The invention discloses a solution, a preparation method and an application of low alkalinity environmental protection electrolysis to remove spillage. Low alkalinity environmental electrolysis to remove the overflow solution, which is composed of the following raw materials, the raw material comprises the following components: 1% mass fraction of 10%, 1% inorganic alkali 5% organic amine, 5% 12% buffers, 1% 5% organic solvents, 0.1% surfactants and 1% water, the mass fraction and 100%; the removal of the overflow solution pH value of 7 8. The method for removing the overflow of low alkalinity, pH 7 8, the alkalinity is less than 20g/L, the content of organic matter is low, high water content is more than 80%, can effectively remove the overflow, and can effectively avoid the plastic body and a metal frame or matrix damage, delamination and product problems. In addition, the solution of the present invention is environmentally friendly.
【技术实现步骤摘要】
一种低碱度环保电解去除溢料的溶液、其制备方法及其应用
本专利技术涉及一种低碱度环保电解去除溢料的溶液、其制备方法及其应用。
技术介绍
随着国内IC设计和芯片制造的规模不断扩大,内地崛起的半导体晶圆代工产业的发展,对后段制造的拉动效应已经开始显现,中国半导体封装测试行业在近几年也同样保持了稳定快速发展的势头。半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。常用封装方式有:使用金属及新陶瓷的气密封装和使用树脂的非气密封装。根据资料显示,目前半导体IC的封装,树脂密封约达90%。在树脂封装过程中,由于塑封模具尺寸偏差以及使用过程中的磨损、金属膜污垢、树脂质量等条件的制约,不可避免会产生溢料。溢料在半导体器件的引脚或金属散热面上形成,覆盖或包裹引脚和散热面上,影响成品的外观、可焊性和散热性。因此,如何去除溢料成了影响IC元件质量的一个关键性问题。通常溢料主要包括三部分:未完全固化的环氧树脂、脱模剂以及固化的环氧膜塑料。现有技术中去除溢料的方法一般分为三种:机械喷砂法、化学浸泡法以及电解法。其中,机械喷砂法容易使得塑封体表面受损,比较少使用;化学浸泡法对环境影响较大;与前两者相比,电解法更环保和高效。但现有技术中电解法去除溢料又存在以下问题:(1)溶液普遍采用氢氧化钠或氢氧化钾为主,含量达到100-200g/L(以氢氧化钠计),pH通常大于13,碱度过高,会使金属框架与塑封体之间因析出氢气而剥离,形成产品内部的分层现象,且对部分塑封体易造成损伤,对小塑封体大载体的封装形式尤其明显;(2)溶液的组分中含有大量有机物,使用过程中,会造成产品分 ...
【技术保护点】
一种低碱度环保电解去除溢料的溶液,其特征在于,其由下述原料制得,所述的原料包括下列质量分数的组分:1%‑10%的无机碱、1%‑5%的有机胺、5%‑12%的缓冲剂、1%‑5%的有机溶剂、0.1%‑1%的表面活性剂和水,各组分质量分数之和为100%;所述去除溢料的溶液的pH值为7‑8。
【技术特征摘要】
1.一种低碱度环保电解去除溢料的溶液,其特征在于,其由下述原料制得,所述的原料包括下列质量分数的组分:1%-10%的无机碱、1%-5%的有机胺、5%-12%的缓冲剂、1%-5%的有机溶剂、0.1%-1%的表面活性剂和水,各组分质量分数之和为100%;所述去除溢料的溶液的pH值为7-8。2.如权利要求1所述的低碱度环保电解去除溢料的溶液,其特征在于,所述的无机碱的质量分数为1%-6%,优选为5%-6%;和/或,所述的有机胺的质量分数为1%-4%,优选为3%-4%;和/或,所述的缓冲剂的质量分数为7%-10%;和/或,所述的有机溶剂的质量分数为1-2%;和/或,所述的表面活性剂的质量分数为0.5%-0.8%。3.如权利要求2所述的低碱度环保电解去除溢料的溶液,其特征在于,所述的无机碱为碱金属的碳酸盐和/或碳酸氢盐;和/或,所述的有机胺为单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺和四甲基氢氧化铵中的一种或多种;和/或,所述的缓冲剂为弱酸及其盐、碱及其盐和多元弱酸的酸式盐及其对应的次级盐配对的缓冲剂;和/或,所述的有机溶剂为砜类、醇类、醚类和烷烃类溶剂中的一种或多种;和/或,所述的表面活性剂为碳6烷基糖苷、碳8烷基糖苷、烷基醇醚和脂肪醇聚氧乙烯醚中的一种或多种。4.如权利要求3所述的低碱度环保电解去除溢料的溶液,其特征在于,所述的碳酸盐为碳酸钠和/或碳酸钾;和/或,所述的碳酸氢盐为碳酸氢钠;和/或,所述的弱酸为硼酸;和/或,所述的碱为无机强碱、氨水或无机弱碱;和/或,所述的多元弱酸的酸式盐为磷酸二氢钠;和/或,所述的缓冲剂中含有碱金属盐;和/或,所述的砜类溶剂为二甲基亚砜;和/或,所述的醇类溶剂为乙醇和/或异丙醇;和/或,所述的醚类溶剂为二乙二醇单丁醚和乙醚中的一种或多种;和/或,所述的烷烃类溶剂为石油醚。5.如权利要求1-4任一项所述的低碱度环保电解去除溢料的溶液,其特征在于,所述的原料还包括如下的活化剂,所述活化剂的质量分数为1-5%;所述的百分比是指活化剂的质量占所有原料组分的百分比;其中,x为8-20的任意整数,y为1或2;R1为C5-C12的正烷基、正庚基苯基、或正十二烷基苯基;R2为甲基或甲氧基,...
【专利技术属性】
技术研发人员:王溯,蒋闯,冯强强,
申请(专利权)人:上海新阳半导体材料股份有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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