卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置制造方法及图纸

一种卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，包括沉积室（１）、支架（１０）以及设置在内支架（１０）内的蝶阀（７）、罗茨泵（８）、机械泵（９），其特征是：在所述的支架（１０）上横卧有沉积室（１），沉积室（１）的两端设有封头（４），在沉积室（１）内部对应设有长方形的上极板（５）和下极板（６），沉积室（１）上设有观察窗（２），所述的沉积室（１）的下部通过蝶阀（７）和管道分别连接有罗茨泵（８）和机械泵（９）。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种等离子化学气相沉积装置，尤其是一种用于气相沉积的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置。本技术的目的是这样实现的它包括沉积室、支架以及设置在内支架内的蝶阀、罗茨泵、机械泵，在所述的支架的上部横置有沉积室，沉积室的两端设有封头，在沉积室内部对应设有长方形的上极板和下极板，沉积室上设有观察窗，所述的沉积室的下部通过蝶阀和管道分别连接有罗茨泵和机械泵。所述的沉积室为圆柱型桶或椭圆型桶。所述的上极板和下极板通过支撑轨道平行安装在沉积室内。所述的沉积室内部至少设有一对上极板和下极板。所述的沉积室上至少设有一个观察窗。所述的沉积室通过法兰盘和转轴活动连接有封头，所述的封头为半圆型。所述的沉积室内径为1000毫米-5000毫米，长度为1000毫米-50000毫米。所述的法兰盘的内径与沉积室的内径相同，为1000毫米-5000毫米。所述的罗茨泵和机械泵至少是一组。所述的支架设有支架门。由于本技术采用了上述结构，与现有技术相比具有如下优点1.卧式多层沉积室的设计，能较好的解决钟罩式或立式沉积装置加工面积小的问题。采用同直径法兰密封的卧式多层设备，其加工量可达到立式或钟罩式设备加工面积的2.7倍至8倍，而占地面积仅为1.8倍，便于大规模产业化生产。2.多层沉积室的设计，较好的解决了直径越大实用空间比例越小的问题，可充分利用沉积室空间，而每增加一层，就可提高一倍的产量。3.由于充分利用了沉积室的空间，成倍的提高了产量，可最大限度的减少能源和原料的浪费，因而使加工成本大幅度的降低，卧式3层沉积设备加工产品的成本，比同直径钟罩式或立式设备加工产品成本低80％。4.由于采用卧式多层沉积室的设计，使设备制造成本成倍下降。1台卧式3层沉积室的设备，是8台同直径钟罩式或立式设备的产量，而设备制造成本，仅相当于2台同直径钟罩式或立式设备。附图说明图1是本技术的结构示意图。图中1.沉积室；2.观察窗；3.法兰盘；4.封头；5.上极板；6.下极板；7.蝶阀；8.罗茨泵；9.机械泵；10.支架；11.支架门。现有技术的钟罩式或立式沉积装置的沉积室，上封头、下封头和沉积室竖直摆放，其有效工作空间受沉积室大小限制的影响，加工面积小，上下封头和沉积室的一部分均为无效空间。本技术的多层沉积室横向设置，沉积室1的两端设有封头4，在沉积室1内部通过支撑轨道平行安装有对应的上极板5和下极板6，上极板5和下极板6为长方形，与传统技术一样分别连接有高频电源，上极板5和下极板6至少设一对，封头4打开后，把上极板5和下极板6沿轨道推入沉积室1内，被镀工件放在电极之上，一对上极板5和下极板6对应设置就形成一个完整的沉积室，沉积室中的工作区可根据需要由一对上下极板(单层)或若干对上下极板(多层)组成。与现有技术的钟罩式或立式沉积设备相比充分利用了沉积室的空间，较好的解决了直径越大实用空间比例越小的问题，而每增加一层，就可提高一倍的产量。沉积室1上设有观察窗2，其观察窗可每层一个或多个。沉积室1的下部通过蝶阀7和管道分别连接有抽真空用的二级真空泵罗茨泵8和机械泵9，其中真空泵可由一组或多组组成。在支架10上设有可开关的支架门11。沉积室1内可分为两层或多层沉积区，其真空、温度、工作气体的流量、射频电源的功率等加工参数均由电脑自动控制，并可在异地通过宽带网进行检测、调试和控制，此为现有技术。其产量大、占地面积小、设备空间利用率高、单件加工成本低，结构简单、操作方便、自动化程度高，便于大规模产业化生产。沉积室1的内径和封头法兰盘3的内径为1000毫米至5000毫米，沉积室长度为1000毫米至50000毫米，这样采用同直径法兰密封的卧式多层设备，更加合理的利用有效空间，其加工量可达到立式或钟罩式设备加工面积的2.7倍至8倍，而占地面积仅为1.8倍，便于大规模产业化生产，同时降低设备加工成本和产品加工成本。权利要求1.一种卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，包括沉积室(1)、支架(10)以及设置在内支架(10)内的蝶阀(7)、、罗茨泵(8)、机械泵(9)，其特征是在所述的支架(10)上横卧有沉积室(1)，沉积室(1)的两端设有封头(4)，在沉积室(1)内部对应设有长方形的上极板(5)和下极板(6)，沉积室(1)上设有观察窗(2)，所述的沉积室(1)的下部通过蝶阀(7)和管道分别连接有罗茨泵(8)和机械泵(9)。2.根据权利要求1所述的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，其特征是所述的沉积室(1)为圆柱型桶或椭圆型桶。3.根据权利要求1所述的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，其特征是所述的上极板(5)和下极板(6)为长方形，通过支撑轨道平行安装在沉积室(1)内。4.根据权利要求1或3所述的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，其特征是所述的沉积室(1)内部至少设有一对上极板(5)和下极板(6)。5.根据权利要求1所述的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，其特征是所述的沉积室(1)上至少设有一个观察窗(6)。6.根据权利要求1所述的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，其特征是所述的沉积室(12)通过法兰盘(3)和转轴活动连接有封头(4)，所述的封头(4)为半圆型。7.根据权利要求1所述的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，其特征是所述的沉积室(1)内径为1000毫米-5000毫米，长度为1000毫米-50000毫米。8.根据权利要求6所述的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，其特征是所述的法兰盘(3)的内径与沉积室(1)的内径相同，为1000毫米-5000毫米。9.根据权利要求1所述的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，其特征是所述的罗茨泵(8)和机械泵(9)至少是一组。10.根据权利要求1所述的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置，其特征是所述的支架(10)设有支架门(11)。专利摘要本技术公开了一种用于气相沉积的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置。它包括沉积室、支架以及设置在内支架内的蝶阀、罗茨泵、机械泵，在支架的上部横置有沉积室，沉积室的两端设有封头，在沉积室内部对应设有长方形的上极板和下极板，沉积室上设有观察窗，沉积室的下部通过蝶阀和管道分别连接有罗茨泵和机械泵。提供了一种同内径法兰密封的卧式多层真空镀膜装置，能较好的解决钟罩式或立式沉积装置加工面积小、占地面积大的问题，可充分利用沉积室空间，便于大规模产业化生产。文档编号C23C16/50GK2587885SQ0229408公开日2003年11月26日 申请日期2002年12月26日 优先权日2002年12月26日专利技术者吕建治, 朱纪伍 申请人:吕建治, 朱纪伍本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕建治，朱纪伍，
申请(专利权)人：吕建治，朱纪伍，
类型：实用新型
国别省市：