The utility model provides a four silicon chloride waste recycling processing device, wherein, four silicon chloride waste liquid into the distillation tower, the then used the evaporation process to form gas phase silicon chloride and four output from the top of the tower reboiler, and four silicon chloride wastewater treatment after discharge from the distillation tower kettle; the first condenser for the gas phase to the liquid phase condensation of four silicon chloride four silicon chloride output to four silicon chloride reflux tank; the four part of the liquid phase in the silicon chloride reflux tank four silicon chloride back to the tower, the other part of the liquid phase four silicon chloride recovery to four silicon tetrachloride recovery tank the residue; hydrolysis reactor for the treatment of four silicon chloride wastewater treatment hydrolysis to form the residual liquid; the candle filter used for solid-liquid separation processing of the residual liquid and discharge. The four silicon chloride waste liquid recovery and treatment device described by the utility model is economical, environmental and easy to operate.
【技术实现步骤摘要】
四氯化硅废液回收处理装置
本技术涉及多晶硅生产
,具体涉及一种四氯化硅废液回收处理装置。
技术介绍
目前,多晶硅的国际市场价格持续走低,各多晶硅生产厂商为增强竞争力一般采取降低生产成本和提高产品质量这两种途径。随着多晶硅生产成本的逐步降低,采用改良西门子法生产多晶硅的主要副产物四氯化硅,其安全环保及回收利用的问题引起了大家的广泛关注。其中,四氯化硅为高毒性物质,极易潮解,与水反应生成硅酸和氯化氢,若直接排放会对人和环境产生极大危害,需要对其进行回收处理。虽然各厂商已经能够通过冷氢化工艺,或者热氢化工艺将副产物四氯化硅转化为多晶硅生产原材料三氯氢硅,但该转化过程中仍不可避免会产生大量的四氯化硅废液,这已经成为制约多晶硅发展的瓶颈。多晶硅生产过程中四氯化硅废液的来源主要有:氯硅烷合成工段的淋洗废液、四氯化硅精馏脱尘残液及尾气冷凝回收液。四氯化硅废液组成主要包括:四氯化硅、双原子硅氯硅烷及多原子硅氯硅烷、金属氯化物杂质、硅粉、聚氯硅烷及尘土等。四氯化硅废液处理的难点和关键是杂质较多、组分复杂,各组分间沸点接近,分离回收难度大。另外,废液中的金属氯化物易在冷凝设备壁上沉积,造成设备堵塞。现有技术对四氯化硅废液的处理方式主要停留在粗放式的水解阶段或者生产低劣品质的白炭黑,这既是对原料的浪费,也将对人和环境造成危害。因此,设计一种能够有效回收处理四氯化硅废液的装置成为目前亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术中所存在的上述缺陷,提供一种经济、环保、易操作的四氯化硅废液回收处理装置。解决本技术技术问题所采用的技术方案是:本技术提供一种四 ...
【技术保护点】
一种四氯化硅废液回收处理装置,其特征在于,包括精馏塔、位于精馏塔塔釜的再沸器、位于精馏塔塔顶的第一冷凝器、四氯化硅回流罐、四氯化硅回收罐、残渣水解器和烛式过滤器,四氯化硅废液进入精馏塔后,所述再沸器用于对其进行蒸发处理以形成气相四氯化硅并从塔顶输出,而处理后的四氯化硅废液从精馏塔塔釜排出;所述第一冷凝器用于将所述气相四氯化硅冷凝为液相四氯化硅后输出至四氯化硅回流罐;所述四氯化硅回流罐中的部分液相四氯化硅回流至精馏塔塔顶,另一部分液相四氯化硅采出至四氯化硅回收罐;所述残渣水解器用于对所述处理后的四氯化硅废液进行水解处理以形成残液;所述烛式过滤器用于对所述残液进行固液分离处理并分别排放。
【技术特征摘要】
1.一种四氯化硅废液回收处理装置,其特征在于,包括精馏塔、位于精馏塔塔釜的再沸器、位于精馏塔塔顶的第一冷凝器、四氯化硅回流罐、四氯化硅回收罐、残渣水解器和烛式过滤器,四氯化硅废液进入精馏塔后,所述再沸器用于对其进行蒸发处理以形成气相四氯化硅并从塔顶输出,而处理后的四氯化硅废液从精馏塔塔釜排出;所述第一冷凝器用于将所述气相四氯化硅冷凝为液相四氯化硅后输出至四氯化硅回流罐;所述四氯化硅回流罐中的部分液相四氯化硅回流至精馏塔塔顶,另一部分液相四氯化硅采出至四氯化硅回收罐;所述残渣水解器用于对所述处理后的四氯化硅废液进行水解处理以形成残液;所述烛式过滤器用于对所述残液进行固液分离处理并分别排放。2.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,四氯化硅废液从精馏塔的中下部进入其中,所述再沸器具体用于将进入精馏塔塔釜的四氯化硅废液中的一部分加热汽化以形成四氯化硅蒸汽,上升的四氯化硅蒸汽与下降的四氯化硅废液逆流接触的过程中,废液中的部分四氯化硅转移到四氯化硅蒸汽中,同时四氯化硅蒸汽中的杂质转移到废液中,从而形成纯净的气相四氯化硅并从精馏塔塔顶输出,吸收了四氯化硅蒸汽中的杂质且部分四氯化硅从其中分离的废液作为处理后的四氯化硅废液从精馏塔塔釜排出。3.根据权利要求1所述的回收处理装置,其特征在于,所述精馏塔的回流比为2~3。4.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:江庆云,李聚安,王伟,陈国辉,王玉丽,
申请(专利权)人:新特能源股份有限公司,
类型:新型
国别省市:新疆,65
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