本实用新型专利技术公开了一种PECVD机台微波铜天线拆卸工具,包括固定架,所述固定架包括架主体,所述架主体上套设有滑块,所述滑块能够沿着所述架主体的中心轴线方向滑动;所述架主体的两端分别连接有连接部和冲击部,所述连接部的外周设置有能够与微波铜天线的端部的内螺纹相配合的外螺纹,所述冲击部的连接所述架主体的端面尺寸大于所述滑块的朝向所述冲击部的端面尺寸。在进行拆卸微波铜天线时,将连接部旋入微波铜天线中实现固定架与微波铜天线连接,然后通过拨动滑块冲击冲击部,利用冲击力将微波铜天线拔出,其拆卸方便。
【技术实现步骤摘要】
一种PECVD机台微波铜天线拆卸工具
本技术属于太阳能领域,尤其涉及一种PECVD机台微波铜天线拆卸工具,用于太阳能电池生产过程中的PE设备。
技术介绍
在太阳能电池的制备过程中,一般需要对硅片发射结面进行镀减反射膜的步骤。目前,氮化硅薄膜作为晶体硅太阳能电池的光学减反射膜,同时也起到表面钝化和体内钝化的作用,以提高太阳能电池的转换效率。现有技术中,制备氮化硅薄膜一般采用的是等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法,如可以采用德国ROTH&RAU公司的PECVD设备。在采用PECVD设备制备氮化硅薄膜的过程中,在PECVD镀膜设备的反应腔内具有一石英管,石英管的管内穿设有传导微波的铜管,石英管的两端设有发送和接收微波的天线,其中,天线的头部插入石英管内部的所述铜管内,该铜管即为微波波导。由微波电源输出高压电流给磁控头产生等离子体,离子又通过微波铜天线传到微波波导传导至工艺腔内发生反应,以达到工艺要求。而微波在传导时会有大量热量产生,并伴随有静电出现,使用一段时间后,微波铜天线与微波波导会紧密的咬合在一起,使得微波铜天线被死死的卡住,无法顺利的取出。目前在设备维护或维修更换铜天线时,需2-3名熟练的技术人员将整个微波发生装置从机台上拆下,然后才能取出。在取出过程中,因微波铜天线与接触端面间隙过小,无法使用拉马等工具,拆卸比较困难。
技术实现思路
本技术的目的在于提出一种拆卸方便的PECVD机台微波铜天线拆卸工具。为达此目的,本技术采用以下技术方案:一种PECVD机台微波铜天线拆卸工具,包括固定架,所述固定架包括架主体,所述架主体上套设有滑块,所述滑块能够沿着所述架主体的中心轴线方向滑动;所述架主体的两端分别连接有连接部和冲击部,所述连接部的外周设置有能够与微波铜天线的端部的内螺纹相配合的外螺纹,所述冲击部的连接所述架主体的端面尺寸大于所述滑块的朝向所述冲击部的端面尺寸。作为一种优选,所述架主体为圆柱形,所述滑块为圆柱形,所述滑块的内部开设有通孔,所述通孔的内径大于所述架主体的外径,所述架主体穿过所述通孔设置。作为一种优选,所述冲击部为圆柱形,所述冲击部的外径与所述架主体的外径之差大于所述滑块的外径与所述通孔的内径之差。作为一种优选,所述通孔的至少两个横截面上均绕所述通孔的中心轴线设置有若干个凹槽,每个所述凹槽中可转动设置有一个滚珠,所述滚珠与所述架主体滚动配合。作为一种优选,所述架主体上设置有限位环,所述滑块滑动设置于所述冲击部与所述限位环之间。作为一种优选,所述滑块的端部与所述限位环之间设置有若干个压缩弹簧,若干个所述压缩弹簧绕所述架主体的中心轴线均匀设置,所述压缩弹簧在初始时,所述滑块抵靠在所述冲击部处。作为一种优选,该PECVD机台微波铜天线拆卸工具还包括位于所述固定架下方的基座,所述冲击部与所述基座的一端之间、所述限位环与所述基座的另一端之间均连接有可伸缩支撑杆。作为一种优选,所述滑块包括连接为一体的第一滑块和第二滑块,所述第一滑块朝向所述连接部设置,所述第二滑块朝向所述冲击部设置,其中,所述第二滑块的质量大于所述第一滑块的质量。作为一种优选,所述第一滑块和/或所述第二滑块的外周绕自身的中心轴线均匀设置有多个把手,所述把手为U型结构,所述把手的表面设置有防滑耐磨层。作为一种优选,所述固定架与所述滑块均为金属材质。本技术的有益效果为:本技术的PECVD机台微波铜天线拆卸工具,在进行拆卸微波铜天线时,将连接部旋入微波铜天线中实现固定架与微波铜天线连接,然后通过拨动滑块使滑块沿着架主体滑动,从而滑块冲击冲击部,利用其冲击力将微波铜天线拔出,其拆卸方便,无需拆卸整个微波发生装置即可完成,同时,整个操作过程只需一个人操作即可,大大节省人力。附图说明图1是本技术的PECVD机台微波铜天线拆卸工具的结构示意图。图中:1-固定架;11-架主体;12-连接部;13-冲击部;2-滑块。具体实施方式下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。如图1所示,一种PECVD机台微波铜天线拆卸工具,包括固定架1,所述固定架1包括架主体11,所述架主体11上套设有滑块2,所述滑块2能够沿着所述架主体11的中心轴线方向滑动;所述架主体11的两端分别连接有连接部12和冲击部13,所述连接部12的外周设置有能够与微波铜天线的端部的内螺纹相配合的外螺纹,拆卸微波铜天线时,将连接部插入微波铜天线的内部,使得内、外螺纹配合,将该固定架与微波铜天线连接起来;然后通过拨动滑块使滑块沿着架主体滑动,从而滑块冲击冲击部,利用其冲击力将微波铜天线拔出,其拆卸方便,无需拆卸整个微波发生装置、也无需直接作用于微波铜天线即可完成;同时,整个操作过程只需一个人操作即可,大大节省人力。在本实施例中,所述固定架1与所述滑块2均为金属材质。为了保证滑块2与冲击部13具有足够的冲击受力面,所述冲击部13的连接所述架主体11的端面尺寸大于所述滑块2的朝向所述冲击部13的端面尺寸。进一步地,在本实施例中,所述架主体11为圆柱形,所述滑块2为圆柱形,所述滑块2的内部开设有通孔,所述通孔的内径大于所述架主体11的外径,所述架主体11穿过所述通孔设置。所述冲击部13为圆柱形,所述冲击部13的外径与所述架主体11的外径之差大于所述滑块2的外径与所述通孔的内径之差。当滑块2沿着架主体11滑动时,为保证其滑动顺畅,不受两者之间摩擦阻力的影响,所述通孔的至少两个横截面上均绕所述通孔的中心轴线设置有若干个凹槽,每个所述凹槽中可转动设置有一个滚珠,所述滚珠与所述架主体11滚动配合。利用滚动配合,进一步减少摩擦阻力,提高滑动速度,进而提高冲击力,有助于快速拆卸。优选的,所述架主体11上设置有限位环,所述滑块2滑动设置于所述冲击部13与所述限位环之间。从而能够避免滑块滑动时掉出架主体11,保证结构的稳定性。进一步优选的,所述滑块2的端部与所述限位环之间设置有若干个压缩弹簧,若干个所述压缩弹簧绕所述架主体11的中心轴线均匀设置,所述压缩弹簧在初始时,所述滑块2抵靠在所述冲击部13处。当推动滑块朝向连接部运动时,压缩弹簧被压缩而积蓄压缩力,当放开滑块2时,滑块2则会因压缩弹簧的圧缩力而自动朝向冲击部滑动,在达到冲击部时冲击冲击部,从而带动整个固定架以及与其连接的微波铜天线向外受力,最终缓慢移出微波装置,达到拆卸微波铜天线的目的。其中,所述滑块2包括连接为一体的第一滑块和第二滑块,所述第一滑块朝向所述连接部12设置,所述第二滑块朝向所述冲击部13设置,所述第二滑块的质量大于所述第一滑块的质量。优选的,所述第一滑块和/或所述第二滑块的外周绕自身的中心轴线均匀设置有多个把手,所述把手为U型结构,所述把手的表面设置有防滑耐磨层。在拨动滑块时,可以通过把手进行操作,便于用力,且第二滑块因质量较大,在回位的过程中惯性力也会较大,因而冲击冲击部的冲击力也较大,从而有助于加快拆卸。该PECVD机台微波铜天线拆卸工具还包括位于所述固定架下方的基座,所述冲击部13与所述基座的一端之间、所述限位环与所述基座的另一端之间均连接有可伸缩支撑杆。拆卸时,基座放置在合适的位置,用于支撑固定架及滑块等相关结构,并且可以根据放置空间来调整可伸缩支撑杆的高度,进本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种PECVD机台微波铜天线拆卸工具,其特征在于,包括固定架(1),所述固定架(1)包括架主体(11),所述架主体(11)上套设有滑块(2),所述滑块(2)能够沿着所述架主体(11)的中心轴线方向滑动;所述架主体(11)的两端分别连接有连接部(12)和冲击部(13),所述连接部(12)的外周设置有能够与微波铜天线的端部的内螺纹相配合的外螺纹,所述冲击部(13)的连接所述架主体(11)的端面尺寸大于所述滑块(2)的朝向所述冲击部(13)的端面尺寸。
【技术特征摘要】
1.一种PECVD机台微波铜天线拆卸工具,其特征在于,包括固定架(1),所述固定架(1)包括架主体(11),所述架主体(11)上套设有滑块(2),所述滑块(2)能够沿着所述架主体(11)的中心轴线方向滑动;所述架主体(11)的两端分别连接有连接部(12)和冲击部(13),所述连接部(12)的外周设置有能够与微波铜天线的端部的内螺纹相配合的外螺纹,所述冲击部(13)的连接所述架主体(11)的端面尺寸大于所述滑块(2)的朝向所述冲击部(13)的端面尺寸。2.根据权利要求1所述的PECVD机台微波铜天线拆卸工具,其特征在于,所述架主体(11)为圆柱形,所述滑块(2)为圆柱形,所述滑块(2)的内部开设有通孔,所述通孔的内径大于所述架主体(11)的外径,所述架主体(11)穿过所述通孔设置。3.根据权利要求2所述的PECVD机台微波铜天线拆卸工具,其特征在于,所述冲击部(13)为圆柱形,所述冲击部(13)的外径与所述架主体(11)的外径之差大于所述滑块(2)的外径与所述通孔的内径之差。4.根据权利要求2所述的PECVD机台微波铜天线拆卸工具,其特征在于,所述通孔的至少两个横截面上均绕所述通孔的中心轴线设置有若干个凹槽,每个所述凹槽中可转动设置有一个滚珠,所述滚珠与所述架主体(11)滚动配合。5.根据权利要求1-4任一项所述的PECVD机台微波...
【专利技术属性】
技术研发人员:周介青,谢贤清,乔勇,
申请(专利权)人:苏州阿特斯阳光电力科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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