一种碳化硅单晶制造设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅单晶制造设备，包括装置本体和加热柜，所述装置本体的上端设置有原料存储箱，且所述原料存储箱与所述装置本体之间平行设置，所述原料存储箱的上表面设有转化片，所述原料存储箱的下端安装有砧板，所述装置本体的上表面设有反应器皿，所述加热柜的上端安装有控制器，利用报警器进行检测加热柜内的温度对原料的加热情况，避免因温度过高出现原料过火，温度过低原料欠火，有效的提高了装置本体的实用性，采用固定螺栓有效的将装置本体进行牢牢的固定，防止因松动对装置造成损坏，且操作简单，维修成本低，在未来具有很好的发展前景。

A silicon carbide single crystal manufacturing equipment

The utility model discloses a device for manufacturing a silicon carbide single crystal, which comprises a device body and a heating cabinet, the upper end of the device body is provided with a material storage box, and between the raw material storage tank and the device body is arranged in parallel, wherein the material storage box is arranged on the upper surface of the bottom plate, the storage of raw materials the installation box has a cutting board, the device body is arranged on the upper surface of the reaction vessel, the upper end of the heating cabinet is installed by the controller, alarm detection temperature of the heating cabinet for raw material heating, avoid high temperature material too much, too low temperature of raw materials under fire, effectively improve the practicability of the device. The fixed bolt effective device body firmly fixed, prevent loosening caused damage to the device, and has the advantages of simple operation, low maintenance cost in the future. It has good prospects for development.

