基板加热装置、基板加热方法以及红外线加热器制造方法及图纸

本实施方式的基板加热装置，包括：减压部，对涂布了溶液的基板的容纳空间的气氛进行减压；红外线加热器，能够通过红外线加热所述基板；所述红外线加热器呈在多个部位弯折的管状，并且包括：弯曲部，以向外侧凸出的方式弯折；盖部，配置为从外侧覆盖所述弯曲部的至少一部分。

【技术实现步骤摘要】
基板加热装置、基板加热方法以及红外线加热器
本专利技术涉及基板加热装置、基板加热方法以及红外线加热器。
技术介绍
近年来，存在以下的市场需求：代替玻璃基板而使用具有柔性的树脂基板作为电子器件用的基板。这样的树脂基板例如使用聚酰亚胺膜。例如，聚酰亚胺膜是在基板上涂布聚酰亚胺的前体的溶液后、经过对所述基板进行加热的工序(加热工序)而形成的。作为聚酰亚胺的前体的溶液，例如存在由聚酰胺酸与溶剂构成的聚酰胺酸清漆(例如参照专利文献1以及专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2001-210632号公报专利文献2：国际公开第2009/104371号专利文献3：日本特开2006-170524号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题然而，上述的加热工序包括：使溶剂在较低温度下蒸发的第一工序与使聚酰胺酸在较高温度下固化的第二工序。考虑在第二工序中，使用红外线加热器，能够通过红外线加热基板。作为红外线加热器，例如已知有呈W型或U型的红外线加热器(例如参照专利文献3)。但是，W型或U型的红外线加热器，露出以向外侧凸出的方式弯折的部分，露出的部分与其他部分相比会降温，因此在提高红外线加热器的温度分布的平衡方面存在问题。鉴于以上那样的情况，本专利技术的目的在于提供一种基板加热装置、基板加热方法以及红外线加热器，能够提高红外线加热器的温度分布的平衡。用于解决上述技术问题的方案本专利技术的一方案的基板加热装置，其特征在于，包括：减压部，对涂布了溶液的基板的容纳空间的气氛进行减压；红外线加热器，能够通过红外线加热所述基板，所述红外线加热器呈在多个部位弯折的管状，并且包括：弯曲部，以向外侧凸出的方式弯折；盖部，配置为从外侧覆盖所述弯曲部的至少一部分。根据该构成，因为红外线加热器包括配置为从外侧覆盖弯曲部的至少一部分的盖部，所以能够避免弯曲部的露出，从而能够抑制弯曲部与其他部分相比发生降温。即，因为通过盖部能够从外侧加热弯曲部的至少一部分，所以能够抑制弯曲部与其他部分产生温度差。因此，能够提高红外线加热器的温度分布的平衡。也可以是，在上述的基板加热装置中，所述红外线加热器还包括多个直部，所述直部在第一方向上具有长边，并且在与所述第一方向交叉的第二方向上并列配置，所述弯曲部连结相邻的2个所述直部的端部，所述盖部以从外侧覆盖多个所述弯曲部的方式在所述第二方向上直线状地延伸。根据该构成，盖部以从外侧覆盖多个弯曲部的方式在第二方向上直线状地延伸，由此能够一并地避免多个弯曲部露出，因此能够一并地抑制多个弯曲部与其他部分相比发生降温。即，因为通过盖部能够从外侧一并地加热多个弯曲部，所以能够抑制多个弯曲部与其他部分产生温度差。因此，能够有效地提高红外线加热器的温度分布的平衡。此外，红外线加热器还包括多个直部，由此多个直部彼此相邻，能够提高相互的发热温度，因此能够在较高温度下提高红外线加热器的温度分布的平衡，所述多个直部在第一方向上具有长边，并且并列地配置在与第一方向交叉的第二方向上。也可以是，在上述的基板加热装置中，所述盖部与弯曲部之间的间隔比相邻的2个所述直部之间的间隔小。根据该构成，与使盖部与弯曲部之间的间隔为相邻的2个直部之间的间隔以上的情况相比较，能够更可靠地避免弯曲部的露出，因此能够更可靠地抑制弯曲部与其他部分相比发生降温。即，因为通过盖部能够从外侧更可靠地加热弯曲部的至少一部分，所以能够更可靠地抑制弯曲部与其他部分产生温度差。因此，能够更可靠地提高红外线加热器的温度分布的平衡。也可以是，在上述的基板加热装置中，所述红外线加热器还包括：第一导入部，设置在所述红外线加热器的一端；第二导入部，设置在所述红外线加热器的另一端，所述第一导入部以及所述第二导入部的至少一方设置在所述盖部的端部。然而，若第一导入部与第二导入部过于接近，则存在该部分的温度比其他部分的温度更为降温的倾向。但是，根据该构成，因为第一导入部与第二导入部一定程度地远离，所以能够抑制红外线加热器局部地降温。因此，能够提高红外线加热器的温度分布的平衡。也可以是，在上述的基板加热装置中，在俯视状态下，所述红外线加热器的外部形状呈矩形形状，所述第一导入部以及所述第二导入部在所述红外线加热器的一边的中央部对置地配置。根据该构成，因为第一导入部与第二导入部一定程度地远离，所以能够抑制红外线加热器局部地降温。因此，能够提高红外线加热器的温度分布的平衡。也可以是，在上述的基板加热装置中，在俯视状态下，所述红外线加热器的外部形状呈矩形形状，所述第一导入部配置在所述红外线加热器的一边的一侧，所述第二导入部配置在所述一边的另一侧。根据该构成，因为红外线加热器中的从第一导入部或者第二导入部中的任一个到弯曲部的部分为在2个部位弯折的U字管状(即沿着除了红外线加热器的所述一边以外的三边的形状)，所以与直管状以及L字管状的情况相比较，能够提高红外线加热器的柔软性。因此，即便红外线加热器的所述一边热膨胀或者热收缩，也能够利用红外线加热器的柔软性来容许所述一边的膨胀或者收缩。也可以是，在上述的基板加热装置中，在俯视状态下，所述红外线加热器的外部形状呈矩形形状，所述第一导入部配置在所述红外线加热器的一角部，所述第二导入部配置在所述一角部的对角部。根据该构成，在俯视状态下，第一导入部以及第二导入部的配置位置是以红外线加热器的中心为基准的点对称，并且第一导入部以及第二导入部较远地远离。由此，即便在第一导入部以及第二导入部比其他部分进一步降温的情况下，也不会降低相互的降温温度，从而能够避免红外线加热器局部地过度降温，因此能够尽可能地提高红外线加热器的温度分布的平衡。也可以是，在上述的基板加热装置中，在俯视状态下，所述红外线加热器呈点对称形状。根据该构成，与在俯视状态下红外线加热器呈非对称形状的情况相比较，能够更可靠地提高红外线加热器的温度分布的平衡。也可以是，在上述的基板加热装置中，在俯视状态下，所述红外线加热器的外部形状呈矩形形状，所述第一导入部以及所述第二导入部邻接地配置于所述红外线加热器的一角部。根据该构成，因为第一导入部以及第二导入部之间的距离变得最小，所以能够可靠地抑制红外线加热器的热膨胀或者热收缩。也可以是，在上述的基板加热装置中，在俯视状态下，所述第一导入部以及所述第二导入部的至少一部分进入所述红外线加热器的外部形状内。根据该构成，因为在配置红外线加热器时能够避免第一导入部以及第二导入部成为妨碍，所以能够提高布局的自由度。例如，在一表面上铺设多个红外线加热器时，能够避免相邻的2个红外线加热器在第一导入部以及第二导入部处发生干涉，因此能够整齐地铺设多个红外线加热器。也可以是，在上述的基板加热装置中，还包括加热器单元，所述加热器单元构成为在一表面上铺设多个所述红外线加热器。根据该构成，因为具备上述红外线加热器，所以能够提高加热器单元的温度分布的平衡。此外，在能够个别地控制多个红外线加热器的情况下，能够使一部分的红外线加热器的输出比其他的红外线加热器的输出大，所以能够对基板进行温度分布良好的加热。例如，在基板的四角的温度较低的情况下，使配置在与该部分对应的位置的红外线加热器的输出比其他的红外线加热器的输出大，由此仅提高该部分的温度，能够提高基板整体的温度分布。也可以是，在上述的基板加热装置中，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板加热装置，包括：减压部，对涂布了溶液的基板的容纳空间的气氛进行减压；红外线加热器，能够通过红外线加热所述基板；所述红外线加热器呈在多个部位弯折的管状，并且包括：弯曲部，以向外侧凸出的方式弯折；盖部，配置为从外侧覆盖所述弯曲部的至少一部分。

【技术特征摘要】
2016.08.30 JP 2016-1677931.一种基板加热装置，包括：减压部，对涂布了溶液的基板的容纳空间的气氛进行减压；红外线加热器，能够通过红外线加热所述基板；所述红外线加热器呈在多个部位弯折的管状，并且包括：弯曲部，以向外侧凸出的方式弯折；盖部，配置为从外侧覆盖所述弯曲部的至少一部分。2.如权利要求1所述的基板加热装置，其特征在于，所述红外线加热器还包括多个直部，所述多个直部在第一方向上具有长边，并且在与所述第一方向交叉的第二方向上并列配置，所述弯曲部连结相邻的2个所述直部的端部，所述盖部以从外侧覆盖多个所述弯曲部的方式在所述第二方向上直线状地延伸。3.如权利要求2所述的基板加热装置，其特征在于，所述盖部与弯曲部之间的间隔比相邻的2个所述直部之间的间隔小。4.如权利要求1～3中的任一项所述的基板加热装置，其特征在于，所述红外线加热器还包括：第一导入部，设置在所述红外线加热器的一端；第二导入部，设置在所述红外线加热器的另一端，所述第一导入部以及所述第二导入部中的至少一方设置在所述盖部的端部。5.如权利要求4所述的基板加热装置，其特征在于，在俯视状态下，所述红外线加热器的外部形状呈矩形形状，所述第一导入部以及所述第二导入部在所述红外线加热器的一边的中央部对置地配置。6.如权利要求4所述的基板加热装置，其特征在于，在俯视状态下，所述红外线加热器的外部形状呈矩形形状，所述第一导入部配置在所述红外线加热器的一边的一侧，所述第二导入部配置在所述一边的另一侧。7.如权利要求4所述的基板加热装置，其特征在于，在俯视状态下，所述红外线加热器的外部形状呈矩形形状，所述第一导入部配置在所述红外线加热器的一角部，所述第二导入部配置在所述一角部的对角部。8.如权利要求7所述的基板加热装置，其特征在于，在俯视状态下，所述红外线加热器呈点对称形状。9.如权利要求4所述的基板加热装置，其特征在于，在俯视状态下，所述红外线加热器的外部形状呈矩形形状，所述第一导入部以及所述第二导入部邻接地配置于所述红外线加热器的一角部。10.如权利要求4～9中的任一项所述的基板加热装置，其特征在于，在俯视状态下，所述第一导入部以及所述第二导入部的至少一部分进入所述红外线加热器的外部形状内。11.如权利要求1～10中的任一项所述的基板加热装置，其特征在于，还包括加热器单元，所述加热器单元构成为在一表面上铺设多个所述红外线加热器。12.如权利要求11所述的基板加热装置，其特征在于，所述加热器单元包括：多个第一红外线加热器，在一方向上铺设配置；多个第二红外线加热器，在与所述一方向平行的方向上铺设配置，所述第二红外线加热器以与相邻的2个所述第一红外线加热器的边界部邻接的方式，在与所述一方向交叉的方向上与所述第一红外线加热器铺设配置。13.如权利要求12所述的基板加热装置，其特征在于，在俯视状态下，所述第二红外线加热器具有与所述第一红外线加热器相同的形状。14.如权利要求12...

【专利技术属性】
技术研发人员：加藤茂，佐保田勉，山谷谦一，升芳明，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP