一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法技术

一种磁控溅射玫瑰金靶材及其制备方法，其特征在于：玫瑰金靶材的成分按重量百分比为：含金６５～７８ｗｔ％，铜１６～３３ｗｔ％，钇０．０１～４ｗｔ％，锌１～７ｗｔ％，钴０．００１～１．２ｗｔ％，锑０．００１～０．２ｗｔ％，铟０．０２～５ｗｔ％。制备方法为将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟加入到熔化的铜和钴中，在１４００～１４５０℃的条件下精炼３ｍｉｎ，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料；将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，在１２００～１３００℃的条件下精炼５ｍｉｎ；获得玫瑰金靶材采用本发明专利技术的磁控溅射玫瑰金靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本发明专利技术的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定，可达到极佳的装饰效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于冶金
，特别涉及。
技术介绍
玫瑰金的色泽是粉红色的，其艳丽的色彩和迷人柔和的色调一直深受人们的青睐。然而 传统的玫瑰金工艺都是以水电镀的工艺来实现的，这种工艺容易实现色彩，但是非常容易氧 化且表面耐磨性很差，且容易造成环境污染。随着现代真空磁控溅射技术的发展，如何能够 在真空炉内溅射出玫瑰金色度，并达到抗氧化、抗硫化、硬度高、耐磨性好的目的。是人们 长期期望实现的愿望。
技术实现思路
针对现有技术问题，本专利技术提供一种磁控溅射玫瑰金耙材及其制备方法。 本专利技术的磁控溅射玫瑰金靶材的成分为含金(Au) 65~78wt%，铜(Cu) 16~33wt%，铭(Y) 0.01~4wt%，锌(Zn) l~7wt%，钴(Co) 0.001 ~ 1.2wt%，锑(Sb) 0.001 ~ 0.2wto/o，铟(In) 0.02~5wt%。本专利技术的磁控溅射玫瑰金靶材的的制备方法为1、 中间合金材料的制备将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化 后搅拌均勾，然后在1400 1450'C的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中， 自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜46.7 ~94.5 wt%，钇0.03~12.5 wt%，锌2.764~ 22wt%，钴0.003- 4.5wt%， 锑0.003 0.91wt。/。，铟2.7 20wt。/。。2、 玫瑰金靶材的制备将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占65~78wt%，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200-1300'C的条件下精炼5min;精炼 完成后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪 切操作，获得玫瑰金靶材。其中圆柱形靶材需拉伸后镶嵌入铜靶基。本专利技术磁控溅射玫瑰金靶材主要应用于真空磁控溅射镀膜手表、手机、首饰及装饰产品 领域。采用本专利技术的玫瑰金靶材应用于磁控溅射镀膜技术中，可以获得色泽鲜艳的玫瑰金镀 膜，镀膜色泽均匀、表面硬度高、耐磨性好、抗氧化性能好，采用本专利技术的磁控溅射玫瑰金 靶材可以消除水电镀工艺带来的环境污染和产品易氧化。本专利技术的磁控溅射玫瑰金靶材产品性能稳定，可达到极佳的装饰效果。 具体实施例方式本专利技术采用的金、铜、钇、锌、钴、锑和铟纯度均大于99.9%。 实施例1将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化 后搅拌均匀，然后在1400 1450'C的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中， 自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜94.5wt%，钇0.03wt%，锌2.764wt。/0,钴0.003wt%，锑0.003wt%，铟 2.7wt%。将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占65wtW，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200 130(TC的条件下精炼5min;精炼完成 后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操 作，获得玫瑰金靶材，其成分为含金65wt。/。，铜33wt。/。，钇0.01wt。/。，锌lwt%，钴0.001 wt%， 锑0.001wt%，铟0.988wt%。玫瑰金色度指标通过了辽宁省计量科学研究院检测，测量条件为D65光源、10°视角 场、0/t。测量结果为反射率(％): Y= 61.79;色度坐标直x = 0.3608， y=0.3527。 实施例2将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化 后搅拌均匀，然后在1400 145(TC的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中， 自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜72.8wtn/n，钇4.5wt11/。，锌9.1wt。/c，钴4.5wt0/。，锑0.91wt。/。，铟8.19wt%。将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占78wtV。，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200 130(TC的条件下精炼5min;精炼完成 后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操 作，获得玫瑰金靶材，其成分为含金78wto/。，铜16wt。/。，钇lwt。/n，锌2wt。/。，钴lwt。/。，锑 0.2wt%，铟1.8wt%。 实施例3将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化 后搅拌均匀，然后在1400 1450'C的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中， 自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其中各金属加入量为铜46.7wtn/。，钇12.5wt。/。，锌22wt。/。，钴3.8wt%，锑0.3wt%，铟14.7wt%。 将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占68wty。，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200 130(TC的条件下精炼5min;精炼完成 后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操 作，获得玫瑰金靶材，其成分为含金68wt%,铜15wt%,钇4wt%,锌7wt%,钴1.2wt%， 锑0.1wt0/0，铟4.7wt0/。。 、 实施例4将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化 后搅拌均匀，然后在1400 145(TC的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中， 自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜69wt°/。，钇10.3wt%，锌17.25wt%，钴2.69wt%,锑0.69wt%，铟0.07wt%。将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占71wt。/。，待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1200 13O0'C的条件下精炼5min;精炼完成 后将熔化的合金浇入铸模中，水冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操 作，获得玫瑰金靶材，其成分为含金71wt。/。，铜20wt。/。，钇3wtn/。，锌5wt。/。，钴O. 78wt%， 锑0.2wt0/0，铟0.02wt0/0。 实施例5将铜和钴加热熔化，再将钇、锌、锑和铟依次加入到熔化的铜和钴中，待全部物料熔化 后搅拌均匀，然后在1400 1450'C的条件下精炼3min，精炼完成后将熔化的合金浇入铸模中， 自然冷却至室温，取出合金锭，经过常规的铣面、轧制和剪切操作，获得中间合金材料。其 中各金属加入量为铜56wt%，钇8wt"/。，锌12wtn/。，钴3.8wty。，锑0.2wt%,铟20wt%。将金加热熔化，再将制备的中间合金材料加入到熔化的金中，加入量按金在全部物料中 占75wtW,待全部物料熔化后搅拌均匀，然后在1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控溅射玫瑰金靶材，其特征在于：磁控溅射玫瑰金靶材的按成分重量百分比为：含金６５～７８ｗｔ％，铜１６～３３ｗｔ％，钇０．０１～４ｗｔ％，锌１～７ｗｔ％，钴０．００１～１．２ｗｔ％，锑０．００１～０．２ｗｔ％，铟０．０２～５ｗｔ％。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘革，
申请(专利权)人：东北大学黄金学院贵金属材料厂，
类型：发明
国别省市：89[中国|沈阳]