磁力传动大面积蒸发镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁力传动大面积蒸发镀膜机，包括真空腔室，真空腔室内设置蒸发源，所述真空腔室侧壁上设有磁力传动装置，所述磁力传动装置包括传动滑块、外滑动导轨、外磁铁、内滑动导轨、内磁铁、基片台，所述外磁铁、内磁铁磁性相反，所述传动滑块、外滑动导轨、外磁铁均位于所述真空腔室外，所述外磁铁固定于所述传动滑块上，所述传动滑块可在推动装置作用下沿所述外滑动导轨滑动，所述内滑动导轨、内磁铁、基片台均位于所述真空腔室内，所述基片台固定于所述内磁铁上，所述内磁铁可在所述外磁铁的作用下在所述内滑动导轨上滑动。本实用新型专利技术磁力传动大面积蒸发镀膜机，设备稳定性大大提高，维护成本降低，并且大面积样件镀膜更均匀。

【技术实现步骤摘要】
磁力传动大面积蒸发镀膜机
本技术涉及一种镀膜机，特别是涉及一种磁力传动的大面积蒸发镀膜机。
技术介绍
大面积样件镀膜通常采用真空蒸发镀膜机，传统的用于大面积样件的真空蒸发镀膜机采用磁流体、齿轮传动装置，其中的齿轮咬合位置难以调整，并且真空腔室的密封性差，真空腔室内外传动传统容易出现漏气、卡顿、传动不畅等问题，设备设备稳定性差、维护成本高，大面积样件镀膜不均匀。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种磁力传动大面积蒸发镀膜机，以解决上述现有技术存在的问题，其设备稳定性大大提高，维护成本降低，并且大面积样件镀膜更均匀。为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术一种磁力传动大面积蒸发镀膜机，包括真空腔室，真空腔室内设置蒸发源，所述真空腔室侧壁上设有磁力传动装置，所述磁力传动装置包括传动滑块、外滑动导轨、外磁铁、内滑动导轨、内磁铁、基片台，所述外磁铁、内磁铁磁性相反，所述传动滑块、外滑动导轨、外磁铁均位于所述真空腔室外，所述外磁铁固定于所述传动滑块上，所述传动滑块可在推动装置作用下沿所述外滑动导轨滑动，所述内滑动导轨、内磁铁、基片台均位于所述真空腔室内，所述基片台固定于所述内磁铁上，所述内磁铁可在所述外磁铁的作用下在所述内滑动导轨上滑动。本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机，其中，所述推动装置包括传动丝杠、旋转电机，所述真空腔室侧壁上设置有安装支架，所述传动丝杠一端通过轴承设置于所述安装支架上，所述旋转电机安装于所述真空腔室侧壁上带动传动丝杠旋转，所述传动滑块螺纹连接于所述传动丝杠上。本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机，其中，还包括抽真空系统，所述抽真空系统位于所述真空腔室外并且和所述真空腔室内腔连通。本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机，其中，还包括充气装置，所述充气装置位于所述真空腔室外并且和所述真空腔室内腔联通。本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机，其中，还包括膜厚检测装置，所述膜厚检测装置设置于所述真空腔室内。本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机，其中，所述真空腔室侧壁上开有观察窗。本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机，其中，所述真空腔室侧壁上设有照明装置。本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：由于本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机的真空腔室上设有磁力传动装置，磁力传动装置包括传动滑块、外滑动导轨、外磁铁、内滑动导轨、内磁铁、基片台，外磁铁、内磁铁磁性相反，传动滑块、外滑动导轨、外磁铁位于真空腔室外，内滑动导轨、内磁铁、基片台均位于真空腔室内，基片台固定于内磁铁上，内磁铁可在外磁铁的作用下在滑动导轨上滑动，实现真空腔室外的直线传动到真空腔室内的直线传动，达到真空腔室无需开孔密封的目的，不易发生漏气、卡顿、传动不畅等问题，减少设备维护成本，增加设备稳定性，并且在蒸发源较小的情况下使大面积样件镀膜更均匀。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机的总体结构示意图；图2为本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机中磁力传动装置的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。