The invention relates to the technical field of electronic ceramic film production equipment, in particular to a tape casting equipment with high precision film. It is made up of a constant tension expansion device, a flow drawing device, an electrostatic eliminator, an optical check table, and a drying device. The casting device includes a casting plate, a rolling roll axe on a casting plate, a rolling roll shaft on the shaft seat of the casting roll, and a moment on the extension end of the axis of the casting roll shaft. The pendulum frame is composed of a symmetrical mounted pendulum bar, a transverse supporting plate, a bearing shaft and a supporting shaft, which is installed at both ends of the axis of the casting roll shaft, and the two ends of the casting roll shaft are mounted on the shaft seat of the casting roll and the rolling roll shaft. The seat is provided with a locking screw for stopping the rotation of the roll shaft. The invention has the advantages of simple structure, high casting speed, and suitable for mass production, and has the characteristics of high casting thread thickness and high uniformity control accuracy.
【技术实现步骤摘要】
一种高精密薄膜的流延设备
本专利技术涉及电子陶瓷薄膜生产设备的
,尤其涉及一种高精密薄膜的流延设备。
技术介绍
流延机是一种把浆料制备成均一定厚度、宽度的片状基带的成型设备,广泛应用于电子元器件、电子材料、磁性材料以及特种陶瓷等领域的介质膜生产制程。流延机是通过将料浆从流延系统流出,被刮刀以一定厚度刮压流延(涂布)在专用基带上,经干燥后成为生坯带介质薄膜。介质膜的厚度、均匀性、致密性等因素直接影响到电子元器件的最终产品性能。但在实际生产的过程中,由于浆料的细度、粘度、密度、固体含量、流体速度不一致等因素,出现流延薄膜坯体厚度、均匀性、致密性不一致等的问题,难以实现流延膜片厚度和均匀性的高精度控制。长期以来,针对流延介质膜片存在的问题,国内外对流延机进行多种技术改进,提出了许多技术解决方案。例如,非接触式浆料盒平面间隙技术,辊子钢带流延技术,辊子塑膜流延(LIPCoater)技术,强制给液(D.C.Coater)技术,滚涂式涂布(R&RCoater)技术。上述几种技术解决方案,在控制流延速度和厚度均匀性各有优势,但非接触式浆料盒平面间隙技术和辊子钢带流延技术的缺点明显:控制精度低、流延速度慢,有局限性等问题;辊子塑膜流延(LIPCoater)技术,强制给液(D.C.Coater)技术,滚涂式涂布(R&RCoater)技术的缺点主要是制造精度要求高、成本高、维护复杂,不适合小批量生产等。
技术实现思路
针对上述技术问题,本专利技术所要解决的技术问题是要提供一种电子元器件生产制程的、适合卷到卷制造工艺的、可提高流延厚度精度和适应性强,成本低,维 ...
【技术保护点】
一种高精密薄膜的流延设备,依次由基带恒定张力展开装置、流延装置、静电消除装置、光学检查台以及干燥装置组成,所述的流延装置包括流延基板(1)、流延基板上对称设有流延辊轴座(2)、在流延辊轴座上设有流延辊轴(3)、在流延辊轴轴线伸出端上还设有矩形流延角摆框,所述的流延角摆框由对称安装的流延摆杆(4)、横支承板(5)、流延盒支承轴(6)组成,其特征在于:所述的流延摆杆(4)安装在流延辊轴(3)的轴线两端伸出端;所述流延辊轴(3)的两端伸出轴贯穿安装在流延辊轴座(2)上,所述流延辊轴座(2)上设置有用于制止流延辊轴转动的锁紧螺钉;所述的流延盒支承轴(6)上安装有流延盒单元(7)。
【技术特征摘要】
1.一种高精密薄膜的流延设备,依次由基带恒定张力展开装置、流延装置、静电消除装置、光学检查台以及干燥装置组成,所述的流延装置包括流延基板(1)、流延基板上对称设有流延辊轴座(2)、在流延辊轴座上设有流延辊轴(3)、在流延辊轴轴线伸出端上还设有矩形流延角摆框,所述的流延角摆框由对称安装的流延摆杆(4)、横支承板(5)、流延盒支承轴(6)组成,其特征在于:所述的流延摆杆(4)安装在流延辊轴(3)的轴线两端伸出端;所述流延辊轴(3)的两端伸出轴贯穿安装在流延辊轴座(2)上,所述流延辊轴座(2)上设置有用于制止流延辊轴转动的锁紧螺钉;所述的流延盒支承轴(6)上安装有流延盒单元(7)。2.根据权利要求1所述的高精密薄膜的流延设备,其特征在于:所述的流延角摆框还包括有支承轴滑座(8),所述的流延盒支承轴(6)两端分别贯穿流延摆杆(4)、安装在支承轴滑座(8)上。3.根据权利要求2所述的高精密薄膜的流延设备,其特征在于:在流延摆杆(4)上还设有调节流延角度的锁紧螺纹孔(9)。4.根据权利要求3所述的高精密薄膜的流延设备,其特征在于:所述的流延盒单元包括流延腔体(10)、流延刀片(11)、间隙微调螺杆(12)...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘友启,陈裕锦,何超智,邹寅鹏,
申请(专利权)人:肇庆市佳利电子装备有限公司,
类型:发明
国别省市:广东,44
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