液晶面板吸附装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种液晶面板吸附装置，包括支撑台、设置所述支撑台上的多个吸附单元以及电磁阀，所述支撑台包括中心区域和环绕所述中心区域设置的边缘区域，所述电磁阀用于依次控制位于所述中心区域内的所述吸附单元和位于所述边缘区域内的所述吸附单元吸附液晶面板。本发明专利技术公开的一种液晶面板吸附装置，通过在支撑台上设置多个吸附单元，将支撑台划分为中心区域和边缘区域，中心区域和边缘区域内的吸附单元依次对液晶面板进行吸附，使得液晶面板下方的气体尽可能排出，提高了吸附平整性，降低了破片可能性。

Liquid crystal panel adsorption device

The invention discloses a liquid crystal panel adsorption device, including a support table, a plurality of adsorption units and a solenoid valve on the supporting platform. The support table includes a center area and an edge area encircling the central area, and the solenoid valve is used to control the adsorption unit in the central area in turn. The liquid crystal panel is adsorbed on the adsorption unit located in the edge region. The invention discloses a liquid crystal panel adsorption device. By setting up a plurality of adsorption units on the support table, the support table is divided into the central area and the edge region. The adsorption unit in the central region and the edge region is adsorbed on the liquid crystal panel in turn, so that the gas below the liquid crystal panel is discharged as much as possible and improves the adsorption. Flatness reduces the possibility of fragmentation.

【技术实现步骤摘要】
液晶面板吸附装置
本专利技术涉及液晶面板的加工设备领域，更具体地说，涉及一种液晶面板吸附装置。
技术介绍
随着液晶面板行业持续发展，市场对大尺寸液晶屏的需求持续增加，液晶面板生产线越做越大，国内已从G8.5代上升至G11代，原材料基板越来越薄，玻璃基板尺寸越来越大；在生产过程中，破片发生率也越来越高。其中，目前薄膜晶体管液晶显示器(TFF-LCD)显影工艺流程主要为：第一步、对基板进行清洗，洗掉颗粒物及有机物；第二步、在玻璃基板上均匀的涂覆光阻；第三步、对涂布在玻璃基板上的光阻进行曝光；第四步、对基板进行显影，将已曝光的光阻进行溶解，最终得到相应图案。随着TFT-LCD玻璃尺寸的扩大，涂布机也经历了从旋转涂布(SpinType)到狭缝式涂布(SlitNozzle)的转变，一般G6代以上产线都使用狭缝式涂布工艺进行涂布。采用狭缝式涂布工艺进行涂布之前，基板被均匀平整的吸附在涂布平台上，现有技术中将涂布平台划分为四个并列的吸附区域，每个吸附区域由不同的真空管路控制，在进行吸附动作时单区域同时吸附。正常生产过程中，由于基板较大且薄，基板的中心位置会先下垂，即基板呈碗状形状下降，基板中心区域先接触到平台，在进行吸附动作时，因单区域同时吸附，单区域内基板中部与基板外围同平台接触存在时间差，会导致基板边缘部下方气体未完全排出，形成鼓包，影响吸附平整性，进而影响涂膜均一性，同时被狭缝式涂布机压碎而破片风险增高，严重时碎片会损伤狭缝式涂布喷嘴，造成严重的经济损失。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种可提高液晶面板吸附平整性的液晶面板吸附装置。为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种液晶面板吸附装置，包括支撑台、设置所述支撑台上的多个吸附单元以及电磁阀，所述支撑台包括中心区域和环绕所述中心区域设置的边缘区域，所述电磁阀用于依次控制位于所述中心区域内的所述吸附单元和位于所述边缘区域内的所述吸附单元吸附液晶面板。优选地，所述边缘区域的面积大于所述中心区域的面积。优选地，所述中心区域为以所述支撑台中点为对称点的中心对称区域。优选地，所述中心区域为圆形区域，所述边缘区域为以所述支撑台中点为几何中心的圆环区域。优选地，位于所述中心区域内的多个所述吸附单元等弧长间隔分布在以所述支撑台中点为圆心的圆周上。优选地，位于所述边缘区域内的多个所述吸附单元等弧长间隔分布在以所述支撑台中心为圆心的圆周上。优选地，所述中心区域为正方形区域。优选地，位于所述中心区域内的所述吸附单元的数量为四个，四个所述吸附单元位于以所述支撑台中点为中心的正方形的四个角上。优选地，所述吸附单元包括设置于所述支撑台上的吸附孔、设置于所述支撑台内且所述吸附孔连通的真空管道以及和与所述真空管道连通的真空泵。优选地，位于所述中心区域内的多个所述吸附单元的多个所述真空管道连通，位于所述边缘区域内的多个所述吸附单元的多个所述真空管道连通。本专利技术公开的一种液晶面板吸附装置，通过在支撑台上设置多个吸附单元，将支撑台划分为中心区域和边缘区域，中心区域和边缘区域内的吸附单元依次对液晶面板进行吸附，使得液晶面板下方的气体尽可能排出，提高了吸附平整性，降低了破片可能性。附图说明图1为本专利技术实施例一的液晶面板吸附装置示意图。图2为本专利技术实施例二的液晶面板吸附装置示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。实施例一结合图1所示，本实施例的液晶面板吸附装置主要包括支撑台10、设置支撑台10上的多个吸附单元20以及电磁阀，支撑台10用于承载液晶面板，支撑台10包括中心区域11和环绕中心区域11设置的边缘区域12，其中中心区域11内和边缘区域12均设有多个吸附单元20。所述电磁阀用于依次控制位于所述中心区域11内的吸附单元20和位于边缘区域12内的吸附单元20吸附液晶面板。这样，对液晶面板的中间部分的吸附和对液晶面板四周部分的吸附具有一定的时间差，有利于将液晶面板下方的气体全部排出，保证液晶面板吸附的平整性。作为优选实施例，边缘区域12的面积大于中心区域11的面积。由于自身重力的作用，液晶面板的中间部分下垂，且中间部分的弯曲程度较大，相对而言液晶面板的四周部分向上翘，且四周部分的弯曲程度较小。将支撑台10的中心区域缩小，当对液晶面板的中间部分先进行吸收时，可使得液晶面板的中间部分下方的气体尽可能排出。若中心区域的面积过大，即使液晶面板的四周部分的吸附与液晶面板的中间部分的吸附存在时间差，液晶面板与支撑台10之间的气体也可能未完全排除。进一步地，中心区域11为以支撑台10中点为对称点的中心对称区域，边缘区域12为以支撑台10中点为对称点的中心对称区域，这样使得中心区域10内的气体从四周均匀地向边缘区域11扩散，使得边缘区域11内的气体从四周均匀地向支撑台10扩散，使得液晶面板下方的其他尽可能排尽，有利于液晶面板吸附的平整性。作为优选实施例，中心区域11为圆形区域，边缘区域12为以支撑台10中点为几何中心的圆环区域。其中，位于中心区域11内的多个吸附单元20等弧长间隔分布在以支撑台10中点为圆心的圆周上。位于边缘区域12内的多个吸附单元20等弧长间隔分布在以支撑台10中心为圆心的圆周上。这样保证了对液晶面板中间部分和液晶面板四周部分的均匀吸附，使得液晶面板的各个区域更加平整。同时也有利于液晶面板下方气体的排出，避免液晶面板与支撑台10之间产生鼓包，保证吸附平整性，进而影响涂膜均匀性。作为实施例，吸附单元20包括设置于支撑台10上的吸附孔、设置于支撑台10内且吸附孔连通的真空管道以及和与真空管道连通的真空泵，电磁阀控制真空泵的工作状态，进而控制吸附孔对液晶面板的吸附。通过设置电磁阀的控制命令，实现对位于中心区域11内的吸附单元20和位于边缘区域12内的吸附单元20的依次控制，使得液晶面板下方的气体尽可能排尽，提高液晶面板的吸附平整性。进一步地，位于中心区域11内的多个吸附单元20的多个真空管道22连通，位于边缘区域12内的多个吸附单元20的多个真空管道连通。即位于用中心区域11内的多个吸附单元20共用同一个真空泵，位于边缘区域12内的多个吸附单元20共用另一个真空泵，一方面方便对中心区域11和边缘区域12吸附的控制，另一方面有利于节省设备成本。实施例二如2所示，本实施例二与实施例一的不同之处是：中心区域11为正方形区域，位于中心区域11内的吸附单元20的数量为四个，四个吸附单元20位于以支撑台10中点为中心的正方形的四个角上，这样四个吸附单元20均匀分布，保证了对液晶面板中间部分吸附的均匀性。进一步地，边缘区域11内的多个吸附单元20分布在以支撑台10中点为中心的正方形的边框上，保证了对液晶面板四周部分吸附的均匀性。需要说明的是，本实施例中的中心区域11和边缘区域11共同构成与液晶面板重叠的承载区域。本专利技术公开的一种液晶面板吸附装置，通过在支撑台上设置多个吸附单元，将支撑台划分为中心区域和边缘区域，中心区域和边缘区域内的吸附单元依次对液晶面板进行吸附，使得液晶面板下方的气体尽可能排出，提高了吸附平整性，降低了破本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液晶面板吸附装置，其特征在于，包括支撑台(10)、设置所述支撑台(10)上的多个吸附单元(20)以及电磁阀，所述支撑台(10)包括中心区域(11)和环绕所述中心区域(11)设置的边缘区域(12)，所述电磁阀用于依次控制位于所述中心区域(11)内的所述吸附单元(20)和位于所述边缘区域(12)内的所述吸附单元(20)吸附液晶面板。

【技术特征摘要】
1.一种液晶面板吸附装置，其特征在于，包括支撑台(10)、设置所述支撑台(10)上的多个吸附单元(20)以及电磁阀，所述支撑台(10)包括中心区域(11)和环绕所述中心区域(11)设置的边缘区域(12)，所述电磁阀用于依次控制位于所述中心区域(11)内的所述吸附单元(20)和位于所述边缘区域(12)内的所述吸附单元(20)吸附液晶面板。2.根据权利要求1所述的液晶面板吸附装置，其特征在于，所述边缘区域(12)的面积大于所述中心区域(11)的面积。3.根据权利要求2所述的液晶面板吸附装置，其特征在于，所述中心区域(11)为以所述支撑台(10)中点为对称点的中心对称区域。4.根据权利要求3所述的液晶面板吸附装置，其特征在于，所述中心区域(11)为圆形区域，所述边缘区域(12)为以所述支撑台(10)中点为几何中心的圆环区域。5.根据权利要求4所述的液晶面板吸附装置，其特征在于，位于所述中心区域(11)内的多个所述吸附单元(20)等弧长间隔分布在以所述支撑台(10)中点为...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘继承，李彦泽，王江，潘龙，康凯，陈敬华，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44