一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置制造方法及图纸

本发明专利技术的一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置，其中扫描线圈包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外。封装胶体层将所述骨架、线圈、电路板封装一体，该扫描线圈为一体结构，在镜筒内安装固定方便，相对于中心轴线旋转对称性较高。灌封装置设有对所述扫描线圈进行同轴定位，使所述扫描线圈的骨架的轴线与所述灌封腔的轴线同轴的定位结构，能保证灌封后的扫描线圈相对于中心轴线具有较高的旋转对称性。

A sealing device for scanning coil, scanning electron microscope and scanning coil

Sealing device of the present invention is a scanning coil, scanning electron microscope and scanning coil, the scanning coil comprises a frame, a circuit board arranged in the frame, the fixed coil in the skeleton, also includes packaging adhesive layer of the body skeleton, coil, circuit board package integrated wiring, and the end of the circuit board extends out of the outer layer of the encapsulation. The encapsulated colloidal layer encapsulates the skeleton, the coil and the circuit board. The scanning coil is an integrated structure, which is convenient to install and fix in the lens tube, and has higher rotational symmetry relative to the central axis. The sealing device is provided with coaxial positioning for the scanning coils, so that the positioning structure of the coaxial axis of the scanning coil and the axis of the sealing cavity can ensure that the scanning coil after the sealing is relatively symmetrical with respect to the central axis.

【技术实现步骤摘要】
一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置
本专利技术涉及扫描线圈灌封
，具体涉及一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置。
技术介绍
扫描电镜是一种电子光学仪器，利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束轰击样品表面产生二次电子或背散射电子，其产生的效率与样品表面形貌或材料相关，将样品表面产生的二次电子或背散射电子收集起来，并将样品表面电子束扫描的位置和产生的二次电子或背散射电子的数量用二维图像的形式表示，即得到扫描电镜的二次电子图像或背散射电子图像。扫描电镜图像的分辨率可达到纳米级甚至优于1.0纳米，在新材料、新能源、国防、科学研究等领域起着无法替代的作用。扫描电镜是利用电子枪发射的电子束进行工作，在电子束由电子枪发射出来到样品表面的路径，我们称之为光路，光路的中间称之为光轴，电子束由电子枪发出经过镜筒最后达到样品室的样品上，安装在镜筒内的扫描线圈为入射电子束提供在样品表面上以及阴极射线管内电子束在荧光屏上的同步扫描信号，通过改变扫描线圈的电流大小，改变扫描线圈对电子束作用力的大小，这样，入射电子束在样品表面上的扫描振幅就会随着扫描线圈中电流的大小而变化，以获得所需放大倍率的扫描图像。扫描线圈在扫描电子显微镜中是一个重要的组件，一般放在镜筒的后半段。扫描线圈的工作稳定性对成像的质量至关重要。传统的扫描线圈采用人工绕制的方式将线圈缠绕在骨架上，线圈的形状不规则，将该扫描线圈装配到扫描电镜中后，扫描线圈与光轴的同轴度较差，扫描线圈组件相对于中心轴线的旋转对称性较差。
技术实现思路
因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的扫描线圈组件相对于中心轴线的旋转对称性较差的缺陷，从而提供一种相对于中心轴线旋转对称性较高的扫描线圈。本专利技术要解决的另一个技术问题在于克服现有技术中的扫描电镜由于扫描线圈的工作稳定性较低而成像质量较低的缺陷，从而提供一种成像质量较高的扫描电镜。本专利技术要解决的另一个技术问题在于提供一种对扫描线圈进行封装的灌封装置，封装后的扫描线圈可保证相对于中心轴线的旋转对称性。为解决上述技术问题，本专利技术的一种扫描线圈，包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外，所述封装胶体层与所述骨架同轴设置。本专利技术的一种扫描电镜，具有所述的扫描线圈。本专利技术的一种扫描线圈的灌封装置，包括：底座；工装基体，设置在所述底座上，其上成型有通腔；顶盖，设置在所述工装基体上，所述顶盖、所述工装基体、所述底座连接一体后形成有封装所述扫描线圈的灌封腔，所述电路板的接线端处于所述灌封腔外，且所述底座、所述顶盖至少其中一个上设有处于所述灌封腔内的，对所述扫描线圈进行同轴定位，使所述扫描线圈的骨架的轴线与所述灌封腔的轴线同轴的定位结构；灌封口，成型在所述顶盖上，灌封胶通过所述灌封口进入所述灌封腔对处于所述灌封腔内的所述扫描线圈进行灌封。所述工装基体与所述底座通过止口结构配合后可拆卸连接。所述工装基体与所述底座通过螺纹紧固件可拆卸连接。所述定位结构包括设置在所述底座上对所述扫描线圈的骨架的第一端进行同轴定位的第一定位结构，以及设置在所述顶盖上对所述骨架的第二端进行同轴定位的第二定位结构。所述第一定位结构为成型在所述底座上的凸出部，所述凸出部适合插入所述骨架的第一端的轴孔内。所述顶盖上设有销轴孔，所述第二定位结构为一端穿过所述销轴孔的同轴销，所述同轴销的一端适合插入所述骨架的第二端的轴孔内。所述灌封装置还包括设置在所述顶盖、所述工装基体、所述底座围成的空间内的易脱模组件，所述灌封腔由所述易脱模组件构成。所述易脱模组件包括成型圆筒，设置在所述工装基体的内壁上；成型底托，连接在所述成型圆筒的第一端端部与所述底座之间；法兰成型腔体，连接在所述成型圆筒的第二端端部；成型上盖，设置在所述顶盖与所述法兰成型腔体之间，对接后与所述成型圆筒、所述成型底托所述灌封腔。所述易脱模组件均采用不粘材料制成。所述不粘材料为聚四氟乙烯。所述底座、所述工装基体、所述上盖采用金属材料制成。所述底座上成型有排气结构。所述排气结构包括贯穿设置在底座上且与所述骨架的轴孔连通的排气孔。所述底座上设有判断灌封情况的出口，所述出口设有螺钉。所述工装基体至少由两段分基体可拆卸连接形成。所述分基体之间通过螺纹紧固件连接。本专利技术技术方案，具有如下优点：1.本专利技术提供的一种扫描线圈，封装胶体层将所述骨架、线圈、电路板封装一体，所述封装胶体层与所述骨架同轴设置，该扫描线圈为一体结构，在镜筒内安装固定方便，相对于中心轴线旋转对称性较高。2.本专利技术提供的一种扫描电镜，具有所述的扫描线圈，由于扫描线圈在镜筒内固定牢固，扫描线圈的安装对中以及工作稳定性较高，该扫描电镜的成像质量较高。3.本专利技术提供的一种扫描线圈的灌封装置，所述底座、所述顶盖至少其中一个上设有处于所述灌封腔内的，对所述扫描线圈进行同轴定位，使所述扫描线圈的骨架的轴线与所述灌封腔的轴线同轴的定位结构，能保证灌封后的扫描线圈相对于中心轴线具有较高的旋转对称性。4.本专利技术提供的一种扫描线圈的灌封装置，所述工装基体与所述底座通过止口结构配合后可拆卸连接，加工方便，同时封装完成后方便将封装成一体的扫描线圈从该装置中取出。5.本专利技术提供的一种扫描线圈的灌封装置，所述定位结构包括设置在所述底座上对所述扫描线圈的骨架的第一端进行同轴定位的第一定位结构，以及设置在所述顶盖上对所述骨架的第二端进行同轴定位的第二定位结构，通过对扫描线圈的两端进行定位来保证封装后的扫描线圈相对于中心轴线具有较高的旋转对称性。6.本专利技术提供的一种扫描线圈的灌封装置，所述灌封装置还包括设置在所述顶盖、所述工装基体、所述底座围成的空间内的易脱模组件，所述灌封腔由所述易脱模组件构成，方便将封装完成后封装成一体的扫描线圈从灌封装置中取出。7.本专利技术提供的一种扫描线圈的灌封装置，所述易脱模组件均采用不粘材料制成，方便将封装完成后封装成一体的扫描线圈从灌封装置中取出。8.本专利技术提供的一种扫描线圈的灌封装置，所述不粘材料为聚四氟乙烯，该材料具有高润滑性，具有已知工程材料中最小的摩擦系数，而且不粘特性显著，具有固体材料中最小的表面张力而不粘附任何物质，因此该材料与电子灌封胶之间具有很好的脱离特性，非常有利于完成封装固化后的脱模。9.本专利技术提供的一种扫描线圈的灌封装置，所述底座、所述工装基体、所述上盖采用金属材料制成，可保证在封装固化加热时的尺寸稳定性，不易变形，可重复使用。10.本专利技术提供的一种扫描线圈的灌封装置，所述底座上成型有排气结构，可避免在封装固化加热时线圈骨架内的密封空气受热膨胀对线圈骨架造成损坏。11.专利技术提供的一种扫描线圈的灌封装置，所述工装基体至少由两段分基体可拆卸连接形成，方便加工，也方便封装完成后将封装成一体的扫描线圈从该装置中取出。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的实施例1提供的扫描线圈的结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扫描线圈，包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，其特征在于，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外，所述封装胶体层与所述骨架同轴设置。

