The invention discloses a plasma height adjustment device and method, which includes a MPT module, a fiber optic probe, an optical system, a camera, a detection terminal, a control board and an exhaust module, a MPT module as a plasma torch tube, and an exhaust module for the discharge of the chamber of the plasma torch tube; a fiber optic probe is used for acquisition. An optical signal produced by a plasma; an optical system is connected with an optical fiber probe to generate a Spectrogram Based on light signals transmitted by a fiber optic probe; a camera is used to shoot a plasma image; the detection terminal is used to control the exhaust velocity of the exhaust module through a control board, and the light is calculated to obtain the light according to the spectrogram generated by the optical system. The ratio of the letter to the ratio of the spectrum and the recognition of the plasma image taken by the camera are used to obtain the plasma height. The invention changes the plasma gas concentration by exhaust gas, and then indirectly changes the plasma height, making the actual image point in the best observation interval of the plasma, thus improving the detection precision.
【技术实现步骤摘要】
一种等离子体高度调整装置及方法
本专利技术属于原子发射光谱仪领域,尤其涉及一种等离子体高度调整装置及方法。
技术介绍
侧视观测模式:等离子体炬管的中心轴与检测系统的光轴成直角的观测模式;端视观测模式:等离子体炬管的中心轴与检测系统的光轴重合或平行的观测模式;等离子体气体:用于形成和维持等离子体的主要气氛,如Ar等;等离子体炬管:用于形成和维持等离子体的器件,如微波等离子体炬(MPT),电感耦合等离子体炬(ICP),表面波器件(Surfatron)等。在等离子体原子发射光谱仪中,待测样品通常以气态形式被载气引入等离子体中,并在等离子体中先后经过蒸发、去溶、原子化、电离、激发、发射等过程。由于元素特性的差异,对不同元素而言,其在等离子体中发生上述过程的难易程度不同,因此,在采用侧视观测模式对元素特征谱线强度进行检测时,等离子体存在最佳观测区域。针对上述需求,现有的解决方案包括三种方式:1)采用端视观测模式对等离子体进行检测,即光学系统的光轴与等离子体炬的轴线重合或平行,由于待测样品或待测元素的激发过程也是沿等离子体炬的轴线,因此消除了观测区域对检测的影响;2)采用侧视观测模式,同时通过机械结构调节等离子体炬管的相对位置;3)采用侧视观测模式,同时通过机械结构调节光学检测系统的探头的相对位置。现有技术的缺点:方案1):使用端视方式时,由于某些元素的特征发射谱线在经过等离子体尾焰容易发生自吸等现象从而影响定量分析,且等离子体尾焰温度过高容易对光学检测系统性能造成影响,因此通常需要采用去尾焰的方式,如冷锥和吹风式去尾焰等,结构较为复杂;其次,端视观测模式下元素的线性 ...
【技术保护点】
一种等离子体高度调整装置,其特征在于,包括MPT模块、光纤探头、光学系统、摄像头、检测终端、控制板和排气模块,所述MPT模块为等离子体炬管;所述排气模块用于对所述等离子体炬管的腔室进行排气;所述光纤探头用于获取等离子体产生的光信号;所述光学系统与所述光纤探头连接,用于根据所述光纤探头传来的光信号生成光谱图;所述摄像头用于拍摄等离子体图像;所述检测终端用于通过所述控制板来控制所述排气模块的排气速度,根据所述光学系统生成的光谱图计算得到该光谱图的信背比以及对所述摄像头拍摄的等离子体图像进行识别,以获得等离子体高度。
【技术特征摘要】
1.一种等离子体高度调整装置,其特征在于,包括MPT模块、光纤探头、光学系统、摄像头、检测终端、控制板和排气模块,所述MPT模块为等离子体炬管;所述排气模块用于对所述等离子体炬管的腔室进行排气;所述光纤探头用于获取等离子体产生的光信号;所述光学系统与所述光纤探头连接,用于根据所述光纤探头传来的光信号生成光谱图;所述摄像头用于拍摄等离子体图像;所述检测终端用于通过所述控制板来控制所述排气模块的排气速度,根据所述光学系统生成的光谱图计算得到该光谱图的信背比以及对所述摄像头拍摄的等离子体图像进行识别,以获得等离子体高度。2.根据权利要求1所述的一种等离子体高度调整装置,其特征在于,所述光纤探头和所述摄像头均采用侧视观测模式。3.根据权利要求2所述的一种等离子体高度调整装置,其特征在于,所述光纤探头和所述摄像头位于同一水平位置。4.根据权利要求1所述的一种等离子体高度调整装置,其特征在于,所述排气模块包括通道、排气阀和排气风扇,所述排气阀和所述排气风扇均设置在所述通道内,所述控制板通过控制所述排气风扇的转速来控制排气速度的快慢,所述排气阀用于使所述腔室内的排气速度在所述排气风扇的转速改变时渐变并趋于稳定状态。5.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:郑磊落,郭淳,陈挺,楼屹,赖晓健,
申请(专利权)人:浙江全世科技有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江,33
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