一种柔性带状物表面金属镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种柔性带状物表面金属镀膜设备。被镀物由放卷轴出发，经由导向轴，再由牵引轴，然后再经由过渡轴卷绕在收料轴上，在这个卷放过程当中，被镀物经过靶极的溅射区，由两组靶极同时对被镀物的两面进行溅射镀膜，一次性完成对被镀物的双面金属化涂层的镀制。该专用设备，包括真空室及与真空室相连接的真空系统，真空室上设有靶极移动门和传动移动门，靶极移动门上安装有磁控溅射靶极，传动移动门上安装有被镀物的卷绕机构。本实用新型专利技术生产效率高，成本低，适合于工业化生产；由于两组靶极采用固定与旋转靶极组合使用，所以镀制的膜层均匀，且镀透性良好。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种柔性带状物表面金属镀膜设备，包括真空室（１３）及与真空室（１３）相连接的真空系统，其特征在于：真空室（１３）上设有靶极移动门（１２）和传动移动门（１４），靶极移动门（１２）上安装有磁控溅射靶极（４），传动移动门（１４）上安装有被镀物的卷绕机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：毕研文，王乃用，宋小斌，张强，江衍勤，
申请(专利权)人：菏泽天宇科技开发有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：37[中国|山东]