线形光照射装置制造方法及图纸

为了提供一种防止线形光的线宽变宽而提高测定精度的线形光照射装置，线形光照射装置具备：直线状地排列的多个LED；聚光构件，其会聚从所述各LED射出的光；以及形成有第1狭缝的第1狭缝构件，所述第1狭缝沿着排列有所述多个LED的排列方向延伸，并且使从所述各LED射出的光的一部分通过，所述线形光照射装置的特征在于，将在所述排列方向上隔出间隔地配置的多个光遮断构件一体地设置于所述第1狭缝构件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】线形光照射装置
本专利技术例如涉及一种在检查被检查物的表面形状时使用的线形光照射装置。
技术介绍
在被检查物的表面形状的检查方法中，存在光切断法，该光切断法是将线宽非常细的线形光照射到被检查物，并根据用区域传感器等拍摄由被检查物反射了的光而得到的结果来检查表面形状的方法，作为在该光切断法中使用的线形光照射装置，例如，存在专利文献1记载的装置。该专利文献1的装置具备：多个LED，其直线状地排列；狭缝板，其配置于多个LED的光射出侧，并且具备在LED的排列方向上延伸的狭缝状的光射出窗(下面，也称为狭缝)；以及柱面透镜，其会聚通过了狭缝的光。并且，利用狭缝将从LED射出的光转换成线状的光，用聚光透镜会聚通过狭缝后的光，从而生成线宽非常细的线形光。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2001－215115号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题但是，虽然从各LED射出的光在包括作为LED的排列方向(狭缝的延伸方向)的X方向、作为狭缝的宽度方向的Y方向以及作为LED的光轴方向的Z方向的所有方向上扩展，但如图8所示，在X方向上扩展的光通过狭缝而前进。此时，在X方向上扩展的光与在光轴上前进的朝向Z方向的光相比，直至到达柱面透镜等聚光透镜为止的距离会变长。因此，在X方向上扩展的光与朝向Z方向的光相比，入射到聚光透镜的光会在Y方向上扩展，另外，在X方向上扩展的光与向Z方向的光相比，聚光透镜的像差也容易变大，所以，聚光透镜的聚光位置会变化，难以使线形光的线宽恒定。此外，这样的问题在光的前进距离变长的特别是线形光的两端部显著，该两端部处的线宽与中央部相比容易变粗。其结果，难以高精度地测定被检查物。另外，近年来，存在希望一次性地检查大型的被检查物这样的要求，为了应对该要求，需要使线形光的X方向的长度比被检查物长。但是，如果使狭缝在X方向上变长，则既难以将狭缝宽度维持于恒定，也会受到狭缝板的挠曲的影响。另外，在将多个构件组合而形成狭缝的情况下，由于在组装它们时、安装它们时发挥作用的力等，有时也会产生狭缝宽度的不均匀。由此，也无法使线形光的线宽恒定，其结果，与上述同样地，存在导致测定精度降低这样的问题。本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其主要技术问题在于，提供一种防止线形光的线宽变宽并能够使线宽恒定的线形光照射装置。解决技术问题的技术手段本专利技术的线形光照射装置照射线状的光，所述线形光照射装置的特征在于，具备：直线状地排列的多个LED；聚光构件，其会聚从所述各LED射出的光；以及形成有第1狭缝的第1狭缝构件，所述第1狭缝沿着排列有所述多个LED的排列方向延伸，并且使从所述各LED射出的光的一部分通过，将在所述排列方向上隔出间隔地配置的多个光遮断构件一体地设置于所述第1狭缝构件。由于这样在排列方向上隔出间隔地设置多个光遮断构件，所以，光遮断构件将相对于LED的光轴方向按规定角度以上的角度在排列方向上扩展的光遮断，仅使以LED的光轴为中心的规定角度范围内的光通过到聚光构件侧。因此，能够防止由于在LED的排列方向上扩展并且也在第1狭缝的宽度方向上扩展的光而导致线形光的线宽变宽，能够使该线宽恒定。由此，例如能够提高被检查物的测定精度。另外，由于一体地设置光遮断构件和第1狭缝构件而提高了第1狭缝构件的刚性，所以，即使使第1狭缝的延伸方向(LED的排列方向)的长度变长，也能够防止第1狭缝的开口宽度变宽。由此，例如也能够防止被检查物的测定精度劣化。进一步地，由于将光遮断构件一体地设置于第1狭缝构件，所以，与由不同构件构成它们的情况相比，能够减少构件件数。作为本专利技术的线形光照射装置的一个具体方式，能够列举以下的方式：所述第1狭缝构件由所述第1狭缝在厚度方向上贯通而成的平板状的构件构成，所述各光遮断构件由横穿所述第1狭缝并且相对于所述第1狭缝构件的表面立起的板状体构成。当光被第1狭缝构件遮断时，由于被遮断的光，该第1狭缝构件会发热，但由于与它一体地设置的光遮断构件会作为散热翅片而发挥功能，所以，能够由光遮断构件对第1狭缝构件的热进行散热。由此，能够防止第1狭缝构件的热变形，并防止由于该热变形而导致第1狭缝的开口宽度变得不均匀。另外，作为本专利技术的线形光照射装置的另一个具体方式，能够列举以下的方式：所述各光遮断构件通过弯曲加工，形成为横穿所述第1狭缝并且相对于所述第1狭缝构件的表面立起的状态。如果如上所述地构成，则例如通过对1个构件实施弯曲加工，能够构成第1狭缝构件以及一体地设置于该第1狭缝构件的光遮断构件，所以，能够以低成本构成线形光照射装置。另外，作为本专利技术的线形光照射装置的另一个具体方式，能够列举以下的方式：所述第1狭缝构件由所述第1狭缝在厚度方向上贯通而成的平板状的构件构成，所述多个光遮断构件以分隔所述第1狭缝的方式配置于其内部。如果这样构成，则由于将光遮断构件配置于狭缝的内部，所以，与将光遮断构件设置于第1狭缝构件的外侧的情况相比，能够进一步地使装置小型化。另外，作为本专利技术的线形光照射装置的另一个具体方式，能够列举以下的方式：所述第1狭缝构件配置于所述多个LED与所述聚光构件之间，所述光遮断构件配置于所述聚光构件侧。如果这样构成，则与将光遮断构件配置于LED侧时相比，能够使更多的光通过狭缝，能够提高光的利用效率，并且能够谋求省空间化。另外，作为本专利技术的线形光照射装置的另一个具体方式，能够列举以下的方式：还具备形成有第2狭缝的第2狭缝构件，所述第2狭缝使由所述聚光构件会聚后的光的一部分通过。通过这样还具备第2狭缝构件，能够进一步地调整线形光的线宽，能够得到更细并且光的照射部与非照射部的边界明确的线形光。此外，关于第2狭缝与第1狭缝的狭缝宽度的关系，优选为相同或者第1狭缝的狭缝宽度较小，这是由于，如果不预先利用离光源更近的第1狭缝来控制线形光的线宽，则利用离光源远的光学系统(聚光构件、第2狭缝)往往无法完全控制，有时得不到希望得到的线形光的线宽。但是，在本专利技术中，并非排除第2狭缝比第1狭缝大的情况。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种防止线形光的线宽变宽并能够使线宽恒定的线形光照射装置。附图说明图1是还包括内部构造地示出第1实施方式中的线形光照射装置的立体图。图2是示出第1实施方式中的线形光照射装置的示意图。图3是示出第1实施方式中的线形光照射装置的光的轨迹的示意图。图4是示出第1实施方式中的第1狭缝板以及光遮断板的立体图。图5是示出第2实施方式中的第1狭缝板以及光遮断构件的立体图。图6的(a)是示出第3实施方式中的第1狭缝板以及光遮断板的表面侧的立体图。图6的(b)是示出第3实施方式中的第1狭缝板以及光遮断板的背面侧的立体图。图7是示出第3实施方式中的第1狭缝板以及光遮断板的制造过程的示意图。图8是示出以往的线形光照射装置的示意图。符号说明1···线形光照射装置2···LED3···聚光透镜4···光遮断板5···第2狭缝板11···多个狭缝12···第1狭缝板13···散热翅片。具体实施方式下面，参照附图，说明本专利技术的线形光照射装置的实施方式。此外，作为本专利技术的线形光照射装置的用途，不限于检查被检查物，还能够应用于利用紫外光的硬化、干燥等，不受任何限定。＜第1实施方式＞如图1、2、3所示，第1实施方式的线形光照射装置1具备直线状地排列的多本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种线形光照射装置，其照射线状的光，所述线形光照射装置的特征在于，具备：直线状地排列的多个LED；聚光构件，其会聚从所述各LED射出的光；以及形成有第1狭缝的第1狭缝构件，所述第1狭缝沿着排列有所述多个LED的排列方向延伸，并且使从所述各LED射出的光的一部分通过，将在所述排列方向上隔出间隔地配置的多个光遮断构件一体地设置于所述第1狭缝构件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.07.29 JP 2015-1492051.一种线形光照射装置，其照射线状的光，所述线形光照射装置的特征在于，具备：直线状地排列的多个LED；聚光构件，其会聚从所述各LED射出的光；以及形成有第1狭缝的第1狭缝构件，所述第1狭缝沿着排列有所述多个LED的排列方向延伸，并且使从所述各LED射出的光的一部分通过，将在所述排列方向上隔出间隔地配置的多个光遮断构件一体地设置于所述第1狭缝构件。2.根据权利要求1所述的线形光照射装置，其特征在于，所述第1狭缝构件由所述第1狭缝在厚度方向上贯通而成的平板状的构件构成，所述各光遮断构件由横穿所述第1狭缝并且相对于所述第1狭缝构件...

【专利技术属性】
技术研发人员：樱井显治，
申请(专利权)人：CCS株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP