蒸镀设备制造技术

一种蒸镀设备，具有利用一开关控制相通与否的第一真空室与第二真空室，于该第一真空室中设置有一可供定量收容蒸镀源的喂料装置及一可将蒸镀源往第二真空室递送的导料机构，于该第二真空室中则设置有可收容来自该导料机构的蒸镀源并予以加热以使蒸镀源气化的加热装置，在该开关阻隔第一真空室与第二真空室相通的情形下，位于该第一真空室中的喂料装置可进行新添蒸镀源作业，该第二真空室中的加热装置则可不受影响地继续进行蒸镀作业。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术是与电激发光元件制程设备与有关，更详而言之是指一种具有二个相连通真空室的蒸镀设备。
技术介绍
请参阅图1所示的已知用以对低分子是材料加热的蒸镀设备10，其组成包括一真空蒸镀室11，一供被蒸镀物12朝向下方安装的支持台13，前述被蒸镀物12如已经完成图案化的ITO基板，一加热器14位于该支持台13下方，该加热器14是用以对放置于其上方的蒸镀源15(即有机低分子是材料)进行加热使用，在温度到达蒸镀源15的气化点时，原为固态(可为锭状、片状或颗粒状)的蒸镀源15将被气化并充布于该真空蒸镀室11中，气化后的蒸镀源15并将附著于该被蒸镀物12上，以便达薄膜被覆的作业。然而，该蒸镀设备10在实际的操作使用上却有以下所述不便及未臻完善之处1、在蒸镀源15因受热气化致不足或耗尽而需重新喂料时，须先使真空蒸镀室11内部恢复常压状态，待于新的蒸镀源入料完成后再予进行抽真空作业，惟，一般的真空蒸镀室11因应蒸镀作业的需求而具有较大的容积，遂造成抽真空作业时间拉长，进而导致产能降低。2、承上述第1点所述，该真空蒸镀室11在每一次进行新的蒸镀源喂料时，其腔体必须经过开启、关闭与抽真空等动作，而在多次重复上述动作后，遂有影响腔体内部真空度之虞。3、虽有业者在每一次的喂料时由大量添加、分次加热的方式以减缓蒸镀源的耗失速度，并据以降低常破腔体的机率，然而，过多的蒸镀源将使得其在受热时的外部与内部温度并非均匀一致，而于长时间的高温作用下，将导致前后不同时间被加热的蒸镀源材料变质，进而影响尔后有机发光装置的光电性质及寿命表现。请再配合图2、图3所示的另一种蒸镀设备20，其取得美国第6,467,427号专利技术专利在案，该蒸镀设备20具有一真空蒸镀室21、一供被蒸镀物22安装的支持台23、一可移动并具有加热功效的蒸镀船24、一坩埚25与一卡式匣转轮26，其中该卡式匣转轮26还包括有一固定不动且具一缺口261的外壳262、一由中心轴263带动旋转的转轮264及多数与该转轮264固接的隔板265，各该隔板265并区分出复数个小格子266；该蒸镀设备20是利用于各个小格子266中预置定量的蒸镀源27，再经由控制该转轮264转动以促使收容于各小格子266内的蒸镀源27逐步地自该缺口261掉落至该坩埚25中，该坩埚25可被通予电流以对蒸镀源27产生预热，之后，坩埚25内的蒸镀源27再掉落至该蒸镀船24中，且蒸镀船24被移动至预定位置继续对蒸镀源27进行加热，以便达对蒸镀源27气化的目的及完成薄膜被覆的作业。诚然该蒸镀设备20具有定时、定量提供蒸镀源的功效，惟其仍有未臻完善之处，即1、当该卡式匣转轮26所收容的蒸镀源用尽并于重新装料之后，于对该具有大容积的真空蒸镀室21进行抽真空作业时，所需时间仍长。2、在该真空蒸镀室21反覆被开启与关闭之间，容易使得该被蒸镀物22(如ITO基板)遭污染机率增加。3、由于该卡式匣转轮26的中心轴263以水平向设置(如图3所示)，因此，仅能以侧向入料，遂造成在添加新的蒸镀源时，显得极为不便。4、该蒸镀设备20在其卡式匣转轮26与蒸镀船24之间虽设置有该坩埚25可对蒸镀源27进行预热使用，惟，蒸镀船24本身已具备加热功效，因此，该坩埚25的装设显得并非必要。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种蒸镀设备，具有快速供给定量蒸镀源的功效，据以提升产能。本技术的次要目的在于提供一种蒸镀设备，可避免常破腔体，以降低影响腔体内部真空度及降低污染的机率。本技术的另一目的在于提供一种蒸镀设备，是可缩短抽真空的作业时间。缘以达成上述的目的，本技术所提供的一种蒸镀设备，其特征在于，包含有一真空是统，具有相连通的一第一真空室与一第二真空室，以及一开关是做为控制该第一真空室与该第二真空室相通与否使用；一设置于该第一真空室中的喂料装置，该喂料装置具有一供收纳蒸镀源的储料容器及一导料机构，该导料机构在该第一真空室与该第二真空室相通时，可将蒸镀源往该第二真空室递送；至少一设置于该第二真空室中的加热装置，该加热装置适于收容来自该喂料装置的蒸镀源并予以加热以使蒸镀源气化。其中该喂料装置的储料容器底部具有一开口，该导料机构具有一位于该储料容器下方的集料筒及一与该集料筒相通的引料轨道，该集料筒收集自该储料容器开口落下的蒸镀源，该引料轨道朝外朝下延伸形成，并可将集料筒中的蒸镀源引送至该加热装置。其中该喂料装置还包含有一分料机构，该分料机构具有一中心轴、数叶片与一第一动力源，该中心轴穿设于该储料容器中，各该叶片与该中心轴固接且将该储料容器区分成数个可供收容蒸镀源的容槽，该第一动力源是用以驱使该中心轴产生转动，在容槽与该开口对应时，容槽内的蒸镀源将掉落至该集料筒中。其中该第二真空室中装设有数加热装置，该导料机构还包括有一第二动力源，该第二动力源是可驱使该集料筒产生转动，以改变该引料轨道与不同位置的加热装置对应设置。其中该导料机构的引料轨道具有伸缩功能。其中还包括有一检知感应器，用以检测该储料容器内的蒸镀源存量。其中该第一真空室的容积小于该第二真空室的容积。附图说明以下，列举本技术的较佳实施例，并配合下列附图详细说明于后，其中图1是现有蒸镀设备的简易示图。图2是另一现有蒸镀设备的简易示图。图3是上述另一现有蒸镀设备的喂料装置示意图。图4是本技术一较佳实施例的侧面示意图，揭示第一真空室与第二真空室之间未相通。图5是本技术上述较佳实施例的顶面示意图。图6是本技术喂料装置的立体示意图。图7类同图4，揭示第一真空室与第二真空室之间相连通。图8是图7的顶面示意图。图9是本技术的另一应用例，说明第二真空室中设置有数个加热装置。具体实施方式请参阅图4、图5所示，是本技术蒸镀设备100一较佳实施例的简易示图，该蒸镀设备100组成包括一真空是统30、一喂料装置40、一加热装置50与一检知感应器60；其中该真空是统30是由相连通的一第一真空室31与一第二真空室32及一做为控制该第一真空室31与该第二真空室32相通与否使用的阀门开关33所组成，前述第一真空室31与第二真空室32的形成是利用二个独立的腔体相连接而成，当然，亦可由单一腔体内部经区隔而构成，另说明的是，在本实施例中，是将该第一真空室31的容积以小于该第二真空室32的容积的方式制作，另有一闸门34做为开启该第一真空室31与否使用；在该第一真空室31中是设置有该喂料装置40与该检知感应器60，在该第二真空室32中则设置有该加热装置50及位于该加热装置50上方可供被蒸镀物A安装的支持台35。请配合图6所示，该喂料装置40由一储料容器42、一分料机构44与一导料机构46所构成，其中该储料容器42是为底部具有一开口421且内部可供收纳蒸镀源B的圆形筒体。该分料机构44由一中心轴441、数叶片442及一为步进马达的第一动力源443所组成，该中心轴441穿设于该储料容器42中，各该叶片442与该中心轴441固接且将该储料容器42区分成数个可供收容蒸镀源B的容槽444，该第一动力源443透过一皮带445居间传动而可驱使该中心轴441以定格方式产生转动，当其中一容槽444与该开口421对应时，容槽444内的蒸镀源B将往该导料机构46方向掉落。该导料机构46具有一集料筒461、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀设备，其特征在于，包含有：　　　　一真空是统，具有相连通的一第一真空室与一第二真空室，以及一开关是做为控制该第一真空室与该第二真空室相通与否使用；　　　　一设置于该第一真空室中的喂料装置，该喂料装置具有一供收纳蒸镀源的储料容器及一导料机构，该导料机构在该第一真空室与该第二真空室相通时，可将蒸镀源往该第二真空室递送；　　　　至少一设置于该第二真空室中的加热装置，该加热装置适于收容来自该喂料装置的蒸镀源并予以加热以使蒸镀源气化。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林芠瑄，陈奇民，马维山，张锦山，
申请(专利权)人：胜华科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]