晶棒检验系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种晶棒检验系统，其包括晶棒传输线、光检机构、移载机以及控制单元；晶棒传输线沿传输方向依次包括上料区、用于检测晶棒的检测区、以及用于将检测后的良品与不良品分开的分流区；所述光检机构设置在所述检测区上；所述移载机设置在所述分流区上；所述控制单元与所述晶棒传输线、所述光检机构、以及所述移载机电连接。上述晶棒检验系统，可以自动对晶棒传输线上的晶棒进行光检测，并在检测之后自动分流，整个过程不需要搬运，不需要人工使用游标卡尺和直角尺测量。上述晶棒检验系统能够自动检测、并且检测精度高、并且无须人工搬运，从而自动化程度高，有利于提升生产效率。

Crystal bar inspection system

The utility model relates to a crystal rod inspection system, which comprises a crystal bar transmission line, light detection mechanism, transfer machine and control unit; crystal rod transmission line comprises a feeding area for the detection area, detecting crystal bar and for good after the Triage area detection and bad products divided along the direction of transmission; the optical detecting mechanism is arranged in the detection area; the transfer machine is arranged in the diversion area; the control unit and the crystal rod transmission line, the optical inspection agency, and the transfer of electromechanical connection. The above crystal rod inspection system can automatically detect the crystal rods in the crystal rod transmission line, and automatically shunt after testing. The whole process does not need to be transported, and does not need to be measured manually using vernier calipers and square rulers. The above crystal rod inspection system can automatically detect, and has high detection accuracy and no manual handling, so that the automation level is high, which is conducive to improving production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
晶棒检验系统
本技术涉及光伏
，特别是涉及一种晶棒检验系统。
技术介绍
在硅片制造工厂中，晶棒检验工序是晶棒制造过程中一个重要的环节。目前，在硅片制造工厂中，对晶棒的尺寸和垂直度的检测，主要依靠人工使用游标卡尺和直角尺测量。但是，人工检测的随意性比较大，检测精度较差，不能满足光伏行业对生产效率和产品质量越来越高的要求。另外，目前晶棒检验工序中，需要多次人工搬运且自动化程度低，也严重影响生产效率的提高。
技术实现思路
基于此，有必要针对现有晶棒检验工序中的问题，提供一种能够机械自动检测、减少搬运次数、提高自动化的晶棒检验系统。一种晶棒检验系统，包括：晶棒传输线，用于传输晶棒；所述晶棒传输线沿传输方向依次包括上料区、用于检测晶棒的检测区、以及用于将检测后的良品与不良品分开的分流区；光检机构，用于检测晶棒；所述光检机构设置在所述检测区上；移载机，用于移载出不良品；所述移载机设置在所述分流区上；以及控制单元，用于控制所述晶棒传输线、所述光检机构、以及所述移载机；所述控制单元与所述晶棒传输线、所述光检机构、以及所述移载机电连接。上述晶棒检验系统，可以自动对晶棒传输线上的晶棒进行光检测，并在检测之后自动分流，整个过程不需要搬运，不需要人工使用游标卡尺和直角尺测量。上述晶棒检验系统能够自动检测、并且检测精度高、并且无须人工搬运，从而自动化程度高，有利于提升生产效率。在其中一个实施例中，所述光检机构包括用于检测晶棒长度的长度检测子机构、以及用于检测晶棒横截面的对角线和垂直度的横截面检测子机构。在其中一个实施例中，所述长度检测子机构与所述横截面检测子机构沿传输方向依次位于在所述检测区上。在其中一个实施例中，所述长度检测子机构采用四面光纤检测；所述横截面检测子机构采用激光检测。在其中一个实施例中，所述晶棒检验系统还包括用于对晶棒的端面打标记的标记机构，所述标记机构设置在所述检测区上。在其中一个实施例中，所述晶棒检验系统还包括用于感应晶棒是否到达检测位的触点感应器、以及用于当晶棒到达检测位时将晶棒顶起的限位组件；所述触点感应器与所述限位组件及所述光检机构电连接。在其中一个实施例中，所述晶棒检验系统还包括上料机构，所述上料机构设置在所述上料区上。在其中一个实施例中，所述上料机构包括用于将晶棒移放到所述上料区上的机械手。在其中一个实施例中，所述晶棒传输线为滚筒传输线。在其中一个实施例中，所述滚筒传输线的滚筒为包胶滚筒。