【技术实现步骤摘要】
一种激光设备中激光加工工位水平调节装置
本技术涉及激光加工领域,具体为一种激光设备中激光加工工位水平调节装置。
技术介绍
激光雕刻加工是激光系统最常用的应用。根据激光束与材料相互作用的机理,大体可将激光加工分为激光热加工和光化学反应加工两类。激光热加工是指利用激光束投射到材料表面产生的热效应来完成加工过程,包括激光焊接、激光雕刻切割、表面改性、激光镭射打标、激光钻孔和微加工等;光化学反应加工是指激光束照射到物体,借助高密度激光高能光子引发或控制光化学反应的加工过程。包括光化学沉积、立体光刻、激光雕刻刻蚀等。现有技术中太阳能激光设备中chuck(晶圆工作台面-真空吸盘)的水平度是一项非常重要的参数,目前调节水平的工具基本要伸到chuck的背部去调节,设备内部空间狭小操作极为不便,综上所述,现急需一种激光设备中激光加工工位水平调节装置来解决上述出现的问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术目的是提供一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题,本技术使用方便,操作简单,系统性高,实用性强。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,包括装置主体和水平调节机构,所述装置主体包括转盘本体、工作台面和吸盘组件,所述工作台面和吸盘组件均设有八个,八个所述工作台面均通过转盘连接件与转盘本体相连接,所述吸盘组件设置在工作台面上端面,所述水平调节机构包括安装底座、螺杆、上螺纹帽、碟簧和下螺纹帽,所述安装底座与转盘连接件固定连接,所述工作台面设置在安装底座上,所述吸盘组件、工作台面和安装底座侧端面开设有通孔,所 ...
【技术保护点】
一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,包括装置主体和水平调节机构,其特征在于:所述装置主体包括转盘本体(6)、工作台面(4)和吸盘组件(2),所述工作台面(4)和吸盘组件(2)均设有八个,八个所述工作台面(4)均通过转盘连接件(1)与转盘本体(6)相连接,所述吸盘组件(2)设置在工作台面(4)上端面;所述水平调节机构包括安装底座(5)、螺杆(31)、上螺纹帽(32)、碟簧(33)和下螺纹帽(34),所述安装底座(5)与转盘连接件(1)固定连接,所述工作台面(4)设置在安装底座(5)上,所述吸盘组件(2)、工作台面(4)和安装底座(5)侧端面开设有通孔(a),所述螺杆(31)穿过通孔(a),且螺杆(31)上端延伸至吸盘组件(2)外,且螺杆(31)下端延伸至安装底座(5)外,所述螺杆(31)上端装配有上螺纹帽(32),所述螺杆(31)下端装配有下螺纹帽(34),所述安装底座(5)和工作台面(4)之间设置有碟簧(33)。
【技术特征摘要】
1.一种激光设备中激光加工工位水平调节装置,包括装置主体和水平调节机构,其特征在于:所述装置主体包括转盘本体(6)、工作台面(4)和吸盘组件(2),所述工作台面(4)和吸盘组件(2)均设有八个,八个所述工作台面(4)均通过转盘连接件(1)与转盘本体(6)相连接,所述吸盘组件(2)设置在工作台面(4)上端面;所述水平调节机构包括安装底座(5)、螺杆(31)、上螺纹帽(32)、碟簧(33)和下螺纹帽(34),所述安装底座(5)与转盘连接件(1)固定连接,所述工作台面(4)设置在安装底座(5)上,所述吸盘组件(2)、工作台面(4)和安装底座(5)侧端面开设有通孔(a),所述螺杆(31)穿过通孔(a),且螺杆(31)上端延伸至吸盘组件(2)外,且螺杆(31)下端延伸至安装底座(5)外,所述螺杆(31)上端装配有上螺纹帽(32...
【专利技术属性】
技术研发人员:张亚运,
申请(专利权)人:常州雷射激光设备有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。