一种等离子火炬装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种等离子火炬装置，所述等离子火炬装置包括：具有镂空区域的底部隔离体；设置在所述底部隔离体上的阳极金属涡流衬套；通过所述镂空区域安装在所述阳极金属涡流衬套中的阳极耗材；与所述阳极金属涡流衬套相对设置且背离所述底部隔离体的阴极金属涡流衬套；安装在所述阴极金属涡流衬套中的阴极耗材；设置在所述阳极金属涡流衬套与所述阴极金属涡流衬套之间的中间隔离体；设置在所述阴极耗材上的顶盖。该等离子火炬装置便于直接更换阴极耗材，极大程度的简化了阴极耗材的更换步骤。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子火炬装置
本技术涉及废气处理
，更具体地说，尤其涉及一种等离子火炬装置。
技术介绍
随着诸多行业的不断发展，如半导体行业中，在生产过程中会排放出很多种类的废气，不但含有甲硅烷易爆类气体，还含有氯气剧毒类气体以及大量极难处理且限制排放的温室气体。为了解决废气的排放，常用的技术手段为电热分解法、燃气燃烧方式、高温等离子体方式以及吸附式等。随着环保意识以及安全意识的不断提高，常规的燃气燃烧废气处理方式并不符合现有要求，并且废气处理的技术趋势向无燃料处理技术方向发展。例如，通过等离子体消减装置；微波等离子体消减系统可以连接到若干工艺腔室的排气口，但是每个消减装置均需要独立的微波发生器，进而增加成本。直流等离子体焰炬消减装置优于微波等离子体消减装置，因为可以从单功率直流电源操作多个焰炬。高温等离子体是通过直流电电离载体气体，载体气体携带能量给废气，分解掉相关废气。但是，现有高温等离子体消减装置中阴极耗材通过焊接的方式连接，导致阴极拆卸极其困难。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种等离子火炬装置解决了现有技术中阴极拆卸极其困难的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种等离子火炬装置，所述等离子火炬装置包括：具有镂空区域的底部隔离体；设置在所述底部隔离体上的阳极金属涡流衬套；通过所述镂空区域安装在所述阳极金属涡流衬套中的阳极耗材；与所述阳极金属涡流衬套相对设置且背离所述底部隔离体的阴极金属涡流衬套；安装在所述阴极金属涡流衬套中的阴极耗材；设置在所述阳极金属涡流衬套与所述阴极金属涡流衬套之间的中间隔离体；设置在所述阴极耗材上的顶盖。优选的，在上述等离子火炬装置中，所述底部隔离体为陶瓷底部隔离体。优选的，在上述等离子火炬装置中，所述阳极金属涡流衬套为不锈钢阳极金属涡流衬套。优选的，在上述等离子火炬装置中，所述阳极耗材为铜金属耗材。优选的，在上述等离子火炬装置中，所述阴极金属涡流衬套为不锈钢阴极金属涡流衬套。优选的，在上述等离子火炬装置中，所述阴极耗材为钨金属耗材。优选的，在上述等离子火炬装置中，所述中间隔离体为陶瓷中间隔离体。优选的，在上述等离子火炬装置中，所述顶盖为陶瓷顶盖。从上述技术方案可以看出，本技术所提供的一种等离子火炬装置包括：具有镂空区域的底部隔离体；设置在所述底部隔离体上的阳极金属涡流衬套；通过所述镂空区域安装在所述阳极金属涡流衬套中的阳极耗材；与所述阳极金属涡流衬套相对设置且背离所述底部隔离体的阴极金属涡流衬套；安装在所述阴极金属涡流衬套中的阴极耗材；设置在所述阳极金属涡流衬套与所述阴极金属涡流衬套之间的中间隔离体；设置在所述阴极耗材上的顶盖。由此可知，相比较现有技术中将阴极耗材通过焊接的方式连接，在本技术中采用阴极金属涡流衬套，并将阴极耗材安装在阴极金属涡流衬套中，二者可拆卸安装，如螺纹连接，并非焊接连接，便于直接更换阴极耗材，极大程度的简化了阴极耗材的更换步骤。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的一种等离子火炬装置的一体封装示意图；图2为图1所示的一种等离子火炬装置的爆炸图；图3为图1所示的一种等离子火炬装置的截面图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。参考图1、图2以及图3，图1为本技术实施例提供的一种等离子火炬装置的一体封装示意图；图2为图1所示的一种等离子火炬装置的爆炸图；图3为图1所示的一种等离子火炬装置的截面图。如图2所示，所述等离子火炬装置包括：具有镂空区域的底部隔离体11。具体的，所述底部隔离体11包括但不限定于陶瓷材料的底部隔离体11，其中，所述底部隔离体11用于固定所述等离子火炬装置，并且实现所述等离子火炬装置与其它装置之间的绝缘作用。设置在所述底部隔离体11上的阳极金属涡流衬套12。具体的，所述阳极金属涡流衬套12包括但不限定于不锈钢材料的阳极金属涡流衬套12。通过所述镂空区域安装在所述阳极金属涡流衬套12中的阳极耗材13。具体的，所述阳极耗材13包括但不限定于铜金属材料的阳极耗材13，并且所述阳极耗材13与所述阳极金属涡流衬套12在本技术实施例中通过螺纹的形式进行安装；也就是说，所述阳极耗材13包括第一螺纹结构，所述阳极金属涡流衬套12包括第二螺纹结构，通过所述第一螺纹结构与所述第二螺纹结构的旋转安装，将所述阳极耗材13固定在所述阳极金属涡流衬套12中。相比较现有技术中通过焊接的方式将阳极耗材进行连接，而本技术实施例提供的安装方式，采用阳极金属涡流衬套并通过螺纹的方式进行阳极耗材的安装，便于拆卸，极大程度的简化了更换步骤。与所述阳极金属涡流衬套12相对设置且背离所述底部隔离体11的阴极金属涡流衬套14。具体的，所述阴极金属涡流衬套14包括但不限定于不锈钢材料的阴极金属涡流衬套14。安装在所述阴极金属涡流衬套14中的阴极耗材15。具体的，所述阴极耗材15包括但不限定于钨金属材料的阴极耗材15，并且所述阴极耗材15与所述阴极金属涡流衬套14在本技术实施例中通过螺纹的形式进行安装；也就是说，所述阴极耗材15包括第三螺纹结构，所述阴极金属涡流衬套14包括第四螺纹结构，通过所述第三螺纹结构与所述第四螺纹结构的旋转安装，将所述阴极耗材15固定在所述阴极金属涡流衬套14中。相比较现有技术中通过焊接的方式将阴极耗材进行连接，而本技术实施例提供的安装方式，采用阴极金属涡流衬套并通过螺纹的方式进行阴极耗材的安装，便于拆卸，极大程度的简化了更换步骤。设置在所述阳极金属涡流衬套12与所述阴极金属涡流衬套14之间的中间隔离体16。具体的，所述中间隔离体16包括但不限定于陶瓷材料的中间隔离体16，用于将所述阳极耗材13与所述阴极耗材15之间隔离，实现所述阳极耗材13与所述阴极耗材15之间绝缘作用。设置在所述阴极耗材15上的顶盖17。具体的，所述顶盖17包括但不限定于陶瓷材料的顶盖17。需要说明的是，本技术提供的一种等离子火炬装置需在高温环境下进行工作，因此优选使用陶瓷材料，耐高温，低成本，但是并不作限定。由上可知，本技术实施例提供的一种等离子火炬装置，通过采用阴极金属涡流衬套以及螺纹的安装形式将阴极耗材固定在阴极金属涡流衬套中，更加便于拆卸以及安装，极大程度的简化了更换阴极耗材的步骤。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子火炬装置，其特征在于，所述等离子火炬装置包括：具有镂空区域的底部隔离体；设置在所述底部隔离体上的阳极金属涡流衬套；通过所述镂空区域安装在所述阳极金属涡流衬套中的阳极耗材；与所述阳极金属涡流衬套相对设置且背离所述底部隔离体的阴极金属涡流衬套；安装在所述阴极金属涡流衬套中的阴极耗材；设置在所述阳极金属涡流衬套与所述阴极金属涡流衬套之间的中间隔离体；设置在所述阴极耗材上的顶盖。

【技术特征摘要】
1.一种等离子火炬装置，其特征在于，所述等离子火炬装置包括：具有镂空区域的底部隔离体；设置在所述底部隔离体上的阳极金属涡流衬套；通过所述镂空区域安装在所述阳极金属涡流衬套中的阳极耗材；与所述阳极金属涡流衬套相对设置且背离所述底部隔离体的阴极金属涡流衬套；安装在所述阴极金属涡流衬套中的阴极耗材；设置在所述阳极金属涡流衬套与所述阴极金属涡流衬套之间的中间隔离体；设置在所述阴极耗材上的顶盖。2.根据权利要求1所述的等离子火炬装置，其特征在于，所述底部隔离体为陶瓷底部隔离体。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，姚翔，
申请(专利权)人：上海盛剑环境系统科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31