一种钛铝合金靶材的制备方法技术

本发明专利技术公开的一种钛铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将钛粉和铝粉均匀混合后利用等静压机压制成坯块；将坯块在真空环境下加压烧结得到预制坯锭；将所述坯锭进行退火处理，即得所述钛铝合金靶材。本发明专利技术的一种钛铝合金靶材的制备方法解决了现有的钛铝合金靶材制备存在的效果不好、工艺复杂的问题。本发明专利技术的一种钛铝合金靶材首先选取粒径小、纯度较高的钛粉和铝粉混合后进行等静压处理，已得到致密度高的坯块，然后对其进行真空加压烧结、超声清洗后，制备得到钛铝合金靶材，其制备工艺简单，制备得到的钛铝合金靶材致密度高、溅射效果好。

A preparation method of titanium aluminum alloy target

【技术实现步骤摘要】
一种钛铝合金靶材的制备方法
本专利技术属于靶材制备
，具体涉及一种钛铝合金靶材的制备方法。
技术介绍
随着电子工业以及靶材溅射工艺的发展，越来越多的材料需要进行镀层处理以得到更优的效果，而钛铝合金由于其高强度、耐磨性的特性，使得其成为很多材料所需的靶材，但是现有的钛铝合金靶材制备过程中存在靶材致密度较低、制备工艺复杂陈本高的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种钛铝合金靶材的制备方法，解决了现有的钛铝合金靶材制备存在的效果不好、工艺复杂的问题。本专利技术所采用的技术方案是：一种钛铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：步骤1，将钛粉和铝粉均匀混合；步骤2，利用等静压机压制成坯块；步骤3，将坯块在真空环境下加压烧结得到预制坯锭；步骤4，将所述坯锭进行退火处理，即得所述钛铝合金靶材。本专利技术的特点还在于，步骤4中对所述坯锭进行退火处理后，还进行超声清洗。步骤1中钛粉和铝粉的质量比为3-4:1。钛粉为0级海绵钛，且所述钛粉和铝粉的粒径均为50-100um。步骤3中利用真空热压烧结炉对所述坯块进行加压烧结，加压压强为50-80MPa，烧结温度为1500℃-1650℃。步骤4中退火温度为400℃-600℃，保温时间为2h-4h。本专利技术的有益效果是：本专利技术的一种钛铝合金靶材的制备方法解决了现有的钛铝合金靶材制备存在的效果不好、工艺复杂的问题。本专利技术的一种钛铝合金靶材首先选取粒径小、纯度较高的钛粉和铝粉混合后进行等静压处理，已得到致密度高的坯块，然后对其进行真空加压烧结、超声清洗后，制备得到钛铝合金靶材，其制备工艺简单，制备得到的钛铝合金靶材致密度高、溅射效果好。具体实施方式本专利技术提供的一种钛铝合金靶材的制备方法包括以下步骤：步骤1，按照将3-4:1的质量比分别称取钛粉和铝粉、然后均匀混合，其中，钛粉为0级海绵钛，且钛粉和铝粉的粒径均为50-100um；步骤2，利用等静压机将其压制成坯块；步骤3，利用真空热压烧结炉对坯块进行加压烧结得到坯锭，其中加压压强为50-80MPa，烧结温度为1500℃-1650℃；步骤4，将坯锭进行退火处理，退火温度为400℃-600℃，保温时间为2h-4h，即得钛铝合金靶材。优选的，步骤4中对坯锭进行退火处理后，还进行超声清洗。下面结合具体实施方式对本专利技术进行详细说明。实施例1本实施例提供的一种钛铝合金靶材的制备方法包括以下步骤：步骤1，按照3：1的质量比分别称取钛粉和铝粉、然后均匀混合，其中，钛粉为0级海绵钛，且钛粉和铝粉的粒径均为50um；步骤2，利用等静压机将其压制成坯块；步骤3，利用真空热压烧结炉对坯块进行加压烧结得到坯锭，其中加压压强为80MPa，烧结温度为1500℃；步骤4，将坯锭进行退火处理，退火温度为400℃，保温时间为2h，退火处理完成后再对其进行超声清洗，即得钛铝合金靶材。实施例2本实施例提供的一种钛铝合金靶材的制备方法包括以下步骤：步骤1，按照将3.5:1的质量比分别称取钛粉和铝粉、然后均匀混合，其中，钛粉为0级海绵钛，且钛粉和铝粉的粒径均为70um；步骤2，利用等静压机将其压制成坯块；步骤3，利用真空热压烧结炉对坯块进行加压烧结得到坯锭，其中加压压强为50MPa，烧结温度为1600℃；步骤4，将坯锭进行退火处理，退火温度为500℃，保温时间为3h，退火处理后还进行超声清洗，即得钛铝合金靶材。实施例3本实施例提供的一种钛铝合金靶材的制备方法包括以下步骤：步骤1，按照将4:1的质量比分别称取钛粉和铝粉、然后均匀混合，其中，钛粉为0级海绵钛，且钛粉和铝粉的粒径均为100um；步骤2，利用等静压机将其压制成坯块；步骤3，利用真空热压烧结炉对坯块进行加压烧结得到坯锭，其中加压压强为80MPa，烧结温度为1650℃；步骤4，将坯锭进行退火处理，退火温度为600℃，保温时间为4h，退火处理完成后还进行超声清洗，即得钛铝合金靶材。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将钛粉和铝粉均匀混合；步骤2，利用等静压机压制成坯块；步骤3，将坯块在真空环境下加压烧结得到预制坯锭；步骤4，将所述坯锭进行退火处理，即得所述钛铝合金靶材。

【技术特征摘要】
1.一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，将钛粉和铝粉均匀混合；步骤2，利用等静压机压制成坯块；步骤3，将坯块在真空环境下加压烧结得到预制坯锭；步骤4，将所述坯锭进行退火处理，即得所述钛铝合金靶材。2.如权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤4中对所述坯锭进行退火处理后，还进行超声清洗。3.如权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤1中钛粉和铝粉的质量比为3-4:...

【专利技术属性】
技术研发人员：王炜，
申请(专利权)人：陕西爱骨医疗股份有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西,61