薄膜型电感器以及用于制造薄膜型电感器的方法技术

本发明专利技术提供一种薄膜型电感器以及用于制造薄膜型电感器的方法，所述薄膜型电感器包括：主体，包括支撑构件、设置在支撑构件的至少一个表面上的线圈和埋设其上设置有线圈的支撑构件的填料；以及外电极，设置在主体的外表面上。绝缘层没有设置在支撑构件的边缘部分上，且边缘部分与填料直接接触。绝缘层仅设置在线圈的表面上以与线圈的表面一致。

【技术实现步骤摘要】
薄膜型电感器以及用于制造薄膜型电感器的方法本申请要求于2016年11月15日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0151994号韩国专利申请的优先权的权益，该韩国专利申请的全部公开内容通过引用包含于此。
本公开涉及一种薄膜型电感器以及用于制造薄膜型电感器的方法，更具体地，涉及一种薄膜功率电感器以及用于制造薄膜功率电感器的方法。
技术介绍
近年来，移动装置的功能的多样化已导致移动装置的电力消耗的增加，因此，在电源管理芯片(PMIC)附近采用具有最低损耗且具有优异效率的无源元件，以增加移动装置的电池使用时间。在无源元件中，允许产品尺寸减小且增大电池容量的具有优异效率的紧凑、低轮廓功率电感器趋向于是优选的。可通过基本工艺制造薄膜型电感器：通过镀覆形成线圈导电图案部，随后堆叠、压缩和固化通过使磁性粉末和树脂混合而形成的磁性片。这里，为了防止线圈导电图案部和磁性材料彼此接触，在线圈导电图案部的表面上形成绝缘层。在日本专利特开2005-210010号公报中，在形成线圈导体之后，保护树脂层被施加到线圈导体以使线圈导体绝缘。在该文献中，然而，当增大线圈导体的高宽比时，线圈导体的下区域可能不会绝缘，经常产生空隙。
技术实现思路
本公开的一方面可提供一种薄膜型电感器，其中绝缘层的厚度遍及线圈表面的整个区域是均匀的，使得没有形成空隙。根据本公开的一方面，一种薄膜型电感器可包括主体和设置在主体的外表面上的外电极。主体可包括：支撑构件；线圈，包括由支撑构件支撑的多个导电图案；和填料，埋设线圈和支撑构件。支撑构件可包括至少两个边缘部分，作为不支撑线圈的部分。边缘部分可与填料直接接触，而在边缘部分和填料之间不具有绝缘层，绝缘层可设置在线圈的表面上以与线圈的表面的形状一致。此外，填料可与设置在导电图案的表面上的绝缘层一起充填彼此相邻的导电图案之间的空间。根据本公开的另一方面，一种用于制造薄膜型电感器的方法可包括如下步骤：在支撑构件的至少一个表面上形成多个导电图案，以形成线圈；在线圈的表面上设置绝缘层，以与线圈的表面的形状一致；在支撑构件的上表面和下表面上设置具有磁特性的填料，以形成埋设支撑构件和线圈两者的主体；以及在主体的外表面上形成连接到线圈的外电极。绝缘层可没有设置在支撑构件的边缘部分的表面上，并且支撑构件的边缘部分的表面可与填料直接接触。附图说明通过下面结合附图进行的详细描述，本公开的以上和其它方面、特征及优点将被更清楚地理解，在附图中：图1是根据本公开的示例性实施例的薄膜型电感器的示意性透视图；图2是沿着图1的I-I'线截取的示意性剖视图；图3是图2的“A”部分的放大图；图4是根据另一示例性实施例的薄膜型电感器的示意性剖视图；图5是图4的“A”部分的放大图；以及图6A至图6D是示意性示出根据本公开的另一示例性实施例的制造薄膜型电感器的工艺的示图。具体实施方式此刻将参照附图详细地描述本公开的示例性实施例。在下文中，将描述根据本公开的示例性实施例的薄膜型电感器及其制造方法，但是本公开不限于此。薄膜型电感器在现有技术的薄膜型电感器中，为了将绝缘层设置成防止线圈和磁性材料之间的接触，广泛地使用化学气相沉积(CVD)法。这里，现有技术的薄膜型电感器的绝缘层延伸到不需要绝缘的区域，诸如基板的不包括线圈表面的表面。另外，需要过多的绝缘时间(大约20小时或更长)以形成绝缘层。根据本公开的示例性实施方式，薄膜型电感器不包括在不需要绝缘的区域中形成的绝缘层。因此，更多的空间可被充填有磁性材料，而非绝缘层，这提高了薄膜型电感器的磁导率。将在下文中对此进行详细地描述。图1是根据本公开的示例性实施例的薄膜型电感器的示意性透视图。参照图1，根据示例性实施例的薄膜型电感器100包括主体1和设置在主体1的外表面上的第一外电极21和第二外电极22。主体1包括支撑构件11、线圈12和填料13，线圈12包括设置在支撑构件11的上表面上的上线圈12a和设置在支撑构件11的下表面上的下线圈12b，填料13埋设支撑构件11和线圈12。支撑构件11用于允许线圈12容易形成为薄的。支撑构件11可以是由绝缘树脂形成的绝缘基板，这里作为绝缘树脂，可使用诸如环氧树脂的热固性树脂、诸如聚酰亚胺的热塑性树脂、或者通过使诸如玻璃纤维或无机填料的增强材料浸在热固性树脂或热塑性树脂中而得到的树脂(例如半固化片、ABF(AjinomotoBuild-upFilm)、FR-4、双马来酰亚胺-三嗪(BT)树脂、感光介电(PID)树脂等)。支撑构件11中包括玻璃纤维确保了更好的刚性。通孔可设置在支撑构件11的中央部分中且被充填有填料以形成中央芯部。支撑构件11可以具有带有预定厚度的薄板形状且可包括至少两个边缘部分。线圈没有设置在边缘部分上。线圈12包括具有优异导电性的金属。例如，线圈可由银(Ag)、钯(Pd)、铝(Al)、镍(Ni)、钛(Ti)、金(Au)、铜(Cu)、铂(Pt)或它们的合金形成。线圈12可整体具有螺旋形状。多个导电图案121、122、123……被连续地设置以形成单个线圈。不限制线圈12的高度，但是为了通过降低电感器100的直流(DC)电阻(Rdc)来改善电特性，优选地增大高宽比(AR)。例如，导电图案的平均高度可在100μm至300μm的范围内。绝缘层14设置在线圈12的表面上。绝缘层14设置成与线圈12的外表面的形状一致，以防止线圈12和填料13之间的接触。为此，绝缘层14包括具有绝缘特性的材料。特别地，如在下文中参照图3所述的，绝缘层14包括在具有绝缘特性的材料中的允许用于电沉积涂覆的材料。埋设支撑构件11和线圈12两者的填料13形成薄膜型电感器100的外形且包括呈现磁特性的材料。作为呈现磁特性的材料，例如可使用铁氧体或金属基软磁性材料。铁氧体可包括Mn-Zn基铁氧体、Ni-Zn基铁氧体、Ni-Zn-Cu基铁氧体、Mn-Mg基铁氧体、Ba基铁氧体、Li基铁氧体等。金属基软磁性材料可以是包括从由铁(Fe)、硅(Si)、铬(Cr)、铝(Al)和镍(Ni)组成的组中选择的一种或更多种的合金且包括例如Fe-Si-B-Cr基非晶金属颗粒。可包括金属基软磁性材料使得金属基软磁性材料分散在诸如聚酰亚胺的聚合物或环氧树脂中。填料13包括与支撑构件11的材料相同的材料，以显著增强填料13与支撑构件11的边缘部分直接接触的结合力。参照现有技术的电感器，由于绝缘层甚至延伸形成在不需要绝缘特性的部分(诸如支撑构件的边缘部分等)中，因此即使当设置了相对于具有磁特性的填料具有结合力的绝缘层时，填料和绝缘层结合也形成了结构不稳定的结构。然而，在根据示例性实施例的薄膜型电感器100中，由于支撑构件11的边缘部分与填料直接接触，因此当填料13和支撑构件11由具有相似物理特性的材料形成时，可显著地增强结合力。如图1所示，第一外电极21和第二外电极22可具有C形状。然而，第一外电极21和第二外电极22的形状不限于此，第一外电极21和第二外电极22可具有任意其他形状(例如，L形状或者I形状)。由于第一外电极21和第二外电极22连接到线圈12的引线部分以呈现电特性，因此第一外电极21和第二外电极22可包括具有优异导电性的金属。例如，第一外电极21和第二外电极22可由银(Ag)、钯(Pd)、铝(Al)、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜型电感器，包括：主体，所述主体包括：支撑构件；线圈，包括设置在所述支撑构件的至少一个表面上的多个导电图案和形成在所述多个导电图案的表面上以与所述多个导电图案的所述表面的形状一致的绝缘层；和填料，具有磁特性且埋设所述线圈和所述支撑构件；以及外电极，所述外电极电连接到所述线圈且设置在所述主体的外表面上，其中，所述支撑构件包括至少两个边缘部分，所述边缘部分与所述填料直接接触，且所述填料充填彼此相邻的导电图案之间的空间。

【技术特征摘要】
2016.11.15 KR 10-2016-01519941.一种薄膜型电感器，包括：主体，所述主体包括：支撑构件；线圈，包括设置在所述支撑构件的至少一个表面上的多个导电图案和形成在所述多个导电图案的表面上以与所述多个导电图案的所述表面的形状一致的绝缘层；和填料，具有磁特性且埋设所述线圈和所述支撑构件；以及外电极，所述外电极电连接到所述线圈且设置在所述主体的外表面上，其中，所述支撑构件包括至少两个边缘部分，所述边缘部分与所述填料直接接触，且所述填料充填彼此相邻的导电图案之间的空间。2.根据权利要求1所述的薄膜型电感器，其中，所述绝缘层包括环氧基树脂、丙烯酸树脂和尿烷基树脂中的一种或更多种。3.根据权利要求2所述的薄膜型电感器，其中，所述绝缘层还包括聚酰亚胺。4.根据权利要求1所述的薄膜型电感器，其中，所述支撑构件的中央部分包括通孔，所述通孔的边缘与所述填料直接接触。5.根据权利要求1所述的薄膜型电感器，其中，设置在所述线圈的所述多个导电图案中的各导电图案的上表面上的绝缘层的厚度等于或小于设置在所述线圈的所述多个导电图案中的各导电图案的侧表面上的绝缘层的厚度。6.根据权利要求1所述的薄膜型电感器，其中，所述多个导电图案的平均高度在100μm至300μm的范围内。7.根据权利要求1所述的薄膜型电感器，其中，所述多个导电图案包括第一导电图案和第二导电图案，断开部在设置在所述第一导电图案的侧表面上的第一绝缘层和设置在所述第二导电图案的侧表面上且面对所述第一绝缘层的第二绝缘层之间的空间中设置在所述支撑构件的表面上，以使所述第一绝缘层和所述第二绝缘层分开，并且所...

【专利技术属性】
技术研发人员：车一镐，李尚宰，朴浩植，朴惠宪，李光职，车慧娫，金在河，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR