一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃及制作方法，该三银红外线屏蔽玻璃的膜层结构依次为玻璃、底层电介质组合层、第一细晶银层、第一阻挡层、第一中间电介质组合层、第二细晶银层、第二阻挡层、第二中间电介质组合层、第三细晶银层、第三阻挡层、顶层电介质组合层。本发明专利技术采用独特的AR射膜层配置生产出高质量三银低辐射玻璃，产品具有辐射率低(小于0.02)，具有光学性能稳定、颜色多样、耐候等性能，使用范围可推广到汽车玻璃和民用建筑。

【技术实现步骤摘要】
一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃及其制作方法
本专利技术涉及特种玻璃领域，尤其涉及一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃及其制作方法。
技术介绍
三银红外线屏蔽玻璃，是在玻璃表面镀制包括三层细晶银层和四层电介质层在内的多层金属或其他化合物组成的膜系产品。由于细晶银层具有低辐射率的特性，低辐射玻璃对可见光有较高的透射率，对红外线有很高的屏蔽，具有良好的隔热性能。采用大型真空低温磁控溅射法生产普通三银低辐射玻璃的膜层结构一般为：玻璃/底层电介质组合层/Ag层(1)/阻挡层(1)/中间电介质组合层(1)/Ag层(2)/阻挡层(2)/中间电介质组合层(2)/Ag层(3)/阻挡层(3)/顶层电介质组合层。传统的三银低辐射玻璃，在上述电介质层材料的组合使用上没有经过精心的特殊设计，膜层疏松致密随意使用、膜层折射率随意组合，导致产品常见结果如下：1)膜层附着力差、不耐擦拭易脱膜；2)增加Ag量受到限制，银层加厚就导致可见光透过率降低、颜色变化到不可接受的范围；3)光线在膜层内各成分之间无法形成最有效AR，出现较多杂色、重影、反射色随着观察角度变化；4)提高产品的透光率受到限制。
技术实现思路
本专利技术提出了一种针对膜结构改良，将现有膜层组合的进行膜层功效细分和组合，对三银产品的颜色和性能产生出新的改善和提升，可以用来制作高质量和高性能的三银红外线屏蔽玻璃。为了实现上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃，该三银红外线屏蔽玻璃的膜层结构依次为玻璃、底层电介质组合层、第一细晶银层、第一阻挡层、第一中间电介质组合层、第二细晶银层、第二阻挡层、第二中间电介质组合层、第三细晶银层、第三阻挡层、顶层电介质组合层；所述底层电介质组合层数量为至少一层，所述底层电介质组合层的膜层结构依次为低折射率透明电介质材料层、高折射率透明电介质材料层；所述第一中间电介质组合层、第二中间电介质组合层的数量为至少一层，膜层结构依次为高折射率透明电介质材料层、低折射率透明电介质材料层、高折射率透明电介质材料层；所述顶层电介质组合层数量为至少一层，所述顶层电介质组合层的膜层结构依次为高折射率透明电介质材料层、低折射率透明电介质材料层。优选的，所述高折射率材料为TiOx、ZrOx、NbOx、TaOx、BiOx中的一种或几种。优选的，所述低折射率材料为SiNx，ZnOx，AZO，ZnSnOx，SnOx，AlOx，SiOx、ZnAlOx中的一种或几种。优选的，所述第一阻挡层、第二阻挡层、第三阻挡层材料为AZO、TiOx、Ti、镍铬、氧化镍铬、氮化镍铬中的一种或几种。一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃制作方法，包括以下步骤：S1、清洗玻璃，干燥后置于磁控溅射区；S2、中频电源加旋转阴极溅射沉积底层电介质组合层；S3、直流双极脉冲电源溅射沉积第一细晶银层；S4、直流电源加脉冲溅射沉积第一阻挡层；S5、中频电源加旋转阴极溅射沉积第一中间电介质组合层；S6、直流双极脉冲电源溅射沉积第二细晶银层；S7、直流电源加脉冲溅射沉积第二阻挡层；S8、中频电源加旋转阴极溅射沉积第二中间电介质组合层；S9、直流双极脉冲电源溅射沉积第三细晶银层；S10、直流电源加脉冲溅射沉积第三阻挡层；S11、中频电源加旋转阴极溅射沉积顶层电介质组合层。优选的，所述底层电介质组合层、第一中间电介质组合层、第二中间电介质组合层及/或顶层电介质组合层材料包括SiNx，采用中频电源加旋转阴极在氩氮氛围中溅射沉积，功率为30kw-40kw，中频电源频率为40kHz。优选的，所述底层电介质组合层、第一中间电介质组合层、第二中间电介质组合层及/或顶层电介质组合层材料包括SnZnOx，采用中频电源加旋转阴极在氩氧氛围中溅射沉积，功率为50kw-60kw，中频电源频率为40kHz。优选的，所述底层电介质组合层、第一中间电介质组合层、第二中间电介质组合层及/或顶层电介质组合层材料包括TiOx，采用中频电源加旋转阴极在纯氩或者氩氧氛围中溅射沉积，功率为60kw-90kw，中频电源频率为40kHz。优选的，所述底层电介质组合层、第一中间电介质组合层、第二中间电介质组合层、顶层电介质组合层、所述第一阻挡层、第二阻挡层及/或第三阻挡层材料包括AZO，采用中频电源加旋转阴极在纯氩或者氩氧氛围中溅射沉积，功率为60kw-90kw，中频电源频率为40kHz。优选的，所述第一细晶银层、第二细晶银层及/或第三细晶银层在氩气氛围中沉积，功率为3kw。本专利技术提供的含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃，对细晶银层进行室内和室外两个方向上的双向强力AR反射光。双向AR反射光的结果是，降低了细晶银的反射光强度，使膜层透光率增加；还可以提高Ag的使用量，使性能得以提高；减少了膜层内各细晶银层之间互相反射造成的重影或者叫鬼影，减少了膜层内反射造成的杂色，提高了膜层的清澈度和通透性；细晶银层反射降低，降低了对膜层颜色的干扰，减少了膜层室外颜色随观察角度不同时颜色的变化幅度，使室外颜色更加完美。产品膜层中使用细晶银(AgNi15)层替代纯Ag层，使得膜层的耐磨性更加好，耐热处理温度更高达到750度和耐加热时间更长达到800秒；致密的底层介质层和疏松的顶层介质层配搭，使得膜层更加耐磨与耐擦拭达到800N/mm2。本专利技术采用独特的AR射膜层配置生产出高质量三银低辐射玻璃，产品具有辐射率低(小于0.02)，具有光学性能稳定、颜色多样、耐候等性能，使用范围可推广到汽车玻璃和民用建筑。【附图说明】图1为一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃结构示意图；图2为一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃制造流程图。【具体实施方式】如图1所示，一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃的膜层结构为：玻璃、底层电介质组合层、第一细晶银层、第一阻挡层、第一中间电介质组合层、第二细晶银层、第二阻挡层、第二中间电介质组合层、第三细晶银层、第三阻挡层、顶层电介质组合层。下面为上述膜结构的应用实例：实例一下面为上述膜结构的应用实例：玻璃/SiNx/TiOx/AZO/AgNi15/AZO/TiOx/SnZnOx/TiOx/AZO/AgNi15/AZO/TiOx/SnZnOx/TiOx/AZO/AgNi15/AZO/TiOx/SiNx底层电介质组合层SiNx/TiOx/AZO：氮化硅(SiNx，Ar:N约为2:3)的膜层厚度为12nm，氧化钛(TiOx)的膜层厚度为10nm，AZO的膜层厚度为8nm；细晶银层(1)AgNi15：膜层厚度为12nm；阻挡层(1)AZO：AZO膜层厚度为10nm；中间电介质组合层(1)TiOx/SnZnOx/TiOx/AZO：氧化钛(TiOx)的膜层厚度为10nm，氧化锌锡(SnZnOx)的膜层厚度为34nm，氧化钛(TiOx)的膜层厚度为10nm，AZO的膜层厚度为10nm；细晶银层(2)AgNi15：膜层厚度为15nm；阻挡层(2)AZO：AZO膜层厚度为10nm；中间电介质组合层(2)TiOx/SnZnOx/TiOx/AZO：氧化钛(TiOx)的膜层厚度为10nm，氧化锌锡(SnZnOx)的膜层厚度为38nm，氧化钛(TiOx)的膜层厚度为10nm，AZO的膜层厚度为10nm；细晶银层(3)AgNi15：膜层厚度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃，其特征在于：该三银红外线屏蔽玻璃的膜层结构依次为玻璃、底层电介质组合层、第一细晶银层、第一阻挡层、第一中间电介质组合层、第二细晶银层、第二阻挡层、第二中间电介质组合层、第三细晶银层、第三阻挡层、顶层电介质组合层；所述底层电介质组合层数量为至少一层，所述底层电介质组合层的膜层结构依次为低折射率透明电介质材料层、高折射率透明电介质材料层；所述第一中间电介质组合层、第二中间电介质组合层的数量为至少一层，膜层结构依次为高折射率透明电介质材料层、低折射率透明电介质材料层、高折射率透明电介质材料层；所述顶层电介质组合层数量为至少一层，所述顶层电介质组合层的膜层结构依次为高折射率透明电介质材料层、低折射率透明电介质材料层。

【技术特征摘要】
1.一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃，其特征在于：该三银红外线屏蔽玻璃的膜层结构依次为玻璃、底层电介质组合层、第一细晶银层、第一阻挡层、第一中间电介质组合层、第二细晶银层、第二阻挡层、第二中间电介质组合层、第三细晶银层、第三阻挡层、顶层电介质组合层；所述底层电介质组合层数量为至少一层，所述底层电介质组合层的膜层结构依次为低折射率透明电介质材料层、高折射率透明电介质材料层；所述第一中间电介质组合层、第二中间电介质组合层的数量为至少一层，膜层结构依次为高折射率透明电介质材料层、低折射率透明电介质材料层、高折射率透明电介质材料层；所述顶层电介质组合层数量为至少一层，所述顶层电介质组合层的膜层结构依次为高折射率透明电介质材料层、低折射率透明电介质材料层。2.如权利要求1所述的一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃，其特征在于：所述高折射率材料为TiOx、ZrOx、NbOx、TaOx、BiOx中的一种或几种。3.如权利要求1所述的一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃，其特征在于：所述低折射率材料为SiNx，ZnOx，AZO，ZnSnOx，SnOx，AlOx，SiOx、ZnAlOx中的一种或几种。4.如权利要求1所述的一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃，其特征在于：所述第一阻挡层、第二阻挡层、第三阻挡层材料为AZO、TiOx、Ti、镍铬、氧化镍铬、氮化镍铬中的一种或几种。5.一种含细晶银膜层的三银红外线屏蔽玻璃制作方法，其特征在于包括以下步骤：S1、清洗玻璃，干燥后置于磁控溅射区；S2、中频电源加旋转阴极溅射沉积底层电介质组合层；S3、直流双极脉冲电源溅射沉积第一细晶银层；S4、直流电源加脉冲溅射沉积第一阻挡层；S5、中频电源加旋转阴极溅射沉积第一中间电介质组合层；S6、直流双极脉冲电源溅射沉积第二细晶银层；S7、直流电源加脉冲溅...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾小绵，叶光岱，卢小刚，
申请(专利权)人：广东旗滨节能玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44