附图说明图1为本技术一实施方式的晶棒检验系统的俯视示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合具体实施方式，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。参见图1，本技术一实施方式的晶棒检验系统1000，包括晶棒传输线100、光检机构200、移载机300以及控制单元。其中，晶棒传输线100的主要作用是，用于传输晶棒。晶棒传输线100沿传输方向依次包括上料区110、用于检测晶棒的检测区120、以及用于将检测后的良品与不良品分开的分流区130。也就是说，在晶棒传输线100上，沿着传输方向，上料区110、检测区120、以及分流区130依次排布。在本实施例中，晶棒传输线100为滚筒传输线。更优选地，滚筒传输线的滚筒101为包胶滚筒。这样在传输过程中，晶棒与滚筒101之间不是刚性接触，包胶滚筒可以对晶棒进行缓冲，可以有效保护晶棒，从而防止晶棒损伤，减少传输对晶棒的损害。为了进一步提高传输的稳定性，滚筒传输线除了底部的滚筒101外，还设有位于侧面、对晶棒侧面进行夹持滚动的侧滚轮102。这样可以避免晶棒在传输过程中左右晃动。更优选地，其中一侧或两侧的侧滚轮102左右位置可调。具体地，在侧滚轮102的滚轮架的底面上设有长条形固定孔(未示出)，滚轮架通过该长条形固定孔被固定。通过长条形固定孔可以实现侧滚轮102的左右移动，从而可以适应不同宽度或不同形状的晶棒的传输。当然，可以理解的是，本技术并不局限于包胶滚筒，亦可以是其它滚筒；也不局限于滚筒传输线，亦可以是其它传输线。其中，光检机构200的主要作用是，用于检测晶棒。光检机构200设置在检测区120上。在本实施例中，光检机构200包括用于检测晶棒长度的长度检测子机构210、以及用于检测晶棒横截面的对角线和垂直度的横截面检测子机构220。优选地，长度检测子机构210与横截面检测子机构220沿传输方向依次位于在检测区120上。也就是说，晶棒沿晶棒传输线100先经过长度检测子机构进行长度检测，然后经过横截面检测子机构220进行横截面的对角线和垂直度的检测。优选地，长度检测子机构210采用四面光纤检测。横截面检测子机构220采用激光检测。更优选地，长度检测子机构210与横截面检测子机构220均选择红外检测。当然，可以理解的是，本技术的检测区120并布局限于只设置光检机构，还可以集成晶棒杂质检测机构、电学性能检测机构等其它晶棒检测机构。优选地，晶棒检验系统1000还包括用于对晶棒的端面打标记的标记机构(未示出)，标记机构设置在检测区120上。更进一步地，标记机构包括带有金刚石的锯条，也就是说，通过带有金刚石的锯条在晶棒的端面进行打标记操作。在本实施例中，晶棒检验系统1000还包括用于感应晶棒是否到达检测位的触点感应器410、以及用于当晶棒到达检测位时将晶棒顶起的限位组件(未示出)，限位触点感应器410与限位组件以及光检机构200电连接。当晶棒沿晶棒传输线100移动到检测位时，触点感应器410检测到晶棒到达检测位，然后限位组件将晶棒顶起使晶棒的底面与滚筒脱离，此时晶棒不再受到晶棒传输线100的传输力，不再向前继续移动。接着光检机构200对晶棒进行检测，检测完毕之后，晶棒被限位组件放下，晶棒又沿晶棒传输线100向前移动。优选地，检测区120的长度为100-600mm，这样既可以有足够的空间设置光检机构200，还可以节省整个装置的占地面积，结构更加紧凑。为了适应不同宽度的晶棒，光检机构200的一端或两端的左右位置可调，以避免更好地使用不同晶棒的检测。其中，移载机300的主要作用是，用于将检测后的不良品移载出来，从而将良品和不良品分离开来。移载机300设置在分流区130上。移载机300的具体结构，本领域技术人员可以根据具体实际情况选择公知的各种移载机机构，在此不再赘述。优选地，在移载机300附近设置有保护罩310。保护罩310可以对人员起到防护作用，避免人员受伤，同时保护罩310还可以防止晶棒掉落到地上等意外的发生。在分流区的后面，晶棒传输线100分为两条传输子线，一条用于传输良品，该条与前面的上料区110、检测区120、以及分流区130一条线延伸；另一条用于传输不良品，该条与传输良品的传输子线平行设置。其中，控制单元的主要作用是，用于控制晶棒传输线100、光检机构200、以及移载机3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶棒检验系统，其特征在于，包括：晶棒传输线，用于传输晶棒；所述晶棒传输线沿传输方向依次包括上料区、用于检测晶棒的检测区、以及用于将检测后的良品与不良品分开的分流区；光检机构，用于检测晶棒；所述光检机构设置在所述检测区上；移载机，用于移载出不良品；所述移载机设置在所述分流区上；以及控制单元，用于控制所述晶棒传输线、所述光检机构、以及所述移载机；所述控制单元与所述晶棒传输线、所述光检机构、以及所述移载机电连接。

【技术特征摘要】
1.一种晶棒检验系统，其特征在于，包括：晶棒传输线，用于传输晶棒；所述晶棒传输线沿传输方向依次包括上料区、用于检测晶棒的检测区、以及用于将检测后的良品与不良品分开的分流区；光检机构，用于检测晶棒；所述光检机构设置在所述检测区上；移载机，用于移载出不良品；所述移载机设置在所述分流区上；以及控制单元，用于控制所述晶棒传输线、所述光检机构、以及所述移载机；所述控制单元与所述晶棒传输线、所述光检机构、以及所述移载机电连接。2.根据权利要求1所述的晶棒检验系统，其特征在于，所述光检机构包括用于检测晶棒长度的长度检测子机构、以及用于检测晶棒横截面的对角线和垂直度的横截面检测子机构。3.根据权利要求2所述的晶棒检验系统，其特征在于，所述长度检测子机构与所述横截面检测子机构沿传输方向依次位于在所述检测区上。4.根据权利要求2所述的晶棒检验系统，其特征在于，所述长度检测子机构采用四面光纤检测；所...

【专利技术属性】
技术研发人员：申世峰，
申请(专利权)人：常州协鑫光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32