The invention relates to a common wet equipment in the liquid crystal display process and a device for cleaning the water tank. The flow path of the cleaning liquid in the water tank is formed through the water intake pipe, the spray knife and the water shutoff nozzle. When in use, the regulator injected into the flow path of cleaning liquid by pressure, and the nozzle blockage keep liquid pressure within the flow path, the fluid with certain pressure from the final set in the spray on the knife slit by the inner and outer jet, the formation pressure to the inner wall of the water tank water washed, then supplemented with fixed nozzle blockage the wrench from the outside of the water tank 360 degree rotation of the jet cutter, finally realize the full range of cleaning the water tank. The water curtain pressure more than artificial cleaning or simple washing effect on the inner wall of water tank cleaning effect, and avoids the repeated disassembly of the water tank cover routine cleaning and installation process, which simplifies the cleaning procedure, and improve the cleaning quality.
【技术实现步骤摘要】
水箱清洗装置
本专利技术涉及液晶显示器制造领域,尤其涉及液晶显示器制程中的湿式设备。
技术介绍
在显示器件的制程中,湿式设备(Wet设备)的应用非常普遍,如用于玻璃基板涂布前去除基板表面杂质(Particle)和有机物等脏污的清洗机(Cleaner),或用于玻璃基板涂布曝光后光阻剥离以形成所需图案(pattern)的显影机(Develop)等。湿式设备的水箱是作为存储清洗液,或清洗用水缓冲的重要部件,水箱设计的优良直接影响到该湿式设备的性能和产品良率。湿式设备的水箱部件,一般设置于该湿式设备的下侧,由腔体、进水管、出水管等构成,具有结构简单、密封性能高等特点。对于密封性的要求,还可以避免水箱外部的脏污污染以及水箱内部的漏液等瑕疵。但是,而经过长时间使用的封闭水箱,大多会沉积脏污、水垢或水质易生菌,需定期对水箱内部进行清洁。由于大多数湿式设备的水箱的位置问题,每次拆开水箱并清洁内壁的过程比较麻烦,且水箱盖板的拆卸和复位的步骤较复杂,对操作者的要求也较高,稍微不注意容易导致水箱漏液。另一方面,擦拭或冲洗等清洁方式都难以保证水箱的清洁程度达到使用要求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种不用拆卸水箱盖板即可实现其内部清洁的清洗装置,提供如下技术方案:一种水箱清洗装置,包括依次连接的压力调节器、入水管、喷刀、堵水管和扳手;所述压力调节器一端连接清洗液供给管道,另一端连接所述入水管;所述入水管、所述喷刀和所述堵水管之间密封连接,形成本清洗装置的清洗液流通路径;所述水箱的第一侧壁上设与所述入水管配合的第一通孔,用于穿过所述入水管;所述水箱的第二侧壁与所述第一侧壁相 ...
【技术保护点】
一种水箱清洗装置,其特征在于:包括依次连接的压力调节器、入水管、喷刀、堵水管和扳手;所述压力调节器一端连接清洗液供给管道,另一端连接所述入水管;所述入水管、所述喷刀和所述堵水管之间密封连接,形成本清洗装置的清洗液流通路径;所述入水管所述水箱的第一侧壁;所述堵水管穿过所述水箱的第二侧壁;所述入水管与所述堵水管位于同一轴线上,所述堵水管一端封闭;所述扳手与所述堵水管封闭的一端固连,所述扳手用于转动密封连接的所述堵水管和所述喷刀;所述喷刀内部为中空通道,所述喷刀沿所述流通路径方向上设有细缝,所述细缝使所述喷刀内部中空通道与外部连通,所述清洗液在压力作用下通过所述细缝向外喷出形成压力水帘,用以清洗所述水箱内部。
【技术特征摘要】
1.一种水箱清洗装置,其特征在于:包括依次连接的压力调节器、入水管、喷刀、堵水管和扳手;所述压力调节器一端连接清洗液供给管道,另一端连接所述入水管;所述入水管、所述喷刀和所述堵水管之间密封连接,形成本清洗装置的清洗液流通路径;所述入水管所述水箱的第一侧壁;所述堵水管穿过所述水箱的第二侧壁;所述入水管与所述堵水管位于同一轴线上,所述堵水管一端封闭;所述扳手与所述堵水管封闭的一端固连,所述扳手用于转动密封连接的所述堵水管和所述喷刀;所述喷刀内部为中空通道,所述喷刀沿所述流通路径方向上设有细缝,所述细缝使所述喷刀内部中空通道与外部连通,所述清洗液在压力作用下通过所述细缝向外喷出形成压力水帘,用以清洗所述水箱内部。2.如权利要求1所述水箱清洗装置,其特征在于,所述入水管与所述第一侧壁固定连接,所述入水管与所述喷刀之间设有旋转密封接头,所述旋转密封接头的固定端与所述入水管连接,活动端与所述喷刀连接,所述旋转密封接头用于密封所述流通路径并随所述喷刀和所述堵水管一起旋转。3.如权利要求1所述水箱清洗装置,其特征在于,所述细缝含朝向所述第一侧壁的第一段和朝向所述第二侧壁的第二段,所述第一段细缝喷出的所述压力水帘作用于所述第一侧壁,所述第二段细缝喷出的所述压力水帘作用于所述第二侧壁。4.如权利要求3所述水箱清洗装置,其特征在于,所述第一段细缝在所述第一侧壁上的投...
【专利技术属性】
技术研发人员:施杰,
申请(专利权)人:武汉华星光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
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