反作用力消除平台装置制造方法及图纸

一种反作用力消除平台装置，包含一个底座单元、一个设置于该底座单元的基座单元、一个移动载台单元、一个反作用力消除单元及一个控制单元。该移动载台单元可移动地设置于该基座单元，且包括一个主动子座、至少一个用来驱动该主动子座移动的主驱动件，及一个连接该主动子座的载台。该反作用力消除单元包括至少一个连接该主驱动件的反驱动件，及至少一个连接于该反驱动件与该底座单元间的反动子座，该反驱动件用来驱动该反动子座移动，从而反向带动该主驱动件移动。该控制单元电连接各主驱动件及各反驱动件，且用来控制该主驱动件及该反驱动件的驱动模式。

Counterforce elimination platform device

【技术实现步骤摘要】
反作用力消除平台装置
本专利技术涉及一种应用于机械、电子、光电等产业而作为承载、量测用的平台装置，特别是涉及一种反作用力消除平台装置。
技术介绍
参阅图1，如美国专利号US6906786B2及US7502103B2专利案所公开的一种平台装置9，主要包含一个底座91、一个可移动地设置于该底座91上的质量平衡基座92、一个可移动地设置于该质量平衡基座92上的载台93、一个连接于该质量平衡基座92与该载台93间且用来驱动该载台93移动的驱动单元94，及一个连接于该底座91与该质量平衡基座92间的弹簧阻尼组95。其中，该驱动单元94驱动该载台93移动过程中所产生的反作用力会施于该质量平衡基座92，该质量平衡基座92通过其质量远大于该载台93及该驱动单元94的质量，来大幅降低对于前述反作用力对其运作所产生的加速度移动量，该质量平衡基座92受前述反作用力作用所产生位移则通过该弹簧阻尼组95进行缓冲抵消。然而，上述平台装置9的缺点在于该驱动单元94驱动该载台93所产生的反作用力是全部且直接冲击于该质量平衡基座92，造成该质量平衡基座92的稳定度无法保持于高水平稳定，再者该质量平衡基座92重量重且体积大，致使该平台装置9的整体的体积大小无法有效缩小，且提高元件间安装配置的困难度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种至少克服先前技术所述缺点的反作用力消除平台装置。本专利技术的反作用力消除平台装置，包含一个底座单元、一个基座单元、一个移动载台单元、一个反作用力消除单元，及一个控制单元。该底座单元具有一个底座，该基座单元设置于该底座单元，且包括一个设置于该底座上方的基座，及一个连接于该基座与该底座间的隔震组。该移动载台单元可移动地设置于该基座，且包括一个主动子座、至少一个用来驱动该主动子座移动的主驱动件，及一个连接该主动子座的载台。该反作用力消除单元包括至少一个连接该主驱动件的反驱动件，及至少一个连接于该反驱动件与该底座单元间的反动子座，该反驱动件用来驱动该反动子座移动，从而反向带动该主驱动件移动。该控制单元电连接该主驱动件及该反驱动件，且用来控制该主驱动件及该反驱动件的驱动模式，该控制单元可读取该主驱动件相对该主动子座及该反驱动件相对该反动子座的随时间变化的位置资讯，且将上述位置资讯处理成加速度资讯。当该主驱动件相对于该主动子座产生一加速度移动时，该控制单元控制该反驱动件对于该主驱动件产生一方向相反于该加速度方向的作用力，以抵挡消除该加速度。较佳地，该移动载台单元还包括至少一个连接于该载台与该主动子座间的副驱动件；该主驱动件用来驱动该主动子座沿一个第一方向移动，该副驱动件用来驱动该载台沿一个垂直该第一方向的第二方向移动，该反驱动件用来驱动该反动子座沿该第一方向移动。较佳地，该基座具有一个相对该底座的底面及一个相反该底面的顶面；该基座的该顶面凹陷形成有两个分别位于左右两相反侧部且沿该第一方向延伸的滑设沟槽，及凸伸形成两个分别位于所述滑设沟槽外侧且沿该第一方向延伸的线轨；该主动子座具有一个围绕界定形成一沿该第二方向延伸且供该载台滑设的滑设空间的座体，及两个分别连接该座体的两相反侧部且分别滑设于该基座的所述滑设沟槽的滑块；该移动载台单元的主驱动件数量为两个且分别滑设于该基座的所述线轨，且分别连接该主动子座的所述滑块。较佳地，该移动载台单元还包括一个气浮设置于该基座的该顶面的气浮支座组，该主动子座及该载台皆设置于该气浮支座组而浮于该基座的该顶面上方。较佳地，该主驱动件及该反驱动件各别为一个线性伺服马达。较佳地，该反作用力消除单元还包括一个连接于该反动子座与该底座单元间的第一绞链组。较佳地，该反作用力消除单元还包括一个连接于该反动子座与该第一绞链组间的第二绞链组。本专利技术的有益效果在于：通过该反作用力消除单元来即时抵挡消除该主驱动件驱动该主动子座所产生的反作用力，从而将上述反作用力直接向外导引至该底座单元，能有效降低上述反作用力对于该基座的直接冲击影响，以大幅提升该基座的稳定性。另外，在上述反作用力对于该基座冲击极小的情况下，该基座则无须具有如现有平台装置的质量平衡基座的大质量来平衡缓冲上述反作用力，因此能有效缩小该基座的体积质量，以降低平台装置元件间安装配置的困难度及限制。附图说明本专利技术的其他的特征及功效，将于参照图式的实施方式中清楚地呈现，其中：图1是一侧视示意图，说明现有一个平台装置的元件组成态样；图2是本专利技术反作用力消除平台装置的一个第一实施例的一个立体图；图3是该第一实施例的一个俯视图；图4是该第一实施例的一个前侧视图；图5是一个示意图，说明该第一实施例的一个控制单元电连接各主驱动件、各副驱动件及各反驱动件；图6是本专利技术反作用力消除平台装置的一个第二实施例的一个立体图；图7是该第二实施例的一个俯视图；图8是该第二实施例的一个前侧视图。具体实施方式在本专利技术被详细描述前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。参阅图2、图3及图4，本专利技术反作用力消除平台装置的一个第一实施例，包含一个底座单元1、一个基座单元2、一个移动载台单元3、一个反作用力消除单元4，及一个控制单元5(见图5)。该底座单元1包括一个具有相反设置的一个底面111及一个顶面112的底座11，及两个分别设置于该底座11的左右两侧部且向上延伸的侧延伸块12。该基座单元2设置于该底座单元1，且包括一个位于该底座11的该顶面112上方且位于所述侧延伸块12间的基座21，及一个连接于该基座21与该底座11间的隔震组22。该基座21具有相反设置的一个底面211及一个顶面212，该基座21的该底面211相对该底座11的该顶面112，该基座21的该顶面212凹陷形成有两个分别位于左右两相反侧部且沿一个第一方向X(前后方向)延伸的滑设沟槽213，及凸伸形成两个分别位于所述滑设沟槽213外侧且沿该第一方向X延伸的线轨214。在本实施例中，该隔震组22具有分别对应该基座21的四个角落处的主动式隔震支座221。该移动载台单元3可移动地设置于该基座21，且包括一个气浮支座组31、一个主动子座32、两个主驱动件33、一个载台34，及两个副驱动件35。该气浮支座组31气浮设置于该基座21的该顶面212。该主动子座32设置于该气浮支座组31而浮于该基座21的该顶面212上方，且具有一个围绕界定形成一个沿一个垂直该第一方向X的第二方向Y(左右方向)延伸的滑设空间320的座体321，及两个分别连接该座体321的左右两相反侧部且分别滑设于该基座21的所述滑设沟槽213的滑块322。所述主驱动件33分别滑设于该基座21的所述线轨214，且分别连接该主动子座32的所述滑块322，并相配合用来驱动该主动子座32沿该第一方向X移动。该载台34设置于该气浮支座组31而浮于该基座21的该顶面212上方且位于该滑设空间320内。所述副驱动件35分别连接于该载台34的前后两相反侧部与该主动子座32的该座体321间，且相配合用来驱动该载台34沿该第二方向Y移动。在本实施例中，该气浮支座组31具有多个分别对应该载台34的四个角落处、该主动子座32的该座体321的四角落处及该主动子座32的所述滑块322与该基座21滑设处的气浮支座311，各气浮支座311为一个空气轴承，各主驱动件33为一个线性伺本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反作用力消除平台装置，包含一个底座单元、一个基座单元、一个移动载台单元、一个反作用力消除单元，及一个控制单元，该底座单元具有一个底座，该基座单元设置于该底座单元，且包括一个设置于该底座上方的基座，及一个连接于该基座与该底座间的隔震组，该移动载台单元可移动地设置于该基座，且包括一个主动子座、至少一个用来驱动该主动子座移动的主驱动件，及一个连接该主动子座的载台，其特征在于：该反作用力消除单元包括至少一个连接该主驱动件的反驱动件，及至少一个连接于该反驱动件与该底座单元间的反动子座，该反驱动件用来驱动该反动子座移动，从而反向带动该主驱动件移动；以及该控制单元电连接各主驱动件及各反驱动件，且用来控制该主驱动件及该反驱动件的驱动模式，该控制单元可读取该主驱动件相对该主动子座及该反驱动件相对该反动子座的随时间变化的位置资讯，且将上述位置资讯处理成加速度资讯；当该主驱动件相对于该主动子座产生一加速度移动时，该控制单元控制该反驱动件对于该主驱动件产生一方向相反于该加速度方向的作用力，以抵挡消除该加速度。

