带透明导电层的基板和液晶面板制造技术

本发明专利技术提供带有电阻随时间产生的变化少的透明导电层的基板、液晶面板、以及带透明导电层的基板的制造方法。作为本发明专利技术的一个方式所涉及的带透明导电层的基板，具有基板和透明导电层。提供一种所述透明导电层设置在所述基板上、且含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡的带透明导电层的基板。由此，在该带透明导电层的基板中，电阻随时间产生的变化变少。

Substrate with transparent conductive layer, liquid crystal panel, and manufacturing method of substrate with transparent conductive layer

The present invention provides a substrate, a liquid crystal panel, and a substrate with transparent conductive layer with less change in resistance over time. As a way of the invention, a substrate with a transparent conductive layer is provided with a substrate and a transparent conductive layer. A transparent conductive layer is provided on the substrate and contains a substrate with a transparent conductive layer of at least one of the niobium oxide, tantalum oxide, and at least one of the tin oxide in the antimony oxide. Thus, in the substrate with transparent conductive layer, the resistance changes less with time.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带透明导电层的基板、液晶面板、以及带透明导电层的基板的制造方法
本专利技术涉及带透明导电层的基板、液晶面板、以及带透明导电层的基板的制造方法。
技术介绍
采用了使液晶面板基板产生水平方向成分的电场来驱动液晶的所谓的横向电场驱动方式(IPS(In-PlaneSwitching：共面转换)方式或FFS(FringeFieldSwitching：边缘场转换)方式)的In-cell型的液晶面板具有如下的结构。例如，该结构具有彩色滤光片基板、对置基板以及设置在这些基板之间的液晶，其中，所述对置基板具有对液晶进行驱动的液晶驱动用电子电路和对手指触摸进行感测的感测传感器用电极。在这种液晶面板中，在彩色滤光片基板未形成电极，彩色滤光片会带电而产生显示动作的误工作。为了防止这种带电，存在以下技术：在未形成彩色滤光片的彩色滤光片基板的面，设置将高电阻的氧化铟锡作为主要材料并含有硅的透明导电层(例如，参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第5855948号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，将氧化铟锡作为主成分并含有硅的透明导电层在其表面会露出氧化铟锡。因此，该透明导电层的耐候性或耐药品性差，其电阻容易随着时间而变化。鉴于上述情况，本专利技术的目的在于，提供一种带有电阻随时间产生的变化少的透明导电层的基板、液晶面板、以及带透明导电层的基板的制造方法。用于解决课题的方案为了达成上述目的，本专利技术的一个方式所涉及的带透明导电层的基板具有基板和透明导电层。所述透明导电层设置在所述基板上，含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡。由此，在该带透明导电层的基板中，电阻随时间产生的变化变少。在上述的带透明导电层的基板中，所述氧化铌、所述氧化钽以及所述氧化锑中的至少任一个的含有率也可以在所述透明导电层中为5wt％以上且15％wt以下。由此，在该带透明导电层的基板中，氧化物难以被还原，维持了透明导电层的高电阻状态。在上述的带透明导电层的基板中，所述透明导电层的方块电阻也可以为1×107(Ω/sq.)以上且1×1010(Ω/sq.)以下。所述透明导电层的透射率也可以在波长550nm时为98.5％以上。通过将这种带有高光透射率的透明导电层的基板用于In-cell型的液晶面板，抑制了彩色滤光片的带电，而且液晶面板的光透射率不会显著减少。在上述的带透明导电层的基板中，所述透明导电层的厚度也可以为5nm以上且15nm以下。由此，在该带透明导电层的基板中，在基板上设置具有适当的电阻和透射率的透明导电层。在上述的带透明导电层的基板中，所述透明导电层也可以含有氮。由此，在该带透明导电层的基板中，透明导电层的电阻通过氮的添加量来调节。在上述的带透明导电层的基板中，所述基板也可以具有透明基板和彩色滤光片。所述透明基板设置也可以在所述透明导电层和所述彩色滤光片之间。由此，通过透明导电层来抑制彩色滤光片的带电。此外，本专利技术的一个方式所涉及的液晶面板具有带透明导电层的基板、对置基板以及液晶。所述带透明导电层的基板具有第一透明基板、透明导电层以及彩色滤光片，所述第一透明基板具有第一面和第二面。透明导电层设置在所述第一面上，含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡。彩色滤光片设置在所述第二面上。所述对置基板具有第二透明基板、和设置在所述第二透明基板上的感测传感器用电极及液晶驱动用电子电路。所述液晶设置在所述带透明导电层的基板和所述对置基板之间，通过所述液晶驱动用电子电路而被驱动控制。由此，在该液晶面板中，通过透明导电层防止彩色滤光片的带电。而且，在该透明导电层中，电阻随时间产生的变化少。其结果为，在液晶面板中触摸感测功能随时间产生的变化少，可靠性进一步提高。在上述的液晶面板中，所述氧化铌、所述氧化钽以及所述氧化锑中的至少任一个的含有率也可以在所述透明导电层中为5wt％以上且15％wt以下。由此，在液晶面板的带透明导电层的基板中，氧化物难以被还原，维持了透明导电层的高电阻状态。在上述的液晶面板中，所述透明导电层的方块电阻也可以为1×107(Ω/sq.)以上且1×1010(Ω/sq.)以下。所述透明导电层的透射率也可以在波长550nm时为98.5％以上。通过将这种带有高光透射率的透明导电层的基板用于In-cell型的液晶面板，抑制了彩色滤光片的带电，而且液晶面板的光透射率不会显著减少。在上述的液晶面板中，所述透明导电层的厚度也可以为5nm以上且15nm以下。由此，在该液晶面板中，在透明基板上设置具有适当的电阻和透射率的透明导电层。在上述的液晶面板中，所述透明导电层也可以含有氮。由此，在该液晶面板中，透明导电层的电阻通过氮的添加量来调节。此外，在本专利技术的一个方式所涉及的带透明导电层的基板的制造方法中，使用含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡的靶材，所述靶材中的所述氧化铌、所述氧化钽以及所述氧化锑中的至少任一个的含有率为5wt％以上且15％wt以下。在氧分压为0.005Pa以上且0.05Pa以下的氩和氧的混合气体环境下，在基板上将含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡的透明导电层成膜。通过在这种混合气体环境下将透明导电层成膜，能够获得所期望的高电阻的透明导电层。进而，抑制透明导电层中的氧化物的还原，能够获得电阻随时间产生的变化少的透明导电层。在上述的带透明导电层的基板的制造方法中，也可以使所述混合气体含有氮，在所述氮的分压为0.025Pa以上且0.1Pa以下的情况下将所述透明导电层成膜。由此，在该带透明导电层的基板中，透明导电层的电阻通过氮的添加量来调节。专利技术效果如上所述，根据本专利技术，提供带有电阻随时间产生的变化少的透明导电层的基板、液晶面板、以及带透明导电层的基板的制造方法。附图说明图1为表示本实施方式所涉及的液晶面板的概要剖视图。图2为表示在使用了含有氧化锡和氧化铌的靶材的情况下的氧流量与透明导电层的方块电阻的关系的概要图表。图3为表示在作为比较例的使用了由ITO构成的靶材的情况下的氧流量与ITO层的方块电阻的关系的概要图表。图4为表示在向氩和氧的混合气体添加了氮的情况下的氮流量与透明导电层的方块电阻的关系的概要图表。图5为表示透明导电层的光透射率的概要图表。图6为表示透明导电层的方块电阻随时间产生的变化的概要图表(其1)。图7为表示透明导电层的方块电阻随时间产生的变化的概要图表(其2)。图8为表示透明导电层的耐腐蚀性的概要图表。具体实施方式以下，一边参照附图一边对本专利技术的实施方式进行说明。在各附图中，有时引入XYZ轴坐标。此外，以下所示的数值、图、图表为示例，并不限定于示例。在本实施方式中，对采用了FFS方式的In-cell型的带触摸面板功能的液晶面板进行了例示，但是并不限定于此。例如，本实施方式所涉及的液晶面板也能够适用于IPS方式的液晶面板，还能够适用于以下结构：在构成液晶面板的一对基板中的一个基板设置液晶驱动用电子电路和感测传感器用电极，在另一个基板未形成电极而形成有彩色滤光片。[液晶面板]图1为表示本实施方式所涉及的液晶面板的概要剖视图。图1所示的液晶面板1兼具显示图像的功能和触摸面板功能。液晶面板1具有带透明导电层的基板10、对置基板20、液晶40、偏振片50、玻璃盖板60、偏振片51。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带透明导电层的基板，具有：基板；以及透明导电层，其设置在所述基板上，含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.08.10 JP 2016-1574671.一种带透明导电层的基板，具有：基板；以及透明导电层，其设置在所述基板上，含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡。2.如权利要求1所述的带透明导电层的基板，其中，所述氧化铌、所述氧化钽以及所述氧化锑中的至少任一个的含有率在所述透明导电层中为5wt％以上且15％wt以下。3.如权利要求1或2所述的带透明导电层的基板，其中，所述透明导电层的方块电阻为1×107(Ω/sq.)以上且1×1010(Ω/sq.)以下，所述透明导电层的透射率在波长550nm时为98.5％以上。4.如权利要求1至3中的任一项所述的带透明导电层的基板，其中，所述透明导电层的厚度为5nm以上且15nm以下。5.如权利要求1至4中的任一项所述的带透明导电层的基板，其中，所述透明导电层含有氮。6.如权利要求1至5中的任一项所述的带透明导电层的基板，其中，所述基板具有透明基板和彩色滤光片，所述透明基板设置在所述透明导电层和所述彩色滤光片之间。7.一种液晶面板，具有：带透明导电层的基板，其具有第一透明基板、含有氧化铌、氧化钽以及氧化锑中的至少任一个和氧化锡的透明导电层、以及彩色滤光片，所述第一透明基板具有第一面和第二面，所述透明导电层设置在所述第一面上，所述彩色滤光片设置在所述第二面上；对置基板，其具有第二透明基...

【专利技术属性】
技术研发人员：须田具和，高桥明久，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本,JP