一种碱洗硅料的设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种碱洗硅料的设备，包括硅料处理装置、导轨和悬臂吊具，其中，硅料处理装置包括预冲洗装置、碱洗装置、第一纯水装置、酸中和装置、第二纯水装置、超声波装置和干燥装置，待清洗的硅料依次经过预冲洗装置、碱洗装置、第一纯水装置、酸中和装置、第二纯水装置、超声波装置和干燥装置，实现对待清洗硅料的清洗。本申请采用碱性清洗液，具体为氢氧化钠进行清洗，缓解了浓酸对人体的影响，氢氧化钠不含有污染离子对环境无危害，后期处理也非常容易。同时氢氧化钠的制备更加容易，价格也比氢氟酸和硝酸更加低廉，使用碱洗有更低的成本优势。

A kind of equipment for alkali washing silicon

The utility model discloses a equipment for alkali washing silicon material, including a silicon material processing device, a guide rail and a cantilever hanger. The silicon material processing device includes a pre washing device, a alkali washing device, a first pure water device, an acid neutralizing device, a second pure water device, an ultrasonic device, and a drying device. Washing device, alkali washing device, first pure water device, acid neutralizing device, second pure water device, ultrasonic device and drying device can be used to clean the cleaning silicon. This application uses alkaline cleaning solution, specifically for sodium hydroxide cleaning, alleviates the effect of concentrated acid on the human body, sodium hydroxide does not contain pollution ions harmless to the environment, and the later treatment is also very easy. At the same time, the preparation of sodium hydroxide is easier and the price is lower than that of hydrofluoric acid and nitric acid. The use of caustic washing has lower cost advantages.

【技术实现步骤摘要】
一种碱洗硅料的设备
本技术涉及半导体材料
，具体的说，涉及一种碱洗硅料的设备。
技术介绍
高纯硅料是半导体和太阳能行业的基础原料，在使用前需要对其表面进行清洗，此外在各自的生产过程中产生的边角料也需要清洗再作为原料回炉。清洗共分为多个工序，常规的清洗使用氢氟酸和硝酸的混合溶液。氢氟酸和硝酸都具有极强的腐蚀性和挥发性，容易给员工带来极大的人身伤害。同时清洗后的混酸的废气、废水、废物对环境的污染非常严重，尤其是氟离子属于严重污染物处理难度大，对于生产厂家来说环保压力巨大。此外，采用人工清洗，使得人工操作人力成本高，每一个工序都要有人操作，工序多耗费人力大。因此，如何提供一种碱洗硅料的设备，降低清洗液对操作者的影响，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种碱洗硅料的设备，降低清洗液对操作者的影响。