一种新型质子交换反应炉及使用方法技术

本发明专利技术涉及一种质子交换领域，特别是涉及一种新型质子交换反应炉及使用方法，包括水平旋转的玻璃容器、晶圆夹具和晶圆片，所述玻璃容器内设置有质子交换反应溶液，所述晶圆夹具沿所述玻璃容器内壁轴向活动设置于该玻璃容器内，所述晶圆片横向嵌设于所述晶圆夹具内，且该晶圆片大面均与所述质子交换反应溶液接触，添加自动匀速搅拌装置，提高反应均匀性，使反应环境平衡，并提高晶圆片与溶液的接触面，保证产品一致性，使反应可控性强，操作简便。

A new type of proton exchange reaction furnace and its application

The invention relates to the field of a proton exchange, especially relates to a novel proton exchange reaction furnace and method of use, including glass container, horizontal rotating wafer and wafer clamp, the glass container is arranged in the proton exchange reaction solution, the wafer holder along the glass container is arranged in the axial movement of glass containers in the wafer laterally embedded in the wafer holder, and the wafer surface exchange reaction solution are in contact with the proton, adding automatic uniform mixing device, improve the uniformity of the reaction, the reaction environment balance, and increase the contact surface of the wafer and the solution, ensure product consistency, so that the reaction is highly controllable, simple operation.

【技术实现步骤摘要】
一种新型质子交换反应炉及使用方法
本专利技术涉及一种质子交换领域，特别是涉及一种新型质子交换反应炉及使用方法。
技术介绍
质子交换是很多化学反应中必不可少的步骤，随着技术的不断发展，对质子交换装置的要求越来越高，而目前的质子交换装置中晶圆片为竖直放置，没有旋转机构，只有手动提杆，会由于搅拌的不充分，导致容器内液体存在上下温度差，当溶液在反应一段时间后达到某种平衡时便会停止反应，需手动提拉搅拌促进反应，使溶液浓度不平衡，质子交换不够充分，反应不均匀，可控性不强。
技术实现思路
针对上述现有技术中的不足之处，本专利技术旨在提供一种新型质子交换反应炉及使用方法，采用晶圆片横向设置，活动杆设置为自动提拉，并添加旋转机构自动旋转搅拌，提高晶圆片间、片内的质子交换反应的均匀性，防止钝化，达到反应环境平衡，使各部分质子交换反应一致，并保证反应中同一深度溶液的温度恒定性，使该交换技术工艺可控性强，且操作简单。为实现上述目的，本专利技术的技术方案：一种新型质子交换反应炉及使用方法，包括水平旋转的玻璃容器、晶圆夹具和晶圆片，所述玻璃容器内设置有质子交换反应溶液，所述晶圆夹具沿所述玻璃容器内壁轴向活动设置于该玻璃容器内，所述晶圆片横向嵌设于所述晶圆夹具内，且该晶圆片大面均与所述质子交换反应溶液接触。本专利技术的有益效果：与现有技术相比，本专利技术一种新型质子交换反应炉及使用方法，利用活动杆自动匀速升降，旋转机构自动匀速旋转，晶圆片水平放置，使接触到晶圆片的溶液浓度基本一致，从而控制质子交换反应的时间，使晶圆充分进行质子交换反应，保证质子交换的一致性和质量稳定性。附图说明图1是本专利技术的结构示意图。附图中1-活动杆；2-晶圆夹具；3-晶圆片；4-玻璃容器；5-旋转机构；6-炉体；201-卡位槽。具体实施方式下面结合具体实施例来进一步详细说明本专利技术。如图所示，本专利技术一种新型质子交换反应炉及使用方法，包括水平旋转的玻璃容器4、晶圆夹具2和晶圆片3，所述玻璃容器4内设置有质子交换反应溶液，所述晶圆夹具2沿所述玻璃容器4内壁轴向活动设置于该玻璃容器4内，所述晶圆片3嵌设于所述晶圆夹具2内，且该晶圆片3大面均与所述质子交换反应溶液接触。进一步的，所述晶圆夹具2上设置有活动杆1，所述活动杆1上部设有拉伸装置，所述活动杆1与所述晶圆夹具2一体成型，构成叉型结构，该拉伸装置设定为自动匀速提拉。进一步的，还包括旋转机构5和炉体6，所述玻璃容器4固定设置于所述旋转机构5上端，所述旋转机构5主轴穿过所述炉体6，所述玻璃容器4设置于所述炉体6内。进一步的，所述晶圆片3横向设置于所述晶圆夹具2内。所述晶圆片3包括至少一片，且相邻两片之间设有间隙。进一步的，所述晶圆夹具2包括相对设置的第一夹壁和第二夹壁，所述第一夹壁和第二夹壁上端通过一连接板连接，所述第一夹壁和第二夹壁内侧设有多个相对的卡位槽201，所述第一夹壁和第二夹壁横截面可为方形或圆弧型，且所述第一夹壁、第二夹壁和连接板一体成型。一种新型质子交换反应炉的使用方法，具体步骤如下：S1：将设定的质子交换反应溶液置于所述玻璃容器4内；S2：活动杆1带动晶圆片3上下搅拌；S3：旋转机构5带动玻璃容器4旋转搅拌质子交换反应溶液；S4：晶圆片3与质子交换反应溶液充分接触反应，得到质子交换产品。进一步的，使用该方法操作简单，活动杆1和旋转机构5自动匀速的运动，提高晶圆片3与质子交换反应溶液接触的均匀性，防止钝化，使反应环境平衡，整个反应可控性强，并能保证质子交换产品的一致性和稳定性。以上对本专利技术实施例所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本专利技术实施例的原理以及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只适用于帮助理解本专利技术实施例的原理；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本专利技术实施例，在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本专利技术的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型质子交换反应炉，其特征在于，包括水平旋转的玻璃容器(4)、晶圆夹具(2)和晶圆片(3)，所述玻璃容器(4)内设置有质子交换反应溶液，所述晶圆夹具(2)沿所述玻璃容器(4)内壁轴向活动设置于该玻璃容器(4)内，所述晶圆片(3)嵌设于所述晶圆夹具(2)内，且该晶圆片(3)大面均与所述质子交换反应溶液接触。

【技术特征摘要】
1.一种新型质子交换反应炉，其特征在于，包括水平旋转的玻璃容器(4)、晶圆夹具(2)和晶圆片(3)，所述玻璃容器(4)内设置有质子交换反应溶液，所述晶圆夹具(2)沿所述玻璃容器(4)内壁轴向活动设置于该玻璃容器(4)内，所述晶圆片(3)嵌设于所述晶圆夹具(2)内，且该晶圆片(3)大面均与所述质子交换反应溶液接触。2.如权利要求1所述的一种新型质子交换反应炉，其特征在于：所述晶圆夹具(2)上设置有活动杆(1)，所述活动杆(1)上部设有拉伸装置。3.如权利要求1所述的一种新型质子交换反应炉，其特征在于：还包括旋转机构(5)和炉体(6)，所述玻璃容器(4)固定设置于所述旋转机构(5)上端，所述旋转机构(5)主轴穿过所述炉体(6)，所述玻璃容器(4)设置于所述炉体(6)内。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：罗海荣，刘华成，
申请(专利权)人：重庆鹰谷光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50