【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空镀膜机，特别是公开一种非导电介质薄膜镀锌铝的真空蒸发镀膜机，应用于电子元器件、包装材料的镀膜。见附附图说明图1，整机实行电脑控制，起重架5-2吊起整卷塑料薄膜，装入传膜架5的储膜架上，经主轴4将塑料薄膜移至传膜架5的收卷棍上；冷冻柜3起动，通过管件进入主轴4作循环运动，使主轴4冷却至-10℃；设在主机架右侧的机件，包括主轴4、冷冻柜3、屏蔽支架21在内，通过滚轮在底架1的轨道上向前行进，使传膜架5、屏蔽支架21和传膜架5上的塑料薄膜分别进入真空室6的卷绕室16和镀膜室19，推紧密封后停止工作；同时，设在副机架2-1上的加热控制箱18和与其固定的蒸发舟17带着锌锅17-1、铝锅17-2通过滚轮沿轨道进入镀膜室19，此时的锌锅17-1温度恒定在515℃±10，350mm±10/s速度送丝；铝锅17-2温度恒定在1500℃±10，推进至密封位置后停止推进，使锌、铝蒸发成气体；打开阀门10、10-1，第一真空系统启动，第二真空系统启动，抽取真空室6的空气成真空，镀膜室19达-4×10-4，卷绕室16达-6×10-2，关闭阀门10、10-1保压，主轴4转动，以8m/s速度转动，收卷棍开始收卷，先在塑料薄膜上镀铝后，再在铝膜上镀锌，中间根据尺寸要求，按产品要求设定的时间，起动屏蔽支架21，遮住塑料薄膜，铝、锌无法着床，锌铝膜被切断，得到塑料薄膜上被间隔切断的整卷锌铝薄膜；打开阀门10、10-1真空室6进入空气，恢复大气压力，主机架右侧的机件，包括主轴4、冷冻柜3、屏蔽支架21在内通过滚轮在底架1的轨道上向后行进，使传膜架5、屏蔽支架21和传...
【技术保护点】
一种锌铝真空蒸发镀膜机，包括卷绕室（１６）、镀膜室（１９）和网络板（２０）组成的真空室（６），扩散泵（７）、阀门（１０）、罗茨泵（１１）、（９）、滑阀泵（８）组成第一抽真空系统和冷阱式的第二抽真空系统以及蒸发源，其特征在于：所述的第二抽真空系统采用非冷凝捕集泵，是由滑阀泵（１５）、罗茨泵（１４）、一个增压泵（１２）或二个增压泵（１２）、（１３）、阀门（１０－１）依次串联连接、二个增压泵相互并联，然后与上述其他元件串联连接，组成第二抽真空系统，第二抽真空系统接通真空室。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：唐玉宇，奚顺明，
申请(专利权)人：上海奥移电器有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]
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