多节立式开合真空溅射离子镀炉制造技术

技术编号：1811534 阅读：180 留言：0更新日期：2012-04-11 18:40

本实用新型专利技术公开了一种多节立式开合真空溅射离子镀炉，它由炉体底座、炉体、上盖三部分组成，整体为圆形，底座和炉体右扇第一节的下连接法兰连接，上连接法兰和第二节连接，多节相连增高，炉体左扇和右扇相对应，由开合油缸和轨道车控制开合，缝隙间有耐高温密封垫进行密封紧固，上盖上装有悬挂自动定位球体，靶芯固定支架螺帽，自动定位靶芯固定不动，球座带动悬挂吊筒、拉筋、吊盘和加工工件转动，该炉的特征在于：在磁控溅射离子镀全部工艺不变，保证质量的情况下不需增高厂房对大口径，超长度加工件进行离子镀、渗碳、渗钛等多种工艺加工，节省巨大资金，有利于保护炉内各种电器元件和设施，便于清炉，便于装炉、出炉。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种多节立式开合真空溅射离子镀炉，尤其是能将大口径、超长度加工件进行磁控溅射离子镀的特殊真空溅射离子镀炉。本技术解决其技术的问题所采用的技术方案是将整体炉分解为炉体上盖、炉体、炉体底盘三大部分。炉体上盖上设有悬挂自动定位球体、球座、悬挂吊筒、拉筋、吊盘、靶芯、靶芯固定支架螺母、球座轨道、齿圈，加工工件。靶芯由靶芯固定支架螺帽固定不转动，用靶芯耐高温密封材料进行封闭；悬挂自动定位球体内安装有悬挂吊筒，悬挂吊筒下端安装有活动拉筋和吊盘悬挂吊筒，悬挂吊筒下端安装有活动拉筋和吊盘，加工工件吊挂其上，加工工件随着吊盘悬挂吊筒和悬挂自动定位球体，在球座上，用转动齿轮驱动，在球座轨道上转动。炉体为立式开合炉体右扇和立式炉体左扇，由双层炉壁焊接而成，立式开合炉体右扇安装在炉体底盘上为固定扇，炉体底盘下设有炉体支架，立式炉体左扇为活动开合扇，其上各扇的两侧上设有合炉密封板，在密封板的侧边设有数个紧固螺孔，上述为一节的造形和结构，根据加工件长度的需要，可以多层上下连结为多层，在该开合左扇的一侧设有轨道，轨道上放置有开合轨道车，开合油缸和可随时开合的立式开合炉体左扇连接在一起，在立式开合炉体右扇和左扇上都设有上、下连接法兰，连接法兰上有多个紧固螺孔，在立式开合炉体左、右扇上设有多个水冷却循环水道孔，炉体底盘为圆形，外沿边上设有多个紧固螺孔，下边有炉体支柱。在吊装加工工件，卸出加工工件，清理维修炉体内部时将该分体炉开启，在进行磁控溅射离子镀的运行时将应连通的电器元件和应通连的部件连接好后将该炉闭合为一体，呈圆筒形，各个闭合件之间用耐高温密封材料和密封垫将其密封，用...

【技术保护点】
一种多节立式开合真空溅射离子镀炉，在炉体底盘上装有立式开合炉体右扇和可以开合的立式开合的炉体左扇及上盖，其特征是：炉体底盘（１８）为圆形，其下有炉体支架（１９），连结螺栓（２１）将立式开合炉体右扇（１１）的第一节和炉体底盘（１８）连接，立式开合炉体右扇（１１）的第二节和第一节的上连接法兰通过紧固螺孔（２０）用紧固件相连接，立式开合炉体左扇（１２）和立式开合炉体右扇（１１）相同相对应，开合油缸（１５），开合轨道车（１６）控制立式开合炉体左扇（１２）的开合，通过左、右两扇上两侧的合炉密封板（２２）上的数个紧固螺孔（２７）用紧固螺栓密封，上盖（１）上安装悬挂自动定位球体（２）、靶芯固定支架螺帽（９）将靶芯（７）固定在加工工件（８）内，悬挂吊筒（４）拧固在悬挂自动定位球体（２）上，球座（３）在齿圈（２５）、转动齿轮（３０）的作用下绕球底轨道（２３）转动，带动加工工件（８）在炉体内绕靶芯（７）转动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李忠河，
申请(专利权)人：李忠河，
类型：实用新型
国别省市：23[中国|黑龙江]

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