表面处理装置及工件保持夹具制造方法及图纸

提供将沿配置在从表面处理槽的上方离开的位置上的轨道输送的输送夹具的构造改良、能很稳定地支承输送夹具的表面处理装置及工件保持夹具。表面处理装置具有：表面处理槽，收容处理液，具有上端开口；第1、第2导轨，在从表面处理槽的上端开口的上方离开的位置处沿与表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置；多个输送夹具，配置在表面处理槽的处理液中，分别保持工件，支承在第1、第2导轨上。输送夹具具有：水平臂部，沿第2方向延伸；第1被导引部，支承在水平臂部的一端侧，被第1导轨导引；第2被导引部，支承在水平臂部的另一端侧，被第2导轨导引；垂直臂部，在第1被导引部与第2被导引部之间的位置处从水平臂部垂下，保持工件。

Surface treatment device and workpiece holding clamp

An improved structure of the conveying fixture which can track along the position left above the surface treatment slot is provided, and a surface treatment device and a workpiece holding fixture which can stably support the conveying fixture are provided. The surface processing device has a surface treatment groove, a treatment liquid, with the upper opening; first, second rail position left upper opening at the upper end of the tank from the surface treatment and surface treatment are arranged along the extending direction of the slot length in first parallel direction; a plurality of conveying clamp configuration in the treatment of surface treatment liquid tank in keeping the workpiece, supported on the first and second rail. Transport jig is: horizontal arm, extending along the second direction; first is guided, supported on the side of horizontal arm, first guide rails; second is guided, supported on the other side of the level arm, second guide rails; the vertical arm, in first and second are guided part the guiding position between the arm from the level down, keep the workpiece.

【技术实现步骤摘要】
表面处理装置及工件保持夹具本申请为申请号为201210220405.7的在先申请及申请号为201510065136.5的在先申请（申请日均为2012年06月29日，专利技术名称均为“表面处理装置及工件保持夹具”）的分案申请。
本专利技术涉及连续电镀装置等表面处理装置及工件保持夹具。
技术介绍
作为表面处理装置、例如将工件表面电镀处理的电解电镀处理装置，已知有在电镀槽内将电路基板等工件连续输送的连续电镀处理装置。工件由被沿着供电轨道输送的输送夹具垂下保持，一边被从供电轨道经由输送夹具供电一边在电镀槽内被连续输送。在电镀槽中，在作为阴极的工件的输送路径的两侧配置阳极，在阴极－阳极间形成电场，将电镀液电分解，将工件表面电镀。这里，已知有代替在电镀槽的上方配置供电轨道的构造（专利文献1）而在从电镀槽的上方离开的位置上与电镀槽的长度方向平行地延伸设置供电轨道的构造（专利文献2）。这样，在能够防止当输送夹具在供电轨道上滑动时产生的粉尘落下混入到电镀槽内这一点上较好。在连续电镀装置等表面处理装置中，用工件保持夹具将工件垂下保持，在表面处理槽内的液体中将工件连续输送。工件保持夹具例如如专利文献3所示，一般是将工件的上端夹紧而将工件垂下保持。此外，工件保持夹具的另一功能在于相对于配置在表面处理槽内的阳极（正极）将工件设定为阴极（负极）。在阴极－阳极间形成电场，将电镀液电分解，将工件表面电镀。为此，将工件的上端夹紧的卡盘部件由导电性部件形成，经由工件保持夹具将工件设定为阴极。专利文献1：特许第3025254号公报专利文献2：特许第3591721号公报专利文献3：特开2009－132956号公报如果如专利文献2那样将供电轨道配置到从电镀槽的上方离开的位置上，则与如专利文献1那样将输送夹具及工件垂下稳定支承在供电轨道的正下方的形态不同。由此，输送夹具及工件的重心从通过供电轨道的垂线上离开，所以在输送夹具上作用不需要的力矩。由此，专利文献2中公开的输送夹具为了抑制因不需要的力矩带来的危害，成为比专利文献1中公开的夹具复杂的构造。例如在专利文献2中，在供电轨道的侧面上，设置用来防止输送夹具的脱落的脱开防止轨道，供电轨道的构造也复杂化。当保持在输送夹具上的工件在液体中行进时，如果在俯视中工件的姿势倾斜以相对于输送方向交叉，则有可能受到液体的阻力而工件弯曲、损害商品价值。此外，当保持在输送夹具上的工件在液体中行进时，如果输送夹具上下运动，则供电轨道与输送夹具的电气接触成为不良，电镀品质也有可能劣化。为了防止这样的状况，使输送夹具的行进稳定化的构造复杂化。此外，如专利文献3那样，判明仅通过在工件的上端确保通电路线，在确保工件的表面处理的面内均匀性方面存在极限。
技术实现思路
本专利技术的一些形态提供一种将沿着配置在从表面处理槽的上方离开的位置上的轨道输送的输送夹具的构造改良、能够很稳定地支承输送夹具的表面处理装置。本专利技术的另一些专利技术提供一种即使是很薄的工件、也能够不因液压等使工件损坏而进行输送的工件保持夹具。本专利技术的再另一些形态提供一种与导轨另外地设置供电轨道、能够使被供电轨道供电的被供电部与输送夹具的输送状态独立地总是以适度的接触压力与供电轨道接触的表面处理装置。本专利技术的再另一些形态的目的是提供一种能够实现使工件的电流分布的面内均匀性提高、进一步提高工件的表面处理品质的改善的工件保持夹具及表面处理装置。（1）本专利技术的一形态，关于一种表面处理装置，具有：表面处理槽，收容处理液，具有上端开口；第1、第2导轨，在从上述表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置处，沿着与上述表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置；多个输送夹具，配置在上述表面处理槽的上述处理液中，分别保持工件，支承在上述第1、第2导轨上；上述多个输送夹具分别具有：水平臂部，沿着与上述第1方向交叉的第2方向延伸；第1被导引部，支承在上述水平臂部的一端侧，被上述第1导轨导引；第2被导引部，支承在上述水平臂部的另一端侧，被上述第2导轨导引；垂直臂部，在上述第1被导引部与上述第2被导引部之间的位置处从上述水平臂部垂下，保持上述工件。这样，多个输送夹具分别具有夹着保持工件的垂直臂部而将第2方向的两端侧的第1、第2被导引部支承在第1、第2导轨上的双支承构造。因而，在本实施方式中，与专利文献2那样的悬臂支承构造相比，能够抑制不需要的力矩的发生、抑制上下运动而稳定地将工件水平输送。并且，由于作为滑动部的第1、第2导轨及第1、第2被导引部处于从表面处理槽的上端开口的上方离开的位置，所以也不会有粉尘等下落到表面处理槽内而将电镀液污染的情况。（2）本专利技术的另一形态，关于一种表面处理装置，具有：表面处理槽，收容处理液，具有上端开口；第1、第2导轨，在从上述表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置处，沿着与上述表面处理槽的长度方向平行的第1方向延伸设置；供电轨道，在从上述表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置、上述第1、第2导轨之间，沿着上述第1方向延伸设置；多个输送夹具，配置在上述表面处理槽的上述处理液中，分别保持工件，支承在上述第1、第2导轨上，并且接触在上述供电轨道上而被供电；上述多个输送夹具分别具有：水平臂部，沿着与上述第1方向交叉的第2方向延伸；第1被导引部，支承在上述水平臂部的一端侧，被上述第1导轨导引；第2被导引部，支承在上述水平臂部的另一端侧，被上述第2导轨导引；垂直臂部，在上述第1被导引部与上述第2被导引部之间的位置处从上述水平臂部垂下，保持上述工件；被供电部，在上述第1被导引部与上述垂直臂部之间的位置处支承在上述水平臂上，接触在上述供电轨道上。在本专利技术的另一形态中，对第1、第2导轨追加而具有供电轨道，输送夹具还具有与供电轨道接触的被供电部。供电轨道配置在从表面处理槽的上述上端开口的上方离开的位置、第1、第2导轨之间，所以输送夹具的被供电部设在第1被导引部与上述垂直臂部之间的位置上。因此，从垂直臂部到第1被导引部的距离变得比从垂直臂部到第2被导引部的距离长。如果不存在第2被导引部，则从第1被导引部到垂直臂部的腕的长度变长，作用在输送夹具上的不需要的力矩变大。在本专利技术的另一形态中，也与本专利技术的一形态同样，具有支承在第1、第2导轨上的双支承构造，所以在输送夹具上不会作用不需要的力矩。（3）本专利技术的再另一形态，关于一种工件保持夹具，是将薄板状的矩形工件在处理槽内的液体中保持的工件保持夹具，具有：多个第1卡盘部件，把持上述矩形工件的第一边；多个第2卡盘部件，把持上述矩形工件的与上述第一边在第1方向上对置的第2边；框状部件，包围上述矩形工件而配置，支承上述多个第1卡盘部件及上述多个第2卡盘部件；上述框状部件具有：第1导引部，将上述多个第1卡盘部件在上述第1方向上可动地移动导引；第1施力部件，将上述多个第1卡盘部件向相对于上述多个第2卡盘部件沿着上述第1方向远离的一方向移动施力。根据本专利技术的工件保持夹具，分别把持矩形工件的对置两边的多个第1、第2卡盘部件中的至少多个第1卡盘部件在第1方向上可动。由此，即使矩形工件的厚度较薄，也能够总是对矩形工件施加张紧而保持平面。因此，能够对矩形工件的两面以均匀膜厚进行表面处理。此外，在表面处理时、矩形工件被向处理液多次取出放入时，工件也不会挠曲而保持平面，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工件保持夹具，保持并输送工件，其特征在于，具有：被导引部，被表面处理装置的导轨导引；被供电部，与表面处理装置的供电轨道电气地连接；和水平臂部，支承上述被导引部及上述被供电部；上述被供电部具有：接触部，与上述供电轨道接触；平行连杆机构，将上述水平臂部与上述接触部连结；和施力部件，对上述平行连杆机构旋转施力，而对上述接触部施加接触压力。

【技术特征摘要】
2011.06.30 JP 2011-145987;2012.03.22 JP 2012-065561.一种工件保持夹具，保持并输送工件，其特征在于，具有：被导引部，被表面处理装置的导轨导引；被供电部，与表面处理装置的供电轨道电气地连接；和水平臂部，支承上述被导引部及上述被供电部；上述被供电部具有：接触部，与上述供电轨道接触；平行连杆机构，将上述水平臂部与上述接触部连结；和施力部件，对上述平行连杆机构旋转施力，而对上述接触部施加接触压力。2.如权利要求1所述的工件保持夹具，其特征在于，上述平行连杆机构包括第1连杆和第2连杆；设有固定于上...

【专利技术属性】
技术研发人员：野田朝裕，渡边重幸，石井胜己，
申请(专利权)人：ALMEXPE株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP