烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备，所述烘烤设备包括：多个彼此独立的子烘烤部件，每个子烘烤部件包括一加热部件、一冷却部件及一与所述加热部件和所述冷却部件连通的传送部件，通过设置彼此独立的子烘烤部件，使得不同子烘烤部件中的产品可单独进行烘烤而互补干扰，便于对每个子烘烤部件的烘烤时间的调整及控制，提高同一批次产品所涂布的光阻厚度的一致性，提高了产品良率。

Baking equipment and coating equipment comprising the baking equipment

The utility model discloses a baking equipment and a coating equipment comprising the roasting equipment. The baking equipment includes a plurality of independent child roasting components, each of which comprises a heating unit, a cooling unit and a transmission component connected with the heating part and the cooling part. This independent roasting component makes the products in different roasting parts can be baked separately and complementing each other to adjust and control the baking time of each baking component, improve the uniformity of the thickness of the light resistance coated by the same batch and improve the yield of the product.

【技术实现步骤摘要】
烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备
本技术涉及显示器制造
，尤其涉及一种烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备。
技术介绍
目前，在光刻制程中，对基板涂布光阻(也称光刻胶)时需要用到烘烤设备，如图1所示，所述烘烤设备常包括烘烤部10、传送部11(例如机械手)及冷却部12，烘烤部10由多个加热炉100组成，冷却部12由多个冷却炉120组成，多个加热炉100和多个冷却炉120共用同一传送部11。具体烘烤过程为：首先，将每个加热炉放置一待烘烤产品(例如基板)并开始加热并计时；接着，待第一个加热炉中的待烘烤产品到达预设加热时间时，接着利用传送部将经第一个加热炉加热后的烘烤产品输送至冷却炉冷却，再利用传送部再取一待烘烤产品输送至第一个加热炉内加热，接着利用传送部将经第二个加热炉加热后的烘烤产品输送至冷却炉冷却，依此类推，直至仅剩下一待烘烤产品，此时仅需等待加热炉中的待烘烤产品满足加热时间后利用输送部直接将烘烤产品取出并输送冷却炉冷却。但是，经上述烘烤设备生产的同一批次产品涂布的光阻厚度存在不一致的问题，严重后续对产品的工艺制程，大大降低了产品良率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种烘烤设备，以解决基于现有技术中烘烤设备批量制备产品的光阻厚度存在不一致的问题。为了解决上述技术问题，本技术提供一种烘烤设备，所述烘烤设备，包括：多个彼此独立的子烘烤部件，每个子烘烤部件包括一加热部件、一冷却部件及一与所述加热部件和所述冷却部件连通的传送部件。可选的，在所述的烘烤设备中，所述加热部件包括：一加热腔体和至少一设置于加热腔体内的加热平台。可选的，在所述的烘烤设备中，所述加热部件为加热炉。可选的，在所述的烘烤设备中，所述加热部件为加热箱。可选的，在所述的烘烤设备中，所述冷却部件包括：一冷却腔体和至少一设置于冷却腔体内的冷却平台。可选的，在所述的烘烤设备中，所述冷却部件为冷却炉。可选的，在所述的烘烤设备中，所述冷却部件为冷却箱。可选的，在所述的烘烤设备中，所述传送部件为机械手臂。可选的，在所述的烘烤设备中，所述传送部件为传送带。本技术还提供一种涂胶设备，所述涂胶设备包括上述烘烤设备。在本技术所提供的烘烤设备及包含所述烘烤设备的涂胶设备中，所述烘烤设备包括：多个彼此独立的子烘烤部件，每个子烘烤部件包括一加热部件、一冷却部件及一与所述加热部件和所述冷却部件连通的传送部件，通过设置彼此独立的子烘烤部件，使得不同子烘烤部件中的产品可单独进行烘烤而互补干扰，便于对每个子烘烤部件的烘烤时间的调整及控制，提高同一批次产品所涂布的光阻厚度的一致性，提高了产品良率。附图说明图1是现有技术中一烘烤设备的结构示意图；图2是本技术一实施例中烘烤设备的结构示意图。附图标记说明：图1中：烘烤部-10；加热炉-100；传送部-11；冷却部-12；冷却炉-120。图2中：子烘烤部件-20；加热部件-200；传送部件-201；冷却部件-202。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术提出的烘烤设备作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。经过专利技术人对现有烘烤设备长期研究发现，导致同一批次产品涂布的光阻厚度存在不一致的问题的主要原因在于：烘烤设备中多个加热炉和多个冷却炉共用同一传送部，对于多数已完成加热的加热炉中的产品而言，并不能及时取出，只有在传送部完成前一产品的传输之后才能放入新产品，大部分加热炉中产品加热结束被取出时间点为待传送部完成前一加热炉中产品取出后又放入新产品后方可进行，仅少数已完成加热的加热炉中的产品可直接在加热结束后直接取出，由此可见，由于传送部的工作流程使得不同加热炉中产品进行加热的时间有所差异，从而影响产品上涂布的光阻厚度，出现同一批次中产品涂布的光阻厚度存在不一致的问题。此外，可以想到的是：传送产品的过程中产品经过加热仍然具备一定的热量，后续急剧的冷却，产品表面某些材料的热胀冷缩也会产生光阻厚度不一致的问题。基于上述发现，本技术从如何调节不同加热炉中产品进行加热的时间的角度出发，通过将烘烤设备设计为包括多个可独立烘烤的子烘烤部件，每个子烘烤部件可独立控制烘烤时间，从而较为精准的控制每个子烘烤部件中产品的烘烤时间，以满足生产预定光阻厚度的需求，进而提高同一批次产品涂布的光阻厚度的一致性。图2为本技术实施例的烘烤设备的结构示意图。如图2所示，所述烘烤设备包括：多个彼此独立的子烘烤部件20，每个子烘烤部件20包括一加热部件200、一冷却部件202及一与所述加热部件200和所述冷却部件202连通的传送部件201。本实施例中，所述加热部件200包括：一加热腔体和一设置于加热腔体内的加热平台，其中，所述加热腔体的形状包括但不局限于呈球形或正方体，所述加热平台的形状包括但不局限于圆形或方形，所述加热腔体用于提供容置产品加热的空间，所述加热平台用于承载待加热产品并提供加热源，以使产品表面涂布的光阻的大部分溶剂挥发，形成预定厚度的光阻层。优选的，所述加热部件200为加热炉或加热箱。所述加热部件200的加热温度根据光阻的溶剂挥发及制程需求选择性设置，本实施例中线上采用的加热温度为100℃～150℃。所述产品例如是屏体，所述屏体上涂覆有预定厚度的光阻。所述光阻可以是正性光阻或负性光阻。当然，所述加热部件也可用于加热光阻之外的类似产品，比如聚酰亚胺(PI)。本实施例中，所述冷却部件202包括：一冷却腔体和一设置于冷却腔体内的冷却平台，其中，所述冷却腔体的形状包括但不局限于呈球形或正方体，所述冷却平台的形状包括但不局限于圆形或方形，所述冷却腔体用于提供容置产品冷却的空间，所述冷却平台用于承载待冷却产品并提供冷却源，以加速产品表面光阻层与产品表面的贴合。优选的，所述冷却部件202为冷却炉或冷却箱。所述冷却部件202用于将产品冷却至特定温度(如室温)。较佳的，所述传送部件201为机械手臂或传送带。本实施例的烘烤设备相比现有的烘烤设备的重要区别在于传送部件201的数量。现有技术中烘烤设备中多个加热炉和多个冷却炉共用同一传送部，而本实施例中传送部件201的数量与加热部件200和冷却部件202的数量相同，从而实现一一对应的关系(即加热部件200—传送部件201—冷却部件202)，多个子烘烤部件20彼此相互独立，均可单独对产品进行烘烤，烘烤时间可根据需求进行设定或调整。多个子烘烤部件20沿列方向层叠设置，相邻两个子烘烤部件20中的两个加热部件200两个传送部件201以及两个冷却部件202均沿列方向层叠设置，具体可结合图2所示内容进行理解。优选的，将加热部件200和冷却部件202分别设置于传送部件201的两侧，以缩短加热部件200与冷却部件202之间的传送路径。在另一实施例中，将加热部件200设计为包括一加热腔体和至少两个设置于加热腔体内的加热平台。加热平台的数量的选取可根据溶剂完全挥发的需求选择性设置，以实现对溶剂的多级加热，使产品表面的涂布的光阻的溶剂得以完全挥发，形成预定厚度的光阻层。所述冷却部件202包括：一冷却腔体和至少两个设置于冷却腔体内的冷却平台，冷却平台的数量本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种烘烤设备，其特征在于，包括：多个彼此独立的子烘烤部件，每个子烘烤部件包括一加热部件、一冷却部件及一与所述加热部件和所述冷却部件连通的传送部件；其中，所述加热部件包括：一加热腔体和至少一设置于加热腔体内的加热平台；所述冷却部件包括：一冷却腔体和至少一设置于冷却腔体内的冷却平台。

【技术特征摘要】
1.一种烘烤设备，其特征在于，包括：多个彼此独立的子烘烤部件，每个子烘烤部件包括一加热部件、一冷却部件及一与所述加热部件和所述冷却部件连通的传送部件；其中，所述加热部件包括：一加热腔体和至少一设置于加热腔体内的加热平台；所述冷却部件包括：一冷却腔体和至少一设置于冷却腔体内的冷却平台。2.如权利要求1所述的烘烤设备，其特征在于，所述加热部件为加热炉。3.如权利要求1所述的烘烤设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：田小冬，汪永佳，
申请(专利权)人：昆山国显光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32