一种收集装置（１８），用于从由真空泵从封闭容器中抽出的气流中除去物质。该收集装置包括壳体（２８），该壳体具有连接到封闭容器并用于从该封闭容器接收气流的入口（１６）和连接到真空泵并用于将气流排出壳体的出口（２０）。多个管筒中的每个管筒通过壳体（２８）上的相应开口（３６）而被可拆卸地插入壳体中，并且在其入口和出口之间为流过壳体的气流提供了相应的流动通道，每个管筒中容纳有去除装置，该去除装置用于从通过管筒的气体中除去物质，并使之形成为固体材料收集在管筒中。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种收集装置，特别涉及一种用于从由真空泵从封闭 容器中抽出的气流中除去物质的收集装置。
技术介绍
在半导体处理过程中，如化学气相沉积处理过程，沉积气体被供 应到工艺腔室中，以在基底的表面上形成沉积层。当沉积气体在工艺 腔室的驻留时间相对短时，供应到该腔室中的气体仅有小部分在该沉 积工艺中被消耗。结果，由真空泵从该腔室抽吸出来的未消耗气体分 子以高的反应状态通过该泵。许多半导体工艺使用或产生固态的、可冷凝的或升华的化合物。例如低压化学气相沉积氮化硅(LPCVD氮化物)工艺是使用氯硅烷(例 如二氯硅烷或三氯硅烷)和氨来产生均匀的氮化硅层从而使得基底绝 缘。这些工艺趋向于产生非常厚的氮化硅膜，并因此需要非常长的沉 积周期，通常需要3到8小时。这些工艺的副产品包括复合的铵-氯-硅 盐，例如六氯珪按(ammonium hexachloros i 1 icate )， 这种物质在 大气压环境中在12(TC下升华。如果未消耗的工艺气体或副产品是可冷凝的，则在低温表面上的 升华导致粉尘或灰尘积聚在真空泵中，这些粉尘或灰尘将很容易填满 泵的转子和定子之间的空运行间隙，从而导致泵的性能下降，最终导 致泵的故障。有鉴于此，通常在泵的出口处设置一冷收集装置，该泵被加热到 这样的温度，在该温度下，这些可冷凝的物质将通过该泵，而不会在 泵中冷凝。这种收集装置通常包括设置在收集装置的流动通道内的水 冷螺管，当气流流过该流动通道时，气流与螺管接触，螺管将气流冷 却，从而引起气流中的低沸点物质在该收集装置中冷凝。与使用这种收集装置相关的 一 个问题在于，仅在相对较短时间 后，颗粒状的冷凝物就会积聚在该流动通道中以及该螺管上。如果允 许固态物可以连续不停地积聚，则该收集装置就会被完全堵塞。结果， 收集装置就必须定期保养，以便从收集装置内部除去这些冷凝物，从 而导致生产停机和生产损失。而且，清理收集装置的人员会暴露在冷 凝物下，而这些冷凝物由于其化学性而对人体相当有害。而且，通过加热泵，气流的温度会纟皮加热到这样的温度，在该温 度下，气流中的未反应物质转化成固态物质。例如，六氟化钨经过热 泵会在泵内形成鴒的沉淀物，这将导致泵机构的损坏。
技术实现思路
至少本专利技术的优选实施例的一个目的是提供一种收集装置，其连 接到真空泵的入口，其能快速并可靠地为泵服务。在第一方面，本专利技术提供一种收集装置，用于从由真空泵从封闭 容器中抽出的气流中除去物质，该收集装置包括壳体和多个管筒，其 中，该壳体具有用于接收气流的入口和用于将气流排出该壳体的出 口，每个管筒通过壳体上的相应开口而净皮可拆卸地插入该壳体中，以 便为流过壳体的气体提供多个流动通道，每个流动通道在相应管筒的 入口和出口之间延伸，每个管筒中容纳有去除装置，该去除装置用于从通过套筒的气体中去除物质并使得该物质形成为固态材料收集在管 筒中。通过提供多个可以方便从收集装置中取下的管筒，方便收集装置 的清洁，可以大大提高收集装置定期保养的速度和方便性。例如，当 其中一个管筒需要清洁时，该管筒可以容易地从收集装置上取下，并 替换一个新的管筒。该被替换的管筒然后被拿到合适的地方进行清 洁。而且，由于颗粒保留在管筒中，在保养过程中用户暴露于冷凝物 下的程度减小了。而且，由于使用多个去除装置，各个去除装置处于 各自的管筒内，这样，该去除装置的表面积增大了。在优选实施例中，每个去除装置包括冷凝装置，该冷凝装置用于 从通过管筒的气体中冷凝出物质，并使得该物质形成冷凝物收集在管 筒中。因此，本专利技术的第二方面是提供一种收集装置，用于从由真空 泵从封闭容器中抽出的气流中除去可冷凝物质，该收集装置包括壳体 和多个管筒，其中，该壳体具有用于接收气流的入口和用于将气流排 出该壳体的出口 ，每个管筒通过壳体上的相应开口而,皮可拆卸地插入 该壳体中，以便为流过壳体的气体提供多个流动通道，每个流动通道 在相应管筒的入口和出口之间延伸，每个管筒中容纳有冷凝装置，用 于从通过套管的气体中冷凝出物质，并使得该物质形成冷凝物收集在管筒中。该冷凝机构优选包括冷却装置，该冷却装置用于将经过管筒的气 体冷却至一温度，在该温度或该温度以下，该气体中的可冷凝物质冷 凝成为冷凝物。例如，每个管筒可包括导管，该导管用于在管筒中传 送冷却剂流，以冷却通过管筒的气体。该冷却剂优选包括液体冷却剂， 优选包括水，如果需要，其可被制冷。通过在泵的入口处提供冷的收 集装置，就不需要加热泵来防止该可冷凝物质冷凝在泵中，因此也不 存在气流中的其它未反应的物质在泵中转化成固态物质的风险。在一个实施例中，该冷凝装置包括与该导管成热接触的多个冷却 翅片，这些冷却翅片布置成使得流过该管筒的气体经过该冷却翅片。 在另一实施例中，该导管为螺旋管，流动通道包括第一部分和第二部 分，其中第一部分在导管周围沿着该导管延伸，第二部分沿该导管的 纵向轴线延伸。每个管筒优选包括至少一个挡板，用于将进入管筒的 气体朝着该流动通道的第一和笫二部分之一进行引导。该挡板优选形 成为环形，围绕导管延伸，从而将管筒分隔为第一腔和第二腔。气体 从管筒入口进入第一腔，沿着导管的外部通过，然后在管筒的端部改 变方向，沿着螺旋管的内部通过进入第二腔，气体从第二腔通过管筒 的出口离开管筒。由于气体与螺旋管的内外表面都接触，因此气体暴 露给螺旋管的冷表面得以最大化。为了方便清洁导管，可以在导管外 侧设置一金属套筒，这样冷凝物形成在套筒的而不是形成在螺旋管的 外表面。第二冷却管可以装配于该壳体的底部，以降低进入收集装置的气 流 的温度。管筒中可以使用不同的从气流中除去物质的去除机构。例如，在 另一优选实施例中，每个管筒包括加热装置，用于将通过管筒的气体 加热至一温度，在该温度或该温度以上，气体中的未反应的物质转化 成固态物质。因此，本专利技术的第三方面提供一种收集装置，用于从由 真空泵从封闭容器中抽出的气流中除去物质，该收集装置包括壳体和多个管筒，其中，该壳体具有用于接收气流的入口和用于将气流排出 壳体的出口，每个管筒通过壳体上的相应开口而,皮可拆卸地插入该壳体中，以便为流过壳体的气体提供多个流动通道，每个流动通道在相 应管筒的入口和出口之间延伸，每个管筒中容纳有加热装置，用于加 热通过管筒的气体。该加热装置方便地包括加热器和多个布置成与加热器成热接触的 翅片，并使得流过管筒的气体经过该翅片。例如，该加热装置包括容 纳加热器的导管，所述翅片被安装在导管上。该导管优选沿管筒的长 度延伸。这些翅片布置成挡板的形式，以便为流过管筒的气体限定了 曲折的流动通道，或以其它任何方式布置。在又一实施例中，每个管筒包括至少一个过滤元件，该过滤元件 用于从通过管筒的气体中除去颗粒。因此，本专利技术的第四方面提供一 种收集装置，用于从由真空泵从封闭容器中抽出的气流中除去颗粒， 该收集装置包括壳体和多个管筒，其中，该壳体具有用于接收气流的 入口和用于将气流排出壳体的出口，每个管筒通过壳体上的相应开口而被可拆卸地插入该壳体中，以便为流过壳体的气体提供多个流动通 道，每个流动通道在相应管筒的入口和出口之间延伸，每个管筒中容 纳有至少 一个过滤元件，该过滤元件用于从通过管筒的气体中除去颗粒。所述至少一个过滤元件优选为流过该收集装置的本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种收集装置，用于从由真空泵从封闭容器中抽出的气流中除去物质，该收集装置包括壳体和多个管筒，其中，该壳体具有用于接收气流的入口和用于将气流排出该壳体的出口，每个管筒通过壳体上的相应开口而被可拆卸地插入该壳体中，以便为流过壳体的气体提供多个流动通道，每个流动通道在相应管筒的入口和出口之间延伸，每个管筒中容纳有去除装置，该去除装置用于从通过套筒的气体中去除物质并使得该物质形成为固态材料收集在管筒中。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：D恩格兰，P迪克松，MC霍普，
申请(专利权)人：爱德华兹有限公司，
类型：发明
国别省市：GB[英国]
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