锭块压紧设备和包括锭块压紧设备的锭块切片设备制造技术

一种锭块切片设备的压头，包括：头部主体，其中形成构造为供应压缩空气的多个气动供应端口，以便分开控制压头各部分上的压力；压紧单元，安装在头部主体的下端上，定位为对应各气动供应端口，并且各自构造为由经过各气动供应端口供应的压缩空气施加压力到锭块的侧表面；气动校正单元，各自安装在各压紧单元的下表面上并且构造为控制多个压紧单元之间的压力偏差；粘合板，安装为与气动校正单元的下侧表面接触，以使得粘合板的下表面直接接触并压紧锭块的侧表面；和联接支承单元，构造为联接并支承头部主体、压紧单元、气动校正单元和粘合板。

【技术实现步骤摘要】
锭块压紧设备和包括锭块压紧设备的锭块切片设备相关申请的交叉引用本申请要求2016年11月23日提交的韩国专利申请第10-2016-0156597的优先权，其以参见的方式纳入本文。
本实施例涉及一种锭块压紧设备和包括锭块压紧设备的锭块切片设备。
技术介绍
通常，在晶片制造过程中，执行切片工序，以将在晶体生长过程中生长成晶片形状的锭块切片，而线锯切割工序是典型的切片工序。通过线锯切割工序，可提升晶片的平面化程度，并且更具体地，可以控制晶片的翘曲(弯曲和顺弯)程度。线锯切割工序是锭块与锯丝接触并且将锭块切片为具有多个晶片形式的工序。在线锯切割工序中使用的线锯切割设备设有构造为支承锭块的板和锯丝卷绕在其上的辊子。因而，在线锯切割工序中，通过将支承锭块的板沿锯丝卷绕在辊子上的方向相对移动，将锭块切片为具有晶片形式。在通过线锯切割将锭块切片的工序中，切片的晶片的质量可由锭块自身的热膨胀、在切片工序中供应到锯丝的浆液、转动锯丝卷绕在其上的辊子使得锯丝往复运动的心轴和保持锭块的板的热膨胀确定。图1是示出根据传统技术的线锯切割设备的图，图2是示出根据传统技术的锭块切片形状的图。根据传统技术的线锯切割设备101包括用于切片锭块的锯丝102、锯丝102缠绕在其上的辊子103(锯丝引导件)、用于施加张力到锯丝102的张力施加单元104、移动待切片的锭块的锭块运输单元105、当将锭块切片时供应浆液的浆液供应单元106。连续地从锯丝卷轴107馈送锯丝102，锯丝102经过包括粉末离合器(恒转矩电动机109)、浮动辊子(自重)等的张力施加单元104，并且卷绕在辊子103上，其中横向件108布置在锯丝卷轴107与张力施加单元104之间。在锯丝102卷绕在辊子103上大约300至400次后，锯丝102通过张力施加单元104’并且卷绕在锯丝卷轴107’上。此外，开槽辊子103是在其中施加聚氨酯树脂在钢圆筒体周围，并且在其表面上形成具有固定节距的凹槽的辊子，并且卷绕的锯丝102可在由驱动电动机110确定的周期中沿往复的方向被驱动。此外，当锭块被切片时，可由锭块运输单元105将锭块朝向卷绕在辊子103上的锯丝102移动。此外，喷嘴105可安装在卷绕在辊子103上的锯丝102附近，并且当将锭块切片时，该喷嘴可从浆液箱116供应浆液到辊子103和锯丝102上。此外，浆液冷却器117可连接到浆液箱116，以使得供应的浆液的温度可控。通过使用线锯切割设备101，使用张力施加单元104施加合适的张力到锯丝102上，并且驱动电动机110使锯丝102沿往复方向移动以切片锭块。当执行切片工序时，支承锭块的框架、锭块和辊子部分由于切片热量而发生膨胀。因为正被切片的锭块的尾部和种的各侧面由于在每个上述部分处发生的热膨胀而形变，存在晶片的平面化程度降低并且晶片的切片表面的形状不统一的问题。
技术实现思路
本实施例提供了一种包括能够控制在线锯切割工序中被切片的锭块处发生的热膨胀的锭块压紧设备的锭块切片设备。根据实施例，提供一种锭块切片设备的压头，包括：头部主体，其中形成构造为供应压缩空气的多个气动供应端口，以便分开控制压头各部分上的压力；压紧单元，安装在头部主体的下端上，定位为对应气动供应端口，并且各自构造为由经过各气动供应端口供应的压缩空气施加压力到锭块的侧表面；气动校正单元，各自安装在各压紧单元的下表面上，并且构造为控制多个压紧单元之间的压力偏差；粘合板，安装为与气动校正单元的下侧表面接触，以使得粘合板的下表面直接接触并压紧锭块的侧表面；和联接支承单元，构造为联接并支承头部主体、压紧单元、气动校正单元和粘合板。压紧单元可从压头的中心沿径向布置为同心的形状，并且各气动供应端口可连接到压紧单元并且供应压缩空气到压紧单元。布置在压头的中心的压紧单元的上端可设有在其中心的凹槽，通过该凹槽引入压缩空气，并且其下端可形成为具有形成为圆形形状的、比上端更宽的板；围绕布置在中心的压紧单元的各压紧单元的上端部分可设有上表面，其中沿其周缘形成气流凹槽，以使得压缩空气通过气流凹槽引入，而其下端可形成为比其上端更宽的盘形；并且头部主体可设有形成为同心的形状的凸出-凹入部分，各压紧单元的上部插入其中，并且压紧单元的下端可定位成彼此靠近。各压紧单元的上端的外侧表面可设有防止压缩空气泄漏的密封单元，以防止压缩空气通过头部主体的凸出-凹入部分与压紧单元的上端之间的接触部分泄漏。密封单元可包括橡胶衬垫。气动校正单元可包括气动气囊和弹性片，气动气囊抵靠并且安装在各压紧单元的下表面上，并且构造为校正各压紧单元之间的压力偏差，弹性片抵靠气动气囊的下侧表面并且由弹性材料形成。压头还可包括布置在弹性片下面并且构造为覆盖弹性片的附加片。在气流凹槽下面可形成气流孔，并且压缩空气可通过气流孔供应到气动气囊。根据实施例，提供一种锭块切片设备的压头，包括：头部主体，其中形成构造为供应压缩空气的多个气动供应端口，以便分开控制压头的各部分上的压力；压紧单元，安装在头部主体的下端上，定位为对应气动供应端口，从压头的中心沿径向布置为同心的形状，连接到气动供应端口，并且各自构造为施加压力到锭块的侧表面；气动校正单元，气动校正单元各自安装在各压紧单元的下表面上，并且构造为控制多个压紧单元之间的压力偏差；粘合板，安装为与气动校正单元的下侧表面接触，以使得粘合板的下表面直接接触并且压紧锭块的侧表面；和联接支承单元，构造为联接并支承头部主体、压紧单元、气动校正单元和粘合板。压紧单元可包括多个压紧块；并且压紧块可施加不同的压力到锭块的侧表面的不同区域。布置在压头的中心的压紧单元的上端可设有在其中心的凹槽，通过该凹槽引入压缩空气，并且其下端可形成为具有形成为圆形形状的、比上端更宽的板；围绕布置在中心的压紧单元的各压紧单元的上端部分可设有上表面，其中沿其周缘形成气流凹槽，以使得压缩空气通过气流凹槽引入，并且其下端可形成为比其上端更宽的盘形；并且头部主体可设有形成为同心的形状的凸出-凹入部分，各压紧单元的上端部分插入其中，并且压紧单元的下端可定位成彼此靠近。各压紧单元的上端的外侧表面可设有防止压缩空气泄漏的密封单元，以防止压缩空气通过头部主体的凸出-凹入部分与压紧单元的上端之间的接触部分泄漏。密封单元可包括橡胶衬垫。气动校正单元可包括气动气囊和弹性片，气动气囊抵靠并且安装在压紧单元的下表面上，并且构造为校正各压紧单元之间的压力偏差，弹性片抵靠气动气囊的下侧表面并且由弹性材料形成。压头还可包括布置在弹性片下面并且构造为覆盖弹性片的附加片。在气流凹槽下面可形成气流孔，并且压缩空气可通过气流孔供应到气动气囊。根据实施例，提供了一种锭块切片设备，锭块切片设备包括构造为切片锭块的锯丝、构造为支承锯丝的辊子和辊子支承部分，该锭块切片设备包括：包括附连到锭块的下表面并且在其本体内部设有冷却棒插入槽的梁；附连到梁的上表面并且构造为垂直地移动锭块的工作板；和布置在待切片的锭块的侧表面的一部分上的压头。压头可控制在切片锭块的工序中发生的锭块的热膨胀。压头可包括在侧表面的该部分上的压力传输部分，并且该压力传输部分联接到锭块切片设备的本体部分。该压头可包括：头部主体，其中形成构造为供应压缩空气的多个气动供应端口，以便分开控制压头各部分上的压力；压紧单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种锭块切片设备的压头，包括：头部主体，其中形成构造为供应压缩空气的多个气动供应端口，以便分开控制所述压头各部分上的压力；压紧单元，所述压紧单元安装在所述头部主体的下端上，定位为对应所述气动供应端口，并且各自构造为由经过各所述气动供应端口供应的压缩空气施加压力到锭块的侧表面；气动校正单元，所述气动校正单元各自安装在各所述压紧单元的下表面上，并且构造为控制多个所述压紧单元之间的压力偏差；粘合板，所述粘合板安装为与所述气动校正单元的下侧表面接触，以使得所述粘合板的下表面直接接触并且压紧所述锭块的所述侧表面；和联接支承单元，所述联接支承单元构造为联接并支承所述头部主体、所述压紧单元、所述气动校正单元和所述粘合板。

【技术特征摘要】
2016.11.23 KR 10-2016-01565971.一种锭块切片设备的压头，包括：头部主体，其中形成构造为供应压缩空气的多个气动供应端口，以便分开控制所述压头各部分上的压力；压紧单元，所述压紧单元安装在所述头部主体的下端上，定位为对应所述气动供应端口，并且各自构造为由经过各所述气动供应端口供应的压缩空气施加压力到锭块的侧表面；气动校正单元，所述气动校正单元各自安装在各所述压紧单元的下表面上，并且构造为控制多个所述压紧单元之间的压力偏差；粘合板，所述粘合板安装为与所述气动校正单元的下侧表面接触，以使得所述粘合板的下表面直接接触并且压紧所述锭块的所述侧表面；和联接支承单元，所述联接支承单元构造为联接并支承所述头部主体、所述压紧单元、所述气动校正单元和所述粘合板。2.如权利要求1所述的压头，其特征在于：所述压紧单元从所述压头的中心沿径向布置为同心的形状，并且各所述气动供应端口连接到所述压紧单元并且供应压缩空气。3.如权利要求2所述的压头，其特征在于：布置在所述压头的中心的所述压紧单元的上端设有在其中心的凹槽，通过所述凹槽引入压缩空气，并且所述压紧单元的下端形成为具有形成为圆形形状的、比所述上端更宽的板；围绕布置在所述中心的所述压紧单元的各所述压紧单元的上端部分设有上表面，在所述上表面中沿其周缘形成气流凹槽，以使得压缩空气通过所述气流凹槽引入，并且所述压紧单元的下端形成为比其上端更宽的盘形；并且所述头部主体设有形成为同心的形状的凸出-凹入部分，各所述压紧单元的所述上端部分插入其中，并且所述压紧单元的下端定位成彼此靠近。4.如权利要求3所述的压头，其特征在于，各所述压紧单元的所述上端的外侧表面设有防止压缩空气泄漏的密封单元，并且防止压缩空气通过所述头部主体的所述凸出-凹入部分与所述压紧单元的所述上端之间的接触部分泄漏。5.如权利要求4所述的压头，其特征在于，所述密封单元包括橡胶衬垫。6.如权利要求3至5所述的压头，其特征在于，所述气动校正单元包括：气动气囊，所述气动气囊抵靠并且安装在各所述压紧单元的下表面上，并且构造为校正各所述压紧单元之间的压力偏差；和弹性片，所述弹性片抵靠所述气动气囊的下侧表面并且由弹性材料形成。7.如权利要求6所述的压头，其特征在于，所述压头还包括布置在所述弹性片下面并且构造为覆盖所述弹性片的附加片。8.如权利要求6所述的压头，其特征在于，在所述气流凹槽下面形成气流孔，并且压缩空气通过所述气流孔供应到所述气动气囊。9.一种锭块切片设备的压头，包括：头部主体，其中形成构造为供应压缩空气的多个气动供应端口，以便分开控制所述压头的各部分上的压力；压紧单元，所述压紧单元安装在所述头部主体的下端上，定位为对应所述气动供应端口，从所述压头的中心沿径向布置为同心的形状，连接到所述气动供应端口，并且各自构造为施加压力到锭块的侧表面；气动校正单元，所述气动校正单元各自安装在各所述压紧单元的下表面上，并且构造为控制多个所述压紧单元之间的压力偏差；粘合板，所述粘合板安装为与所述气动校正单元的下侧表面接触，以使得所述粘合板的下表面直接接触并且压紧所述锭块的侧表面；和联接支承单元，所述联接支承单元构造为联接并...

【专利技术属性】
技术研发人员：全洙仁，
申请(专利权)人：LG矽得荣株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR