A slideway covering strip used for SHINKAWA SPA300, including a cover bar, a threaded hole, an integrated forming structure or a multi segment separation structure. When the cover body is a separate structure, a cylindrical roller is set in the combination gap between the adjacent strip and the cylinder side of the roller. The length of the roller is equal to the length of the combination gap between adjacent cover strips. The integrated cover strip and the multi section separated cover strip with rollers in the combined clearance can effectively solve the problem of frame material.
【技术实现步骤摘要】
一种用于SHINKAWASPA300的出料导轨覆盖条
本技术属于半导体封装
,具体为一种用于SHINKAWASPA300的出料导轨覆盖条。
技术介绍
半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后测试组成。半导体封装测试是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。在半导体封装领域装片(DA)工段上流行的设备有多达数十种,按照生产厂家来划分,就有HITACHI,SHINKAWA,ESEC,ASM、ACCURACY等等。SHINKAWASPA300的设备性质和HITACHI设备大致原理相同,设备的结构设计复杂,稳定性及精确度高,在生产大尺寸芯片时与HITACHI设备互为竞争关系,封装厂往往会采购这两种设备一起生产。对于SHINKAWASPA300设备,由于导轨设计不合理易出现框架卡料的情况。在SHINKAWASPA300的出料导轨处,导轨槽底座是一块平滑的整体,但是其导轨覆盖条(chuteroof)却由两块甚至更多的部件组成。各部件之间组合时存在间隙,框架在传送时容易卡入组合间隙中,特别是设备以加热的方式上片完成一条框架后,框架会因受热拱起产生翘曲,翘曲部分在传送经过组合缝隙处时极易卡入,由于这时框架已完成上片,卡料会造成巨大损失,所以卡料问题亟待解决。为了解决上述技术问题,本技术提出了一种用于SHINKAWASPA300的出料导轨覆盖条,包括:覆盖条本体,螺纹孔,覆盖条本体是一体化成型结构或多段分离式结构,其中,当覆盖条本体为分离式结构时,相邻覆盖条本体之间的组合间隙中设置有圆柱体滚轮,滚轮的柱体侧面与相邻覆盖条本体的平面相 ...
【技术保护点】
一种用于SHINKAWA SPA300的出料导轨覆盖条,包括:覆盖条本体,螺纹孔,其特征在于:覆盖条本体是一体化成型结构或多段分离式结构,其中,当覆盖条本体为分离式结构时,相邻覆盖条本体之间的组合间隙中设置有圆柱体滚轮,滚轮的柱体侧面与相邻覆盖条本体的平面相切,滚轮长度等于相邻覆盖条本体之间的组合间隙长度。
【技术特征摘要】
1.一种用于SHINKAWASPA300的出料导轨覆盖条,包括:覆盖条本体,螺纹孔,其特征在于:覆盖条本体是一体化成型结构或多段分离式结构,其中,当覆盖条...
【专利技术属性】
技术研发人员:陆明,王金贵,邵克,
申请(专利权)人:苏州通博半导体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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