相邻的定子(6)可拆卸的连接，并且从多种规格的外端罩(9)中选配一个外端罩(9)套设在所述主动轴(11)和所述从动轴(27)外并与所述外端盖(8)可拆卸的连接。3.根据权利要求2所述的转子性能测试用干式真空泵套件，其特征在于，所述外端盖(8)与所述主动轴(11)上的轴套(13)之间动密封；所述外端盖(8)与所述从动轴(27)上的轴套(13)之间动密封。4.根据权利要求2所述的转子性能测试用干式真空泵套件，其特征在于，所述驱动室(3)包括动力侧端盖(5)，所述主动轴(11)和所述从动轴(27)从所述动力侧端盖(5)穿出所述驱动室(3)，所述动力侧端盖(5)的外周壁上设有凸缘，所述定子(6)的外周壁的两端均设有凸缘，所述外端盖(8)的外周壁上设有凸缘，所述定子(6)、所述动力侧端盖(5)和所述外端盖(8)的凸缘均和与其相邻部件上的凸缘通过螺栓可拆卸地连接；所述外端罩(9)的外周壁上设有凸缘，该凸缘通过螺栓与所述外端盖(8)可拆卸的连接。5.根据权利要求1所述的转子性能测试用干式真空泵套件，其特征在于，所述主动轴(11)和所述从动轴(27)可转动地支承在所述驱动室(3)中，所述主动轴(11)和所述从动轴(27)中位于所述驱动室(3)外侧的部分形成悬臂。6.根据权利要求1所述的转子性能测试用干式真空泵套件，其特征在于，所述多种规格的定子(6)包括多种规格的两端敞开式定子(6’)和多种规格的一端敞开式定子(6”)，其中，所述两端敞开式定子(6’)为环状壳体，所述一端敞开式定子(6”)为盆状壳体；在设置多对啮合转子(7)时，所述两端敞开式定子(6’)套设在相邻于所述驱动室(3)的一对啮合转子(7)的外侧并与所述驱动室(3)可拆卸的连接，在所述两端敞开式定子(6’)的远离所述驱动室(3)一侧安装一个或多个所述一端敞开式定子(6”)，以使任意相邻两对啮合转子(7)之间通过一端敞开式定子(6”)的盆底间隔开；在设置一对啮合转子(7)时，所述两端敞开式定子(6’)套设在所述一对啮合转子(7)的外侧并与所述驱动室(3)可拆卸的连接。7.根据权利要求6所述的转子性能测试用干式真空泵套件，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘坤，段启惠，张振厚，孔祥玲，张晓玉，陈树雷，谢元华，郝明，巴德纯，
申请(专利权)人：东北大学，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21