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碱洗硅料的设备，其包括：硅料处理装置，所述硅料处理装置包括：预冲洗装置，所述预冲洗装置用于对硅料进行预冲洗；碱洗装置，所述碱洗装置用于对预冲洗后的硅料进行碱洗；第一纯水装置，所述第一纯水装置用于对碱洗后的硅料进行纯水清洗；酸中和装置，用于对中和碱洗后的硅料；第二纯水装置，所述第二纯水装置用于对酸中和后的硅料进行纯水清洗；超声波装置，所述超声波装置用于对清洗后的硅料进行超声波清洗；干燥装置，所述干燥装置用于对超声波清洗后的硅料进行干燥；导轨，所述导轨依次连接所述硅料处理装置的预冲洗装置、碱洗装置、第一纯水装置、酸中和装置、第二纯水装置、超声波装置和干燥装置；用于悬挂硅料的悬臂吊具，所述悬臂吊具可沿所述导轨移动且能够使所述硅料进入所述硅料处理装置；所述碱洗装置的碱性清洗液为氢氧化钠。优选地，上述的设备中，所述预冲洗装置、所述碱洗装置、所述第一纯水装置、所述酸中和装置、所述第二纯水装置、所述超声波装置和所述干燥装置和所述导轨均集成在同一工作台上。优选地，上述的设备中，所述悬臂吊具通过丝杠与所述导轨连接，所述悬臂吊具可沿所述丝杠的轴线方向移动以调节硅料与所述硅料处理装置的距离。优选地，上述的设备中，所述干燥装置为加热烘干机。优选地，上述的设备中，所述干燥装置的加热温度为50℃-100℃。优选地，上述的设备中，所述酸中和装置的酸性溶液为盐酸。经由上述的技术方案可知，本技术公开了一种碱洗硅料的设备，包括硅料处理装置、导轨和悬臂吊具，其中，硅料处理装置包括预冲洗装置、碱洗装置、第一纯水装置、酸中和装置、第二纯水装置、超声波装置和干燥装置，待清洗的硅料依次经过预冲洗装置、碱洗装置、第一纯水装置、酸中和装置、第二纯水装置、超声波装置和干燥装置，实现对待清洗硅料的清洗。本申请中的导轨依次连接预冲洗装置、碱洗装置、第一纯水装置、酸中和装置、第二纯水装置、超声波装置和干燥装置，并在导轨上设置可沿导轨移动的悬臂吊具，该悬臂吊具用于悬挂硅料，在导轨上移动实现对硅料的运输，不需要操作者搬运，从而降低了操作者的劳动强度。此外，本申请采用碱性清洗液，具体为氢氧化钠进行清洗，缓解了浓酸对人体的影响，氢氧化钠不含有污染离子对环境无危害，后期处理也非常容易。同时氢氧化钠的制备更加容易，价格也比氢氟酸和硝酸更加低廉，使用碱洗有更低的成本优势。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的碱洗硅料的设备的结构示意图。具体实施方式本技术的核心是提供一种碱洗硅料的设备，降低清洗液对操作者的影响。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1所示，本技术公开了一种碱洗硅料的设备，包括硅料处理装置、导轨1和悬臂吊具2，其中，硅料处理装置包括预冲洗装置3、碱洗装置4、第一纯水装置5、酸中和装置6、第二纯水装置7、超声波装置8和干燥装置9，待清洗的硅料依次经过预冲洗装置3、碱洗装置4、第一纯水装置5、酸中和装置6、第二纯水装置7、超声波装置8和干燥装置9，实现对待清洗硅料的清洗。本申请中的导轨1依次连接预冲洗装置3、碱洗装置4、第一纯水装置5、酸中和装置6、第二纯水装置7、超声波装置8和干燥装置9，并在导轨1上设置可沿导轨1移动的悬臂吊具2，该悬臂吊具2用于悬挂硅料，在导轨1上移动实现对硅料的运输，不需要操作者搬运，从而降低了操作者的劳动强度。此外，本申请采用碱性清洗液，具体为氢氧化钠进行清洗，缓解了浓酸对人体的影响，氢氧化钠不含有污染离子对环境无危害，后期处理也非常容易。同时氢氧化钠的制备更加容易，价格也比氢氟酸和硝酸更加低廉，使用碱洗有更低的成本优势。本申请中预冲洗装置3、碱洗装置4、第一纯水装置5、酸中和装置6、第二纯水装置7、超声波装置8、干燥装置9和导轨1均集成在同一工作台上，每个工序由一个工位对应的装置完成，所有的装置按照工艺顺序依次排列，人工只负责上料(上料位S)和下料，中间所有的工序全部由计算机控制自动完成，以实现自动化处理，进一步减低操作者的劳动强度。