【技术特征摘要】
1.一种扫描线圈，包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，其特征在于，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外，所述封装胶体层与所述骨架同轴设置。2.一种扫描电镜，其特征在于，具有如权利要求1所述的扫描线圈。3.一种扫描线圈的灌封装置，其特征在于，包括：底座；工装基体，设置在所述底座上，其上成型有通腔；顶盖，设置在所述工装基体上，所述顶盖、所述工装基体、所述底座连接一体后形成有封装所述扫描线圈的灌封腔，所述电路板的接线端处于所述灌封腔外，且所述底座、所述顶盖至少其中一个上设有处于所述灌封腔内的，对所述扫描线圈进行同轴定位，使所述扫描线圈的骨架的轴线与所述灌封腔的轴线同轴的定位结构；灌封口，成型在所述顶盖上，灌封胶通过所述灌封口进入所述灌封腔对处于所述灌封腔内的所述扫描线圈进行灌封。4.根据权利要求3所述的一种扫描线圈的灌封装置，其特征在于，所述工装基体与所述底座通过止口结构配合后可拆卸连接。5.根据权利要求4所述的一种扫描线圈的灌封装置，其特征在于，所述工装基体与所述底座通过螺纹紧固件可拆卸连接。6.根据权利要求3所述的一种扫描线圈的灌封装置，其特征在于，所述定位结构包括设置在所述底座上对所述扫描线圈的骨架的第一端进行同轴定位的第一定位结构，以及设置在所述顶盖上对所述骨架的第二端进行同轴定位的第二定位结构。7.根据权利要求6所述的一种扫描线圈的灌封装置，其特征在于，所述第一定位结构为成型在所述底座上的凸出部，所述凸出部适合插入所述骨架的第一端的轴孔内。8.根据权利要求6所述的一种扫描线圈的灌封装置，其特征在于，所述顶盖上设有销轴孔，所述第二定位结构为一...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟祥良，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11