辉光离子渗氮炉用阴极输电装置制造方法及图纸

一种辉光离子渗氮炉用阴极输电装置，它包括阴极盘、屏蔽部份、绝缘部份、阴极部份。屏蔽部份：阴极导电螺母装在阴极盘和屏蔽外套之间，屏蔽外套与屏蔽内套螺纹联接可调，屏蔽内套与云母保护环不连接，留有间隙。绝缘部份：绝缘上、中支座下部各设有一道沟槽，阴极导电螺母与屏蔽外套之间留有间隙，绝缘上、中、下支座、两个护隙环、阴极内、外套管是熔铸云母制成。阴极部份：阴极套管、阴极密封座是聚四氟乙烯制成，阴极压紧盖板是环氧玻璃布制成。阴极密封座上、下面设有密封圈。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种热处理设备，特别涉及一种适用于离子渗氮炉中的可确保离子渗氮炉内辉光放电的正常进行的辉光离子渗氮炉用阴极输电装置。
技术介绍
阴极输电装置的作用是将高压电源电能输送给阴极而确保辉光放电的进行，阴极输电装置除输送电力外，阴极盘同时还兼作承载被处理工件的功能，它需要有良好的绝缘性、密封性以及灭弧、高温承重和长期稳定工作的特性。传统的离子渗氮炉阴极输电装置中，导电材料与绝缘材料件之间的相接触处极易导致弧光放电，一般在阴极盘接触处设有纵向或横向屏蔽间隙保护，间隙大小固定，无法调节，云母支座为一体结构，在云母支座中部开有几个径向槽。在阴极盘的上部通过一内六角螺钉将阴极盘与阴极杆相联接，经长期使用后容易造成云母座的上、下导通，造成打弧及辉光放电不稳定，需要定期对云母座表面进行清理。另外，在高温状态下长期工作，由于联接螺钉的受热膨胀及变形影响其与阴极杆的接触电阻，使电流传输中断。
技术实现思路
本技术的目的正是针对上述现有技术中所存在的不足之处而提供一种结构更为科学、合理的可确保离子渗氮炉内辉光放电的正常进行的辉光离子渗氮炉用阴极输电装置。本技术的目的可通过下述技术措施来实现本技术的辉光离子渗氮炉用阴极输电装置包括阴极盘、屏蔽部份、绝缘部份、阴极部份。其特征A屏蔽部份由阴极导电螺母、屏蔽外套、屏蔽内套、云母保护环等组成，阴极导电螺母装在阴极盘和屏蔽外套之间，其中间螺纹孔与阴极杆上端的螺纹联接，屏蔽外套与阴极导电螺母不接触，留有间隙，屏蔽外套的内螺纹与屏蔽内套的外螺纹联接，屏蔽内套和云母保护环之间留有纵向间隙，云母保护环和绝缘上支座相接触，保护其外表面，屏蔽内套上口与绝缘上支座的上凸台接触，用于纵向定位；B绝缘部份由绝缘上支座、护隙环、绝缘中支座、护隙环、绝缘下支座、金属底座、高度调节环、阴极内套、阴极内套等组成。绝缘上支座、护隙环、绝缘中支座、护隙环、绝缘下支座、阴极内套、阴极内套都是熔铸云母材料制成，阴极内套、阴极内套装在高度调节环及金属底座内；C阴极部份包括阴极隔水套、阴极套管、联接固定法兰、阴极密封座、阴极杆、阴极压紧盖板、快速电缆接头、炉底板外壁、炉底板组成；阴极套管和阴极密封座是聚四氟乙烯材料制成，阴极压紧盖板是环氧层压玻璃布材料制成，阴极密封座上、下面设置有密封圈，把它置于阴极隔水套、阴极套管和阴极杆下段之间。炉底板外壁和炉底板的中孔与阴极隔水套密封焊接固定在一起，炉底板和炉底板外壁之间通入冷却水。绝缘部份特征在于先将高度调节环与金属底座螺纹联接后套在阴极内套和阴极内套的外边，再装绝缘下支座、护隙环、绝缘中支座、护隙环、绝缘上支座、云母保护环，屏蔽内套处于云母保护环的外边；屏蔽内套的上口与绝缘上支座的上台阶接触，屏蔽外套用螺纹联接在屏蔽内套外边，屏蔽外套上面与阴极导电螺母下边不接触，留有间隙，在护隙环里边的绝缘上支座的下部设有一道沟槽，在护隙环里边的绝缘中支座的下部也设有一道沟槽。阴极部份的特征在于先将联接固定法兰与阴极隔水套用螺纹联接后，把阴极套管装入阴极隔水套内，下面再装阴极密封座，然后自下而上装入阴极杆，再将阴极压紧盖板用螺栓与联接固定法兰联接，把快速电缆接头装在阴极杆的下端，再从阴极杆上头把绝缘部份、屏蔽部份依次套在阴极杆上；绝缘部份的高度调节环置于炉底板上面，阴极杆上段以螺纹联接方式装上阴极导电螺母，最后装上阴极盘，阴极盘下面的凹槽与阴极导电螺母顶部的凸台接触。该技术有如下优点1.内部的纵、横向间隙不会被溅射导通，从而使云母支座的上、下之间不易导通，不必对绝缘支座表面定期清理。2.上部纵向间隙由屏蔽内套、云母保护环来实现，横向间隙由阴极导电螺母、屏蔽外套、屏蔽内套来调整、实现。3.解决了联接螺钉因受热膨胀而出现的导电不良现象，阴极盘和工件的自重使得阴极盘、阴极导电螺母之间导通良好，金属底座、高度调节环之间的螺纹可对整个支座高度进行微调；快速接头可方便地使电缆与阴极杆联接。附图说明附图为本技术结构剖面示意图。图中1是阴极盘，2是阴极导电螺母，3是屏蔽外套，4是屏蔽内套，5是云母保护环，6是绝缘上支座，7是护隙环1，8是绝缘中支座，9是护隙环2，10是绝缘下支座，11是金属底座，12是高度调节环，13是阴极内套1，14是阴极内套2，15是阴极隔水套，16是阴极套管，17是联接固定法兰，18是阴极密封座，19是阴极杆，20是阴极压紧盖板，21是快速电缆接头，22是炉底板外壁，23是炉底板。具体实施方式本技术以下将结合实施例(附图)作进一步描述如图所示，先将联接固定法兰(17)与阴极隔水套(15)下部螺纹联接，把阴极隔水套(15)与炉底盘外壁(22)、炉底盘(23)的中孔密封焊接固定在一起。将阴极套管(16)和阴极密封座(18)及相应密封圈套在阴极杆(19)之外，再将这部份从下往上插入阴极隔水套(15)之中，将阴极压紧盖板(20)用螺栓与联接固定法兰(17)联接压紧，再装上电缆快速接头(21)的底座部份。上部再按顺序装入阴极内套2(14)、阴极内套1(13)、金属底座(11)和高度调节环(12)、绝缘下支座(10)、护隙环2(9)、绝缘中支座(8)、护隙环1(7)、绝缘上支座(6)、云母保护环(5)、屏蔽内套(4)、屏蔽外套(3)、阴极导电螺母(2)，并通过螺纹调节(3)和(4)的相对位置，改变横向间隙的大小，最后装上阴极盘(1)，接下部的电缆快速接头(21)，再在辉光离子渗氮炉外壳上接上电缆，完成组装。权利要求1.一种辉光离子渗氮炉用阴极输电装置它包括阴极盘(1)、屏蔽部份、绝缘部份、阴极部份，其特征在于A屏蔽部份由阴极导电螺母(2)、屏蔽外套(3)、屏蔽内套(4)、云母保护环(5)组成阴极导电螺母(2)装在阴极盘(1)和屏蔽外套(3)之间，其中间螺纹孔与阴极杆(19)的上端螺纹联接，屏蔽外套(3)与阴极导电螺母不接触，留有间隙，屏蔽外套(3)的内螺纹与屏蔽内套(4)的外螺纹联接，屏蔽内套(4)和云母保护环(5)不接触，留有纵向间隙，云母保护环(5)和绝缘支座(6)接触，屏蔽内套(4)上口与绝缘上支座(6)的上凸台接触；B绝缘部份由绝缘上支座(6)、护隙环1(7)、绝缘中支座(8)、护隙环2(9)、绝缘下支座(10)、金属底座(11)、高度调节环(12)、阴极内套1(13)、阴极内套2(14)组成；绝缘上支座(6)、护隙环1(7)、绝缘中支座(8)、护隙环2(9)、绝缘下支座(10)、阴极内套1(13)、阴极内套2(14)，都是熔铸云母制成，阴极内套1(13)、阴极内套2(14)装在高度调节环(12)和金属底座(11)内；C阴极部份包括阴极隔水套(15)、阴极套管(16)、联接法兰(17)、阴极密封座18)、阴极杆(19)、阴极压盖板(20)、快速电缆接头(21)、炉底板外壁(22)、炉底板(23)组成聚四氟乙烯材料制成阴极套管(16)和阴极密封座(18)，环氧层压玻璃布材料制成阴极压紧盖板(20)，阴极密封座(18)上、下面设有密封圈，把它置于阴极隔水套(15)、阴极套管(16)及阴极杆(19)下段之间，炉底板外壁(22)和炉底板(23)的中孔与阴极隔水套(15)焊接固定在一起，炉底板(23)和炉底板外壁(22)之间通冷却水。2.根据权利要求所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种辉光离子渗氮炉用阴极输电装置：它包括阴极盘（１）、屏蔽部份、绝缘部份、阴极部份，其特征在于：Ａ：屏蔽部份由阴极导电螺母（２）、屏蔽外套（３）、屏蔽内套（４）、云母保护环（５）组成：阴极导电螺母（２）装在阴极盘（１）和屏蔽外套（３）之间，其中间螺纹孔与阴极杆（１９）的上端螺纹联接，屏蔽外套（３）与阴极导电螺母不接触，留有间隙，屏蔽外套（３）的内螺纹与屏蔽内套（４）的外螺纹联接，屏蔽内套（４）和云母保护环（５）不接触，留有纵向间隙，云母保护环（５）和绝缘支座（６）接触，屏蔽内套（４）上口与绝缘上支座（６）的上凸台接触；Ｂ：绝缘部份由绝缘上支座（６）、护隙环１（７）、绝缘中支座（８）、护隙环２（９）、绝缘下支座（１０）、金属底座（１１）、高度调节环（１２）、阴极内套１（１３）、阴极内套２（１４）组成；绝缘上支座（６）、护隙环１（７）、绝缘中支座（８）、护隙环２（９）、绝缘下支座（１０）、阴极内套１（１３）、阴极内套２（１４），都是熔铸云母制成，阴极内套１（１３）、阴极内套２（１４）装在高度调节环（１２）和金属底座（１１）内；Ｃ：阴极部份包括阴极隔水套（１５）、阴极套管（１６）、联接法兰（１７）、阴极密封座（１８）、阴极杆（１９）、阴极压盖板（２０）、快速电缆接头（２１）、炉底板外壁（２２）、炉底板（２３）组成：聚四氟乙烯材料制成阴极套管（１６）和阴极密封座（１８），环氧层压玻璃布材料制成阴极压紧盖板（２０），阴极密封座（１８）上、下面设有密封圈，把它置于阴极隔水套（１５）、阴极套管（１６）及阴极杆（１９）下段之间，炉底板外壁（２２）和炉底板（２３）的中孔与阴极隔水套（１５）焊接固定在一起，炉底板（２３）和炉底板外壁（２２）之间通冷却水。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：卢金生，顾敏，耿晖，陈岩，张洁，聂熙，
申请(专利权)人：郑州机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：41[中国|河南]