如图1所示，本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机，包括真空腔室11，真空腔室11内设置蒸发源19，真空腔室11外设置抽真空系统14，抽真空系统14和真空腔室11内腔连通，真空腔室11侧壁上设有磁力传动装置12，磁力传动装置12包括传动滑块123、外滑动导轨124、外磁铁125、内滑动导轨120、内磁铁126、基片台127，外磁铁125、内磁铁126磁性相反，传动滑块123、外滑动导轨124、外磁铁125均位于真空腔室11外，外磁铁125通过碳钢背板固定于传动滑块123上，传动滑块123可在推动装置作用下沿外滑动导轨124左右滑动，内滑动导轨120、内磁铁126、基片台127均位于真空腔室11内，内磁铁126上端通过碳钢背板设置于内滑动导轨120、下端连接基片台127，基片台127用于放置大面积样件，当传动滑块123在推动装置作用下沿外滑动导轨124左右移动时，由于磁铁异性相吸原理，在外磁铁125的磁力作用下内磁铁126在内滑动导轨120上左右移动，从而使基片台127上的大面积样件在蒸发源附近左右往复运动，使大面积样件镀膜更均匀。如图1、2所示，推动装置包括传动丝杠121、旋转电机122，真空腔室11侧壁上设置有安装支架13，传动丝杠121一端通过轴承设置于安装支架13上，旋转电机122安装于真空腔室11侧壁上，传动滑块123螺纹连接于传动丝杠121上，旋转电机122启动时带动传动丝杠121旋转，使传动滑块123在传动丝杠121上左右移动；同时推动装置还可采用除传动丝杠外的其他结构形式。如图1所示，本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机还包括充气装置15、膜厚检测装置16、照明装置18、手套箱20，充气装置15、照明装置18、手套箱20均设置于真空腔室11外，膜厚检测装置16位于真空腔室11内，充气装置15和真空腔室11内壁联通，真空腔室11侧壁上开有观察窗17。本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机工作时，将大面积样件固定于基片台上，通过真空系统给真空腔室抽至高真空，基片台通过磁力传动装置围绕蒸发源的电极反复往复运动，在此过程中可通过观察窗和照明装置观测样件和蒸发源状况，通过膜厚监测装置检测膜厚，从而实现大面积样件蒸发镀膜。由于本设备配备手套箱20和充气系统15可实现样件的气体氛围保护。采用本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机结构的型号ZHD450的大面积蒸发镀膜设备，组装后试用半年，反复镀膜100-200次，期间磁力传动装置运行顺畅，无卡顿、无漏气，比传统磁流体密封传动装置性能更稳定，减少了维护成本。采用本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机结构的设备型号ZHD450大面积蒸发镀膜设备，配备2组100*10mm钨蒸发源，蒸发源面积在50*10mm，经实验测试，可实现400*200mm大面积样片均匀镀膜，膜厚均匀性在5％以内，同工艺反复测试5次，均匀性均良好。采用本技术磁力传动大面积蒸发镀膜机结构的设备型号ZHD450大面积蒸发镀膜设备，可增加蒸发源数量和和腔室长度，从而实现更大面积样件的均匀镀膜。本技术中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁力传动大面积蒸发镀膜机，包括真空腔室(11)，真空腔室(11)内设置蒸发源(19)，其特征在于：所述真空腔室(11)侧壁上设有磁力传动装置(12)，所述磁力传动装置(12)包括传动滑块(123)、外滑动导轨(124)、外磁铁(125)、内滑动导轨(120)、内磁铁(126)、基片台(127)，所述外磁铁(125)、内磁铁(126)磁性相反，所述传动滑块(123)、外滑动导轨(124)、外磁铁(125)均位于所述真空腔室(11)外，所述外磁铁(125)固定于所述传动滑块(123)上，所述传动滑块(123)可在推动装置作用下沿所述外滑动导轨(124)滑动，所述内滑动导轨(120)、内磁铁(126)、基片台(127)均位于所述真空腔室(11)内，所述基片台(127)固定于所述内磁铁(126)上，所述内磁铁(126)可在所述外磁铁(125)的作用下在所述内滑动导轨(120)上滑动。

【技术特征摘要】
1.一种磁力传动大面积蒸发镀膜机，包括真空腔室(11)，真空腔室(11)内设置蒸发源(19)，其特征在于：所述真空腔室(11)侧壁上设有磁力传动装置(12)，所述磁力传动装置(12)包括传动滑块(123)、外滑动导轨(124)、外磁铁(125)、内滑动导轨(120)、内磁铁(126)、基片台(127)，所述外磁铁(125)、内磁铁(126)磁性相反，所述传动滑块(123)、外滑动导轨(124)、外磁铁(125)均位于所述真空腔室(11)外，所述外磁铁(125)固定于所述传动滑块(123)上，所述传动滑块(123)可在推动装置作用下沿所述外滑动导轨(124)滑动，所述内滑动导轨(120)、内磁铁(126)、基片台(127)均位于所述真空腔室(11)内，所述基片台(127)固定于所述内磁铁(126)上，所述内磁铁(126)可在所述外磁铁(125)的作用下在所述内滑动导轨(120)上滑动。2.根据权利要求1所述的磁力传动大面积蒸发镀膜机，其特征在于：所述推动装置包括传动丝杠(121)、旋转电机(122)，所述真空腔室(11)侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：施戈，田琳，彭建，
申请(专利权)人：北京泰科诺科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11