对应自动化部分可通过设置在导轨1上对应不同工艺装置(预冲洗装置3、碱洗装置4、第一纯水装置5、酸中和装置6、第二纯水装置7、超声波装置8、干燥装置9)行程开关和控制器实现。具体地，当悬臂吊具2运行到预冲洗装置3工位时，行程开关被触发，控制器控制悬臂吊具2停止运行，并将悬挂的硅料伸入到预冲洗装置3并启动预冲洗装置3进行预冲洗，完成预冲洗，然后控制器重新启动悬臂吊具2继续运行至碱洗装置，对于后续工位的控制过程与预冲洗装置3的控制过程相同，在此不做详细说明。将硅料清洗的各个工序由原来的人工分散操作，整合到一台自动化程度高的设备中，不但节省大量人力，降低碱洗操作时的人身安全风险，同时有效进行标准化作业，还可以减少各环节的浪费问题。人工只负责上料(上料位S)和下料，中间环节全部由机器完成操作节省人工。人工清洗不利益标准化的操作，人工清洗时要靠感觉判定清洗的时间，清洗时间存在很大的差异，为了将硅料清洗干净有时清洗时间特别长，碱溶液和硅料的反应剧烈，长时间清洗造成不必要的浪费，自动化清洗可以有效控制清洗的时间，节约成本。本申请中的悬臂吊具2通过丝杠与导轨1连接，并且悬臂吊具2可沿丝杠的轴线方向移动以调节硅料与硅料处理装置的距离。具体地，悬臂吊具2沿导轨1的移动可为前后移动，即从上一个工位移动到下一个工位，还可实现上下移动，以将硅料放入各个工位并取出。本申请中的干燥装置7为加热烘干机，采用加热烘干机对硅料进行加热干燥，此处仅提供了一种具体的干燥方式，在实际中也可采用其他干燥方式，例如干燥剂。对于干燥装置7的加热温度为50℃-100℃。本申请中的酸中和装置的酸性溶液为盐酸，即采用盐酸与氢氧化钠中和，除去硅料中残留本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碱洗硅料的设备，其特征在于，包括：硅料处理装置，所述硅料处理装置包括：预冲洗装置(3)，所述预冲洗装置(3)用于对硅料进行预冲洗；碱洗装置(4)，所述碱洗装置(4)用于对预冲洗后的硅料进行碱洗；第一纯水装置(5)，所述第一纯水装置(5)用于对碱洗后的硅料进行纯水清洗；酸中和装置(6)，用于对中和碱洗后的硅料；第二纯水装置(7)，所述第二纯水装置(7)用于对酸中和后的硅料进行纯水清洗；超声波装置(8)，所述超声波装置(8)用于对清洗后的硅料进行超声波清洗；干燥装置(9)，所述干燥装置(9)用于对超声波清洗后的硅料进行干燥；导轨(1)，所述导轨(1)依次连接所述硅料处理装置的预冲洗装置(3)、碱洗装置(4)、第一纯水装置(5)、酸中和装置(6)、第二纯水装置(7)、超声波装置(8)和干燥装置(9)；用于悬挂硅料的悬臂吊具(2)，所述悬臂吊具(2)可沿所述导轨(1)移动且能够使所述硅料进入所述硅料处理装置；所述碱洗装置(4)的碱性清洗液为氢氧化钠。

【技术特征摘要】
1.一种碱洗硅料的设备，其特征在于，包括：硅料处理装置，所述硅料处理装置包括：预冲洗装置(3)，所述预冲洗装置(3)用于对硅料进行预冲洗；碱洗装置(4)，所述碱洗装置(4)用于对预冲洗后的硅料进行碱洗；第一纯水装置(5)，所述第一纯水装置(5)用于对碱洗后的硅料进行纯水清洗；酸中和装置(6)，用于对中和碱洗后的硅料；第二纯水装置(7)，所述第二纯水装置(7)用于对酸中和后的硅料进行纯水清洗；超声波装置(8)，所述超声波装置(8)用于对清洗后的硅料进行超声波清洗；干燥装置(9)，所述干燥装置(9)用于对超声波清洗后的硅料进行干燥；导轨(1)，所述导轨(1)依次连接所述硅料处理装置的预冲洗装置(3)、碱洗装置(4)、第一纯水装置(5)、酸中和装置(6)、第二纯水装置(7)、超声波装置(8)和干燥装置(9)；用于悬挂硅料的悬臂吊具(2)，所述悬臂吊具...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘文涛，张潇，王齐，陈磊，刘东宏，
申请(专利权)人：浙江昱辉阳光能源有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33