The utility model provides a cleaning device for an edge cut crystal element, which belongs to the field of semiconductor technology, including a clean table, a crystal element rotating component, connecting and rotating the crystal element; a cylindrical brush is located below the crystal element, contacts and rotates with the crystal element; a clean sponge is located above the crystal element and contacts with the crystal element. From the outgoing inner edge to the preset end point movement, the preset starting point and the edge of the crystal have a predetermined distance greater than the width of the crystal element; the ejector component is located above the crystal element. The beneficial effect of the utility model is to avoid the existence of the existing technology, because the cylinder brush caused by the edge cutting part of the cylinder brush leads to two damage to the surface of the crystal element, the edge shedding of the grain edge pollution cylinder brush affects the cleaning ability of the cylinder brush and the polluted cylinder brush causes the machinery to the crystal element. The problem of scratching improves the cleaning capacity and service life of the cylindrical brush and the entire cleaning device.
【技术实现步骤摘要】
一种适用于经过边缘切割的晶元的清洗装置
本技术涉及半导体
,尤其涉及一种适用于经过边缘切割的晶元的清洗装置。
技术介绍
化学机械研磨(chemicalmechanicalpolish,CMP)是通过研磨液与晶元表面材料之间的化学反应及研磨垫与晶元表面材料之间的机械力的作用将晶元表面磨平,从而实现晶元表面平坦化以满足半导体芯片设计的技术要求。经过化学机械研磨的晶元表面产生的污染颗粒是由清洗装置通过清洗步骤清理的,清洗装置是由旋转的圆筒毛刷通过夹紧旋转的晶圆来实现,其中,晶元在一旋转组件的夹持下在垂直面上旋转,晶元垂直于清洁台面,圆筒毛刷对称设置在晶元两侧并旋转,圆筒毛刷的旋转中心轴与清洗装置的清洁台面平行,晶元两侧还对称设有化学喷射装置,通过化学喷射装置对晶元进行去离子水清洗以达到清洗晶元表面污染颗粒的目的。为满足工艺需求,晶元边缘会进行切割(trim),以附图1为例,切割后的晶元边缘形成一宽度为2.4mm的环形凹槽(边缘切割部分),位于环形凹槽处的晶元厚度相比其内侧的晶元厚度要小。由于技术的局限性,经过切割后的晶元边缘仍会存在或多或少的晶元边缘剥落问题,当采用前述的清洗装置进行清洗时,圆筒毛刷接触到晶元边缘,圆筒毛刷突起的部分将会造成晶元边缘的二次伤害,而且晶元边缘剥落的碎屑可能污染到整支圆筒毛刷,直接影响到圆筒毛刷的后续清洗能力。
技术实现思路
针对现有技术中存在的问题,本技术提供了一种能够避免圆筒毛刷对晶元的边缘切割部分造成二次伤害、避免圆筒毛刷被晶元边缘脱落污染以及避免受污染后的圆筒毛刷对晶元造成机械划伤的适用于经过边缘切割的晶元的清洗装置。以下对本申 ...
【技术保护点】
一种适用于经过边缘切割的晶元的清洗装置,所述清洁装置设置在清洁台面上,经过边缘切割的晶元具有一切割宽度,其特征在于,所述清洗装置包括:晶元旋转组件,所述晶元旋转组件设置在所述清洁台面上,所述晶元旋转组件连接所述晶元并旋转所述晶元;圆筒毛刷,所述圆筒毛刷位于在所述晶元下方,所述圆筒毛刷与所述晶元接触并旋转;圆筒毛刷旋转组件,所述圆筒毛刷旋转组件设置在所述清洁台面上,所述圆筒毛刷旋转组件连接所述圆筒毛刷;清洁海绵,所述清洁海绵位于所述晶元上方,所述清洁海绵与所述晶元接触并在所述晶元上方由外向内沿预设起点至预设终点方向运动,所述预设起点位于所述晶元上且与所述晶元的边缘具有一预设距离,所述预设距离大于所述切割宽度;清洁海绵移动组件,所述清洁海绵移动组件设置在所述清洁台面上,所述清洁海绵移动组件连接所述清洁海绵;喷射组件,所述喷射组件位于所述晶元上方。
【技术特征摘要】
1.一种适用于经过边缘切割的晶元的清洗装置,所述清洁装置设置在清洁台面上,经过边缘切割的晶元具有一切割宽度,其特征在于,所述清洗装置包括:晶元旋转组件,所述晶元旋转组件设置在所述清洁台面上,所述晶元旋转组件连接所述晶元并旋转所述晶元;圆筒毛刷,所述圆筒毛刷位于在所述晶元下方,所述圆筒毛刷与所述晶元接触并旋转;圆筒毛刷旋转组件,所述圆筒毛刷旋转组件设置在所述清洁台面上,所述圆筒毛刷旋转组件连接所述圆筒毛刷;清洁海绵,所述清洁海绵位于所述晶元上方,所述清洁海绵与所述晶元接触并在所述晶元上方由外向内沿预设起点至预设终点方向运动,所述预设起点位于所述晶元上且与所述晶元的边缘具有一预设距离,所述预设距离大于所述切割宽度;清洁海绵移动组件,所述清洁海绵移动组件设置在所述清洁台面上,所述清洁海绵移动组件连接所述清洁海绵;喷射组件,所述喷射组件位于所述晶元上方。2.根据权利要求1所述的清洗装置,其特征在于,所述晶元在所述晶元旋转组件的夹持下与...
【专利技术属性】
技术研发人员:王力,
申请(专利权)人:武汉新芯集成电路制造有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北,42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。