The invention discloses a CMP polishing agent and its manufacturing method, including carbon ball grinding particles and protective agent, protective agent by hydrolysis of milk protein, polyethylene glycol, Ethylparaben, isopropanol, myristic acid, salicylic acid and the balance of water. The abrasive particles of carbon spheres, for diameter of 5 80 nano carbon ball. A method for manufacturing a CMP polishing agent, which is characterized in that 1) take the proper proportion of hydrolyzed milk protein, Ethylparaben, isopropanol, myristic acid, salicylic acid and water, mixing organic solution at room temperature; 2) in organic solution gradually adding polyethylene glycol and stirred continuously adjust the viscosity of the solution; 3) solution with carbon ball abrasive particles, stirring to form a suspended oscillation. In the CMP step of the invention, the defects such as the scraping of the organic semiconductor layer can be reduced.
【技术实现步骤摘要】
CMP研磨剂及其制造方法
本专利技术涉及CMP研磨剂及其制造方法。
技术介绍
在现在的超大规模集成电路中,有提高安装密度的趋势,正在研究和开发着各种微细加工技术。设计规则已经成为亚半微米级。为了满足这样严格的微细化要求而开发的技术之一有CMP(化学机械研磨)技术。此技术在半导体装置的制造工序中可以完全地平坦化要实施曝光的层,减轻曝光技术的负担,稳定成品率。因此是进行例如层间绝缘膜、BPSG膜的平坦化,浅沟槽隔离等时的必须技术。化学机械研磨(CMP)步骤是将含有研磨粒子的浆料投到基板上,使用已安装在研磨装置上的研磨垫而进行。此时,研磨粒子承受来自研磨装置的压力,而机械地研磨表面,浆料所含的化学成分与基板的表面起化学反应,而化学地除去基板的表面部位。一般来说,用于化学机械研磨(CMP)的浆料,根据除去对象的膜的种类或特性,而有各式各样的种类。作为使用的研磨粒子,有氧化硅(SiO2)、氧化铈(CeO2)、氧化铝(Al2O3)、氧化钛(TiO2)、氧化锆(ZrO2)等,能够根据研磨对象膜而选择性使用研磨粒子。在过去,作为用于将氧化硅膜等的绝缘膜平坦化的化学机械研磨(CMP)用的浆料,一般探讨使用氧化硅类的浆料。氧化硅类的浆料是通过下述方式制造:将氧化硅粒子通过四氯化硅的热分解而使粒子成长,以氨等的不含碱性金属的碱性溶液进行pH值调整。此外,作为氧化硅膜(硅的氧化膜)等的无机绝缘膜的化学机械研磨(CMP)浆料,使用一种含有氧化铈粒子以作为研磨粒子的氧化铈浆料。因为氧化铈粒子的硬度比氧化硅粒子和氧化铝粒子低,所以研磨后的膜表面难以发生伤痕等的缺陷,而被认为是有用的。此 ...
【技术保护点】
一种CMP研磨剂,其包括碳球研磨粒子和保护剂,所述CMP研磨剂的特征在于,所述保护剂由水解乳蛋白、聚乙二醇、羟苯乙酯、异丙酮、肉豆蔻酸、水杨酸以及余量的水组成。
【技术特征摘要】
1.一种CMP研磨剂,其包括碳球研磨粒子和保护剂,所述CMP研磨剂的特征在于,所述保护剂由水解乳蛋白、聚乙二醇、羟苯乙酯、异丙酮、肉豆蔻酸、水杨酸以及余量的水组成。2.如权利要求1所述的CMP研磨剂,其中,所述的碳球研磨粒子,可为直径为5-80纳米的碳球,占研磨剂总含量的30-35%。3.如权利要求1所述的CMP研磨剂,其中,所述的保护剂中水解乳蛋白占15-25%。4.如权利要求1所述的...
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