一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法、装置及系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法、装置及系统，涉及芯片设计领域。所述芯片质量检测方法，包括：发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。本发明专利技术可全自动完成整个晶圆上所有芯片的连续测试，极大地提高了测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法、装置及系统
本专利技术涉及芯片测试领域，特别涉及一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法、装置及系统。
技术介绍
汽车空气流量计是用来检测汽车发动机单位时间内吸进气体体积或质量(进气量)，并将进气量物理信号变换成电信号的传感器。该传感器为汽车ECU(电子控制单元)提供进气量信息，以便动态控制实际进气量、喷油量及点火时间，使发动机工作在最佳空燃比状态，保证汽车动力输出、燃油经济性与尾气排放等指标最优。空气流量计主要分为体积流量型和质量流量型；前者又分为翼片式、量芯式和涡流式。这三种类型的体积流量型空气流量计都存在结构复杂、可靠性差、需要温度与压力信息补偿测量误差等缺点。质量流量型主要分为热线式和热膜式，都具有进气阻力小、响应速度快等特点，其中热膜式质量流量计利用MEMS工艺生产，具有低成本、高精度等特点，是目前汽车空气流量计市场的主流产品。MEMS空气流量计基于托马斯原理，采用图形化的复合金属膜电阻群测量气体流动造成的局部温度变化，获得对应的气体质量流量信息。目前，在进行MEMS空气流量计批生产时，往往都需要先对完成微加工工艺流程的晶圆进行划切、裂片，然后用万用表对单个的芯片(DIE)上的电阻阵列逐个测试并记录，这种方式不仅效率低、记录容易出现错误，而且也不利于整片晶圆的工艺状况数据的积累和统计分析。
技术实现思路
本专利技术技术要解决的问题是：克服现有技术不足，提供一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法、装置及系统，通过控制电阻测试装置按预设扫描参数对待测晶圆上的芯片进行扫描测试，并根据扫描测试信息判断该芯片是否合格，通过控制待测晶圆移动，使晶圆上的其他芯片依次进行扫描测试，并依次根据扫描测试信息判断其他芯片是否合格，可全自动完成整个晶圆上所有芯片的连续测试，极大地提高了测试效率。为实现上述专利技术目的，本专利技术采用如下技术方案：一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，包括：发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。在一可选实施例中，所述扫描测试信息还包括芯片在待测晶圆上的位置标识，所述判断所述芯片质量是否合格之后，还包括：显示所述待测晶圆的芯片分布图，并根据所述位置标识在所述芯片分布图的对应位置显示是否合格标识。在一可选实施例中，所述发送测试控制指令之前，还包括：显示各电阻的电阻标识；获取并存储所述电阻标识对应的电阻范围。在一可选实施例中，所述判断所述芯片质量是否合格之后，还包括：显示所述当前芯片对应的各电阻的实测电阻值及各电阻是否合格标识。一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测装置，包括：第一发送模块，用于发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取及存储模块，用于获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；判断模块，用于根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；第二发送模块，用于发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。在一可选实施例中，所述扫描测试信息还包括芯片在待测晶圆上的位置标识，所述装置还包括：第一显示模块，用于显示所述待测晶圆的芯片分布图，并根据所述位置标识在所述芯片分布图的对应位置显示是否合格标识。在一可选实施例中，所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测装置，还包括：第二显示模块，用于：显示各电阻的电阻标识；所述获取及存储模块，还用于获取并存储所述电阻标识对应的电阻范围。在一可选实施例中，所述第二显示模块，还用于：显示所述当前芯片对应的各电阻的实测电阻值及各电阻是否合格标识。一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测系统，包括检测装置、探针台及电阻测试装置，待测晶圆固定在所述探针台上，所述探针台用于带动所述待测晶圆按预设轨迹移动，所述电阻测试装置用于测试所述待测晶圆的芯片上的各电阻的电阻值，所述检测装置包括：第一发送模块，用于发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取及存储模块，用于获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；判断模块，用于根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；第二发送模块，用于发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。在一可选实施例中，所述电阻测试装置包括电阻测试仪及探针卡，所述探针卡位于所述探针台上。本专利技术与现有技术相比有益效果为：(1)本专利技术提供的一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法、装置及系统，通过控制电阻测试装置按预设扫描参数对待测晶圆上的芯片进行扫描测试，并根据扫描测试信息判断该芯片是否合格，通过控制待测晶圆移动，使晶圆上的其他芯片依次进行扫描测试，并依次根据扫描测试信息判断其他芯片是否合格，可全自动完成整个晶圆上所有芯片的连续测试，极大地提高了测试效率；(2)通过存储记录测试信息，避免了信息记录错误，且利于整片晶圆的工艺状况数据的积累和统计分析；(3)通过在待测晶圆的芯片分布图上显示已测芯片是否合格信息，以使工作人员根据芯片分布图显示的信息确定如何对晶圆进行划片，避免了不必要的全片划片，以节省划片成本、提高生产效率；(4)通过显示各电阻标识，提示工作人员根据应用需求自行设置电阻合格范围，适用范围广；(5)通过显示芯片及其对应的各电阻的合格标识，能够直接确定芯片上受损的电阻。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法流程图；图2为本专利技术提供的一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测系统结构示意图；图3为本专利技术一具体实施例的人机交互界面框图。具体实施方式下面结合附图和具体实施方式对本专利技术进行详细说明。参见图1，本专利技术实施例提供了一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，包括：步骤101、发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；步骤102、获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；步骤103、根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；具体地，本专利技术实施例中，当所述芯片上各电阻的电阻值均在预设电阻范围内时，所述芯片质量合格，当有至少一个电阻值不在预设电阻范围内时，所述芯片质量不合格；步骤104、发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。具体地，本专利技术实施例中，可以将待测晶圆放置在移动装置上，通过控制移动装置移动带动待测晶圆按预设路径运动；本专利技术提供的一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，通过控制电阻测试装置按预设扫描参数对待测晶圆上的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，包括：发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，包括：发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试并根据扫描信息判断所述下一个芯片是否合格。2.根据权利要求1所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，所述扫描测试信息还包括芯片在待测晶圆上的位置标识，所述判断所述芯片质量是否合格之后，还包括：显示所述待测晶圆的芯片分布图，并根据所述位置标识在所述芯片分布图的对应位置显示是否合格标识。3.根据权利要求1所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，所述发送测试控制指令之前，还包括：显示各电阻的电阻标识；获取并存储所述电阻标识对应的电阻范围。4.根据权利要求3所述的MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测方法，其特征在于，所述判断所述芯片质量是否合格之后，还包括：显示所述当前芯片对应的各电阻的实测电阻值及各电阻是否合格标识。5.一种MEMS空气流量计晶圆上芯片质量检测装置，其特征在于，包括：第一发送模块，用于发送测试控制指令以使电阻测试装置对待测晶圆上的一个芯片进行扫描测试；获取及存储模块，用于获取并存储扫描测试信息，所述扫描测试信息包括所述芯片上各电阻的电阻值；判断模块，用于根据所述扫描测试信息与预设电阻范围进行比对，判断所述芯片质量是否合格；第二发送模块，用于发送移动控制指令以使所述待测晶圆按预设路径运动，从而对所述待测晶圆上的下一个芯片进行扫描测试...

【专利技术属性】
技术研发人员：马高印，邢朝洋，梅崴，刘福民，庄海涵，张树伟，
申请(专利权)人：北京航天控制仪器研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11