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅单晶制造设备
本技术涉及制造设备
，具体为一种碳化硅单晶制造设备。
技术介绍
碳化硅作为碳和硅唯一稳定的化合物，其晶格结构由致密排列的两个亚晶格组成，每个碳原子与周边包围的硅原子通过定向的强四面体SP3键结合，虽然碳化硅的四面体键很强，但层错形成能量却很低，这一特点决定了碳化硅的多型体现象。碳化硅的这些性能使其成为高频、大功率、耐高温、抗辐照的半导体器件的优选材料，可用于地面核反应堆系统的监控、原油勘探、环境监测及航空、航天、雷达、通讯系统和大功率的电子转换器及汽车马达等领域的极端环境中。另外，采用碳化硅所制备的发光二极管的辐射波长可以覆盖从蓝光到紫光的波段，在光信息显示系统及光集成电路等领域中具有广阔的应用前景。但现有的碳化硅单晶制造设备，由于装置本体的设计不合理，制造碳化硅单晶时工作效率相对较差，采用固定版的卡器，无法进行上下间的移动，不能对存储箱内的原料进行调控，大大降低了存储箱的使用率，对于长时间的工作运行，碳化硅单晶设备不能很好的进行保护，降低了装置本体的使用寿命，且散热性能差，机器外观看似和其他机器相同，但因为一个螺栓的差别也会对装置造成损坏，且加热柜内的温度不好控制，使其维修成本高。所以，如何设计一种碳化硅单晶制造设备，成为我们当前要解决的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅单晶制造设备，以解决上述
技术介绍
中提出由于装置本体的设计不合理，制造碳化硅单晶时工作效率相对较差，采用固定版的卡器，无法进行上下间的移动，不能对存储箱内的原料进行调控，大大降低了存储箱的使用率的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅单晶制造设备，包括装置本体和加热柜，所述装置本体的上端设置有原料存储箱，且所述原料存储箱与所述装置本体之间平行设置，所述原料存储箱的上表面设有转化片，所述原料存储箱的下端安装有砧板，所述装置本体的上表面设有反应器皿，所述加热柜的上端安装有控制器，且所述控制器与所述加热柜通过固定螺栓固定连接，所述加热柜的外侧设置有显示屏和按钮，且所述显示屏与所述加热柜通过强力胶粘合，并且所述按钮与显示屏电性连接，所述加热柜的底端设有滚轮，所述加热柜的右端安装有传送带，且所述传送带和加热柜均嵌套设置在装置本体左侧的表面上，所述砧板的内侧设有高强度弹簧，所述高强度弹簧的上端设有防护垫片。进一步的，所述装置本体的右侧的表面安装有缓冲器，且所述缓冲器与所述装置本体之间紧密贴合。进一步的，所述原料存储箱的左上端设有螺旋卡器，且所述螺旋卡器嵌入设置在所述原料存储箱内。进一步的，所述控制器的一侧安装有报警器，且所述报警器和控制器均嵌套设置在加热柜上。进一步的，所述加热柜的一侧设有散热板，且所述散热板与所述加热柜固定连接。进一步的，所述加热柜的左下端安装有气体填充口，且所述气体填充口嵌入设置在所述加热柜中。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该种碳化硅单晶制造设备，结合了原料存储箱和加热柜结为一体，改进了原有的产品不能有效的制造碳化硅单晶工作效率的缺点，螺旋卡器的设置替换了无法进行上下间的移动的缺点，有效的对原料进行调控，增强了装置本体的便捷性，采用了散热板有效将热量散去，避免了因加热柜温度过高造成电子元件烧损，更换大面积元件的缺点，提高了加热柜的使用性，同时利用报警器进行检测加热柜内的温度对原料的加热情况，避免因温度过高出现原料过火，温度过低原料欠火，有效的提高了装置本体的实用性，采用固定螺栓有效的将装置本体进行牢牢的固定，防止因松动对装置造成损坏，且操作简单，维修成本低，在未来具有很好的发展前景。附图说明图1是本技术的整体结构示意图；图2是本技术砧板局部的结构示意图；图中：1-装置本体；2-原料存储箱；3-加热柜；4-显示屏；5-控制器；6-报警器；7-按钮；8-固定螺栓；9-散热板；10-气体填充口；11-传动带；12-滚轮；13-螺旋卡器；14-转换片；15-反应器皿；16-砧板；17-缓冲器；18-高强度弹簧；19-防护垫片。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种碳化硅单晶制造设备，包括装置本体1和加热柜3，所述装置本体1的上端设置有原料存储箱2，且所述原料存储箱2与所述装置本体1之间平行设置，所述原料存储箱2的上表面设有转化片14，所述原料存储箱2的下端安装有砧板16，所述装置本体1的上表面设有反应器皿15，所述加热柜3的上端安装有控制器5，且所述控制器5与所述加热柜3通过固定螺栓8固定连接，所述加热柜3的外侧设置有显示屏4和按钮7，且所述显示屏4与所述加热柜3通过强力胶粘合，并且所述按钮7与显示屏4电性连接，所述加热柜3的底端设有滚轮12，所述加热柜3的右端安装有传送带11，且所述传送带11和加热柜3均嵌套设置在装置本体1左侧的表面上，所述砧板16的内侧设有高强度弹簧18，所述高强度弹簧18的上端设有防护垫片19。进一步的，所述装置本体1的右侧的表面安装有缓冲器17，且所述缓冲器17与所述装置本体1之间紧密贴合，有效的对装置本体1进行保护，增强了装置本体1的实用性。进一步的，所述原料存储箱2的左上端设有螺旋卡器13，且所述螺旋卡器13嵌入设置在所述原料存储箱1内，便于对原料进行调控，提高了原料存储箱2的便捷性和可靠性。进一步的，所述控制器5的一侧安装有报警器6，且所述报警器6和控制器5均嵌套设置在加热柜3上，有利于提高加热柜的使用性，保护性能又好。进一步的，所述加热柜3的一侧设有散热板9，且所述散热板9与所述加热柜3固定连接，有效的将加热柜3内的热量散去，避免因温度过高造成内部元件损坏，提高了加热柜3的使用性。进一步的，所述加热柜3的左下端安装有气体填充口10，且所述气体填充口10嵌入设置在所述加热柜3中，便于原料进行充分的反应。工作原理：首先，将加热柜3与装置本体1进行连接，并且与电源接通，然后提起螺旋卡器13使原料存储箱2内的原料通过装置本体1原有的支管进行下料传送到反应器皿15内，随后将砧板16下落到反应器皿15内进行原料的打磨，并且将高强度弹簧18设置在砧板16内，有效的对砧板16起到减缓的作用，避免因外力过大直接将原料粉碎，切换转换片14进行砧板16上下间的移动，高效的将原料进行充分打磨，其次将打磨过的原料通过传送带11传送到加热柜3内进行加热，调节按钮7进行温度的调控，同时开启气体填充口10进行氧气的补充，使原料充分的反应，控制器5的使用将温度进行控制在一定的范围内，最后观察显示屏4上的字幕，若字幕在一定范围内且波动的幅度不大，则碳化硅单晶制造完成。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种碳化硅单晶制造设备，包括装置本体（1）和加热柜（3），其特征在于：所述装置本体（1）的上端设置有原料存储箱（2），且所述原料存储箱（2）与所述装置本体（1）之间平行设置，所述原料存储箱（2）的上表面设有转化片（14），所述原料存储箱（2）的下端安装有砧板（16），所述装置本体（1）的上表面设有反应器皿（15），所述加热柜（3）的上端安装有控制器（5），且所述控制器（5）与所述加热柜（3）通过固定螺栓（8）固定连接，所述加热柜（3）的外侧设置有显示屏（4）和按钮（7），且所述显示屏（4）与所述加热柜（3）通过强力胶粘合，并且所述按钮（7）与显示屏（4）电性连接，所述加热柜（3）的底端设有滚轮（12），所述加热柜（3）的右端安装有传送带（11），且所述传送带（11）和加热柜（3）均嵌套设置在装置本体（1）左侧的表面上，所述砧板（16）的内侧设有高强度弹簧（18），所述高强度弹簧（18）的上端设有防护垫片（19）。

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅单晶制造设备，包括装置本体（1）和加热柜（3），其特征在于：所述装置本体（1）的上端设置有原料存储箱（2），且所述原料存储箱（2）与所述装置本体（1）之间平行设置，所述原料存储箱（2）的上表面设有转化片（14），所述原料存储箱（2）的下端安装有砧板（16），所述装置本体（1）的上表面设有反应器皿（15），所述加热柜（3）的上端安装有控制器（5），且所述控制器（5）与所述加热柜（3）通过固定螺栓（8）固定连接，所述加热柜（3）的外侧设置有显示屏（4）和按钮（7），且所述显示屏（4）与所述加热柜（3）通过强力胶粘合，并且所述按钮（7）与显示屏（4）电性连接，所述加热柜（3）的底端设有滚轮（12），所述加热柜（3）的右端安装有传送带（11），且所述传送带（11）和加热柜（3）均嵌套设置在装置本体（1）左侧的表面上，所述砧板（16）的内侧设有高强度弹簧（18），所述高强度弹簧（18）的上端设有防护垫...

【专利技术属性】
技术研发人员：李新奇，
申请(专利权)人：郑州睿科生化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41