一种低传热速度的石墨籽晶轴装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种低传热速度的石墨籽晶轴装置，包括石墨轴，轴内支撑环，热电偶温度计，所述的石墨轴为中空圆柱体结构，一端为封闭，另一端为开口，在石墨轴内设置三个轴内支撑环，轴内支撑环为环状圆形梯台，内壁设置四个支撑板，石墨轴为中空结构，轴内径从上往下逐渐缩小，可有效的防止轴内支撑环在重力作用下下滑至石墨轴底部堆积，然后把热电偶温度计缓缓放入石墨轴内孔，本实用新型专利技术增大了石墨轴内孔直径，增加轴内支撑环固定温度计，在高温状态下，石墨轴的传热速度大大降低，起到了有效控制坩埚内温度梯度的作用，提高了设备整体的保温性能。

A type of graphite seed crystal shaft with low heat transfer speed

The utility model relates to a graphite seed crystal shaft device with low heat transfer speed, including a graphite shaft, an inner support ring and a thermocouple thermometer. The graphite axis is a hollow cylinder structure, one end is closed, the other end is an opening, and three inner support rings are set in the graphite axis, and the inner support ring is a circular circular ladder. The wall is equipped with four supporting plates, the graphite axis is hollow structure, and the inner diameter of the shaft is gradually reduced from top to bottom. It can effectively prevent the shaft support ring from falling to the bottom of the graphite shaft under the action of gravity and then slowly put the thermocouple thermometer into the inner hole of the graphite axis. The utility model increases the diameter of the inner hole of the graphite shaft and increases the support inside the shaft. Under the condition of high temperature, the heat transfer speed of the graphite shaft is greatly reduced, and the temperature gradient in the crucible is effectively controlled, and the thermal insulation performance of the whole equipment is improved.

【技术实现步骤摘要】
一种低传热速度的石墨籽晶轴装置
本技术涉及碳化硅生产设备
，具体涉及一种低传热速度的石墨籽晶轴装置。
技术介绍
现有技术，是将热电偶温度计插入中空的石墨籽晶轴内，利用石墨轴内壁固定热电偶温度计，使其不会因旋转或者垂直移动而摆动，所以石墨轴中心圆孔的直径很小，生长晶体的尺寸越大，石墨轴的直径也越大。根据传热公式，传热速度Q与传热面积F成正比，石墨轴的传热面积大，传热速度快，使SiC溶液表面的热量散失加快，不利于有效的控制溶液表面的温度梯度。热量散失速度增加，石墨轴制造成本增加，导致了能源和资源方面的浪费。
技术实现思路
为解决上述现有技术的不足，本技术提供一种低传热速度的石墨籽晶轴装置，包括石墨轴，热电偶温度计，轴内支撑环，所述的石墨轴为中空圆柱体结构，一端为封闭，另一端为开口，在石墨轴内设置三个轴内支撑环，轴内支撑环结构为环状圆形梯台，内壁设置四个支撑板，将热电偶温度计放入轴内支撑环内。进一步地，石墨轴内径从上向下逐渐缩小。进一步地，每个轴内支撑环的直径不同，与放入轴内位置的内径相同。使用轴内支撑环时，首先把轴内支撑环放入内径中分段固定好，石墨轴内径从上向下逐渐缩小，可有效的防止轴内支撑环在重力作用下下滑至石墨轴底部堆积，然后把热电偶温度计缓缓放入石墨轴内孔，最后把石墨轴安装在上轴上。有益效果：本技术不需要更换石墨材料的型号，也不需要更高的加工精度，增大了石墨轴内孔直径，增加轴内支撑环固定温度计，在高温状态下，石墨轴的传热速度大大降低，起到了有效控制坩埚内温度梯度的作用，提高了设备整体的保温性能。附图说明图1为石墨籽晶轴装置结构示意图；图2为轴内支撑环结构示意图；图3为图2的A-A剖视图；其中，1为热电偶温度计，2为石墨轴，3为轴内支撑环。具体实施方式如图所示，一种低传热速度的石墨籽晶轴装置，包括热电偶温度计1，石墨轴2，轴内支撑环3。所述的石墨轴2为中空圆柱体结构，一端为封闭，另一端为开口，在石墨轴2内设置三个轴内支撑环3，轴内支撑环3结构为环状圆形梯台，内壁设置四个支撑板，将热电偶温度计1放入轴内支撑环3内。所述的石墨轴2内径从上向下逐渐缩小。所述的每个轴内支撑环3的直径不同，与放入轴内位置的内径相同。使用轴内支撑环3时，首先把轴内支撑环3放入内径中分段固定好，石墨轴2内径从上向下逐渐缩小，可有效的防止轴内支撑环3在重力作用下下滑至石墨轴底部堆积，然后把热电偶温度计1缓缓放入石墨轴2内孔，最后把石墨轴2安装在上轴上。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低传热速度的石墨籽晶轴装置，包括热电偶温度计(1)，石墨轴(2)，其特征在于：所述的石墨轴(2)为中空圆柱体结构，一端为封闭，另一端为开口，在石墨轴(2)内设置三个轴内支撑环(3)，轴内支撑环(3)结构为环状圆形梯台，内壁设置四个支撑板，将热电偶温度计(1)放入轴内支撑环(3)内。

【技术特征摘要】
1.一种低传热速度的石墨籽晶轴装置，包括热电偶温度计(1)，石墨轴(2)，其特征在于：所述的石墨轴(2)为中空圆柱体结构，一端为封闭，另一端为开口，在石墨轴(2)内设置三个轴内支撑环(3)，轴内支撑环(3)结构为环状圆形梯台，内壁设置四个支撑板，将热电偶...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏飞，
申请(专利权)人：山东天岳晶体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37