一种晶棒喷淋系统技术方案

本实用新型专利技术涉及的一种晶棒喷淋系统，其特征在于它包括纵向布置的晶棒（1），所述晶棒（1）的左右两侧分别设置有一根纵向布置的喷淋管（2），所述喷淋管（2）的前端设置有封头（3），所述喷淋管（2）的后端连接供水管，所述喷淋管（2）的正对晶棒（1）的一侧面开设有一排第一喷淋孔（2.1），以第一喷淋孔（2.1）为起点，喷淋管（2）的管径中心为原点，向下的1~50°角范围内开设多排第二喷淋孔（2.2）。本实用新型专利技术一种晶棒喷淋系统具有能够对晶棒两侧进行均匀喷淋，喷淋无死角的优点，提高了产品的质量。

A kind of crystal rod sprinkler system

\u672c\u5b9e\u7528\u65b0\u578b\u6d89\u53ca\u7684\u4e00\u79cd\u6676\u68d2\u55b7\u6dcb\u7cfb\u7edf\uff0c\u5176\u7279\u5f81\u5728\u4e8e\u5b83\u5305\u62ec\u7eb5\u5411\u5e03\u7f6e\u7684\u6676\u68d2\uff081\uff09\uff0c\u6240\u8ff0\u6676\u68d2\uff081\uff09\u7684\u5de6\u53f3\u4e24\u4fa7\u5206\u522b\u8bbe\u7f6e\u6709\u4e00\u6839\u7eb5\u5411\u5e03\u7f6e\u7684\u55b7\u6dcb\u7ba1\uff082\uff09\uff0c\u6240\u8ff0\u55b7\u6dcb\u7ba1\uff082\uff09\u7684\u524d\u7aef\u8bbe\u7f6e\u6709\u5c01\u5934\uff083\uff09\uff0c\u6240\u8ff0\u55b7\u6dcb\u7ba1\uff082\uff09\u7684\u540e\u7aef\u8fde\u63a5\u4f9b\u6c34\u7ba1\uff0c\u6240\u8ff0\u55b7\u6dcb\u7ba1\uff082\uff09\u7684\u6b63\u5bf9\u6676\u68d2\uff081\uff09\u7684\u4e00\u4fa7\u9762\u5f00\u8bbe\u6709\u4e00\u6392\u7b2c\u4e00\u55b7\u6dcb\u5b54\uff082.1\uff09\uff0c\u4ee5\u7b2c\u4e00\u55b7\u6dcb\u5b54\uff082.1\uff09\u4e3a\u8d77\u70b9\uff0c\u55b7\u6dcb\u7ba1\uff082\uff09\u7684\u7ba1\u5f84\u4e2d\u5fc3\u4e3a\u539f\u70b9\uff0c\u5411\u4e0b\u76841~50\u00b0\u89d2\u8303\u56f4\u5185\u5f00\u8bbe\u591a\u6392\u7b2c\u4e8c\u55b7\u6dcb\u5b54\uff082.2\uff09\u3002 The utility model has the advantages of even spraying on both sides of a crystal rod, spraying without dead angle, and improving the quality of the product.

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒喷淋系统
本技术涉及一种晶棒喷淋系统。
技术介绍
硅片制程中，晶棒预清洗阶段的需要对晶棒两侧进行喷淋清洗操作。传统晶棒喷淋冲洗是使用两根连接水管的喷淋管对晶棒两侧进行喷淋清洗，不间断转动喷淋管对晶棒各个角度冲洗，直至无污水流出，喷淋结束。该方式需人不断操作喷淋管，人为因素较大，无法避免部分位置无法冲洗干净。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述不足，提供一种能够对晶棒两侧进行均匀喷淋，喷淋无死角的晶棒喷淋系统。本技术的目的是这样实现的：一种晶棒喷淋系统，它包括纵向布置的晶棒，所述晶棒的左右两侧分别设置有一根纵向布置的喷淋管，所述喷淋管的前端设置有封头，所述喷淋管的后端连接供水管，所述喷淋管的正对晶棒的一侧面开设有一排第一喷淋孔，以第一喷淋孔为起点，喷淋管的管径中心为原点，向下的1~50°角范围内开设多排第二喷淋孔。第一喷淋孔以及多排第二喷淋孔的喷淋孔位置交替。。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术一种晶棒喷淋系统具有能够对晶棒两侧进行均匀喷淋，喷淋无死角的优点，提高了产品的质量。附图说明图1为本技术的结构示意图。图2为图1的A处局部放大图。其中：晶棒1喷淋管2、第一喷淋孔2.1、第二喷淋孔2.2封头3。具体实施方式参见图1-图2，本技术涉及的一种晶棒喷淋系统，它包括纵向布置的晶棒1，所述晶棒1的左右两侧分别设置有一根纵向布置的喷淋管2，所述喷淋管2的前端设置有封头3，所述喷淋管2的后端连接供水管，所述喷淋管2的正对晶棒1的一侧面开设有一排第一喷淋孔2.1，以第一喷淋孔2.1为起点，喷淋管2的管径中心为原点，向下的1~50°角范围内开设多排第二喷淋孔2.2，（配合喷淋管据晶棒的距离设定合适角度，方便喷淋管的喷淋孔正好能喷在晶棒胶水处，及晶棒周身位置），第一喷淋孔2.1以及多排第二喷淋孔2.2的喷淋孔位置交替，使喷出水柱密集无间隙，如此只需将喷淋管固定，便可全面清洁晶棒硅片内部脏污。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶棒喷淋系统，其特征在于它包括纵向布置的晶棒（1），所述晶棒（1）的左右两侧分别设置有一根纵向布置的喷淋管（2），所述喷淋管（2）的前端设置有封头（3），所述喷淋管（2）的后端连接供水管，所述喷淋管（2）的正对晶棒（1）的一侧面开设有一排第一喷淋孔（2.1），以第一喷淋孔（2.1）为起点，喷淋管（2）的管径中心为原点，向下的1~50°角范围内开设多排第二喷淋孔（2.2）。

【技术特征摘要】
1.一种晶棒喷淋系统，其特征在于它包括纵向布置的晶棒（1），所述晶棒（1）的左右两侧分别设置有一根纵向布置的喷淋管（2），所述喷淋管（2）的前端设置有封头（3），所述喷淋管（2）的后端连接供水管，所述喷淋管（2）的正对晶棒（1）的一侧面开设有一排第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：张雪刚，张志彬，
申请(专利权)人：海润光伏科技股份有限公司，江阴海润太阳能电力有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32