一种量产真空镀膜系统结构及其工件传输系统技术方案

本发明专利技术总体采用组合式多真空仓结构，其中至少包括２个或２个以上的真空仓，各仓至少具有镀膜或辅助处理中的一种功能，所述的各镀膜仓中至少有一个仓中能使工件沿环形轨道连续运行多圈以便于镀厚膜，各辅助处理仓可以实现镀膜之外的各种辅助处理；相邻真空仓之间通过自动真空闸门连接，能实现仓间流程控制和实时分配各单元的工作时间和舱位；采用一种柔性输送带在真空条件下沿导轨运行，能自动交换或输送工件，以保证实施节拍式连续化或自动连续化的大批量的镀膜生产线的需要。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种量产真空镀膜机结构及其工件传输系统，其特征在于：一种组合式多仓真空镀膜系统，至少包括两仓或２个以上的真空仓，各真空仓至少具有一种功能，其中至少有一个真空仓中能使工件沿环形轨道运动多圈；相邻真空仓之间通过自动真空闸门连接实现仓间流程控制；采用一种柔性输送带在真空条件下沿导轨运行，自动交换或输送工件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘阳，
申请(专利权)人：北京实力源科技开发有限责任公司，刘阳，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]