【技术特征摘要】
1.一种反作用力消除平台装置，包含一个底座单元、一个基座单元、一个移动载台单元、一个反作用力消除单元，及一个控制单元，该底座单元具有一个底座，该基座单元设置于该底座单元，且包括一个设置于该底座上方的基座，及一个连接于该基座与该底座间的隔震组，该移动载台单元可移动地设置于该基座，且包括一个主动子座、至少一个用来驱动该主动子座移动的主驱动件，及一个连接该主动子座的载台，其特征在于：该反作用力消除单元包括至少一个连接该主驱动件的反驱动件，及至少一个连接于该反驱动件与该底座单元间的反动子座，该反驱动件用来驱动该反动子座移动，从而反向带动该主驱动件移动；以及该控制单元电连接各主驱动件及各反驱动件，且用来控制该主驱动件及该反驱动件的驱动模式，该控制单元可读取该主驱动件相对该主动子座及该反驱动件相对该反动子座的随时间变化的位置资讯，且将上述位置资讯处理成加速度资讯；当该主驱动件相对于该主动子座产生一加速度移动时，该控制单元控制该反驱动件对于该主驱动件产生一方向相反于该加速度方向的作用力，以抵挡消除该加速度。2.根据权利要求1所述的反作用力消除平台装置，其特征在于：该移动载台单元还包括至少一个连接于该载台与该主动子座间的副驱动件；该主驱动件用来驱动该主动子座沿一个第一方向移动，该副驱动件用来驱动该载台沿一个垂直该第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：林耘玮，
申请(专利权)人：大银微系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71