MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置
本技术涉及太阳能电池生产设备
，尤其涉及一种MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置。
技术介绍
目前MAIA背镀机台进出料腔出料腔氮化硅粉尘较多，若不按时有效的清理腔体内部粉尘易导致硅片表面被腔体内粉尘污染，影响良率。进出料腔未有自动清理装置，必需停止工艺后开腔进行吸尘，耗时较长影响产量，人工清理效率偏低。人工清理进出料腔时，容易扬尘，污染生产环境，对人体有害。目前MAIA背镀机台进出料腔需要开腔进行人工吸尘处理。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了解决现有技术中进出料腔必需停止工艺后开腔进行吸尘，耗时较长影响产量，人工清理效率偏低的技术问题，本技术提供一种MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，包括吸尘管道以及设置在料腔内的上吸盘和下吸盘，上吸盘的吸尘口朝向料腔内的上表面，下吸盘的吸尘口朝向料腔内的下表面，上吸盘和下吸盘的背面固定连接且均和吸尘管道的一端相连通，吸尘管道的另一端连接有吸尘装置，料腔上设置有能够穿过吸尘管道的安装孔。本技术通过在料腔内设置了吸尘装置能够自动清理料腔内的灰尘，无需人工，方便高效。为了能够将整个料腔内都清理到位，所述吸尘管道为可伸缩管道。进一步，具体地，所述吸尘管道为双层管道，外层为套缩式管道，内层为布制管道，布制管道的长度和套缩式管道的最大伸长量的长度一致。为了便于及时清理灰尘，所述吸尘装置内设置有可更换的集尘盒。本技术的有益效果是，本技术的MAIA背镀机台进出料腔自动清理装置，无需人工进行清理，高效方便...
【技术保护点】
一种MAIA背镀机台进出料腔(1)自动清理装置，其特征在于：包括吸尘管道(4)以及设置在料腔(1)内的上吸盘(2)和下吸盘(3)，上吸盘(2)的吸尘口朝向料腔(1)内的上表面，下吸盘(3)的吸尘口朝向料腔(1)内的下表面，上吸盘(2)和下吸盘(3)的背面固定连接且均和吸尘管道(4)的一端相连通，吸尘管道(4)的另一端连接有吸尘装置(5)，料腔(1)上设置有能够穿过吸尘管道(4)的安装孔。
【技术特征摘要】
1.一种MAIA背镀机台进出料腔(1)自动清理装置，其特征在于：包括吸尘管道(4)以及设置在料腔(1)内的上吸盘(2)和下吸盘(3)，上吸盘(2)的吸尘口朝向料腔(1)内的上表面，下吸盘(3)的吸尘口朝向料腔(1)内的下表面，上吸盘(2)和下吸盘(3)的背面固定连接且均和吸尘管道(4)的一端相连通，吸尘管道(4)的另一端连接有吸尘装置(5)，料腔(1)上设置有能够穿过吸尘管道(4)的安装孔。2....
【专利技术属性】
技术研发人员：左文楠，朱露，姚伟忠，张凯盛，孙铁囤，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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