光照射装置以及光照射方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够通过一次光取向处理在一片工件上形成取向方向不同的多个区域的光照射装置以及光照射方法。光照射装置(偏振光照射装置)(300)具备：第一光照射部组，设置在工件W的传输路径上，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第一偏振光的多个光照射部；第二光照射部组，在传输路径上与第一光照射部组排列设置，通过第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第二偏振光的多个光照射部，上述第二偏振镜具有与第一偏振镜不同的方向的透射轴；以及照射阻止部，通过分别阻止从多个光照射部的光出射口分别出射的偏振光向工件的照射，规定出应通过第一偏振光进行光取向的工件上的第一区域、以及应通过第二偏振光进行光取向的工件上的第二区域。

Light irradiation device and light irradiation method

The invention provides a light irradiation device and a light irradiation method capable of forming a plurality of regions with different orientations in one piece of workpiece through one optical orientation treatment. Light irradiation apparatus (light irradiation device) (300) includes a first light irradiation group, arranged on the transmission path of the workpiece W, through the first polarizer of polarization of light from a light source with a plurality of light from the light irradiation part jet irradiating a first polarized light; Second Department of the group in the transmission on the path and the first light irradiation groups arranged by the second polarizer polarization of light from a light source with a plurality of light from the light irradiation part jet irradiation second polarized light, the transmission shaft of the second polarizer is different from the first polarizer direction; and irradiation stop, stop by shooting from a plurality of light irradiation of light emitted by the light outlet are respectively set to the workpiece irradiation, should be the first region, the workpiece orientation through the first light polarized light and the polarized light into second through The second area on a workpiece that is orientations of the light.

【技术实现步骤摘要】
光照射装置以及光照射方法
本专利技术涉及向工件照射偏振光的光照射装置以及光照射方法。
技术介绍
近年来，关于以液晶面板为首的液晶显示元件的取向膜、视场角补偿薄膜的取向层等的取向处理，采用照射规定波长的偏振光来进行取向的被称作光取向的技术。例如，在专利文献1中公开了用于光取向的光照射装置。该光照射装置具备沿光照射区域的宽度方向排列配置的多个光源、以及对来自该光源的光进行偏振的偏振元件，对与排列光源的方向正交的方向上传输的工件照射偏振光，从而进行光取向处理。专利文献1：日本特开2014－13277号公报然而，光取向处理不仅对电视画面用的液晶面板那样的大型基板实施，而且对智能电话用等中小型液晶显示器中也实施。因此，希望高效地制造大型的液晶显示器与中小型的液晶显示器等不同尺寸、不同用途的显示器。为了响应这样的希望，需要在一片基板上形成取向方向不同的多个取向区域，将该基板作为母基板制作多种基板。但是，以往的光照射装置只能对一片基板的整个面照射具有一定方向的偏振轴的偏振光。因此，不能在一片基板上形成取向方向不同的多个取向区域。
技术实现思路
因此，本专利技术的课题在于，提供能够通过一次光取向处理在一片工件上形成取向方向不同的多个区域的光照射装置以及光照射方法。为了解决上述课题，本专利技术的光照射装置的一方式为，一种光照射装置，对形成有光取向膜的工件照射偏振光来进行光取向，具备：工作台，将上述工件沿着规定的传输路径进行传输；第一光照射部组，设置在上述工件的传输路径上，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第一偏振光的多个光照射部；第二光照射部组，在上述传输路径上与上述第一光照射部组排列设置，通过第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第二偏振光的多个光照射部，上述第二偏振镜具有与上述第一偏振镜不同的方向的透射轴；以及照射阻止部，通过分别阻止从上述多个光照射部的光出射口分别出射的偏振光向上述工件的照射，规定出应通过上述第一偏振光进行光取向的上述工件上的第一区域、以及应通过上述第二偏振光进行光取向的上述工件上的第二区域。通过上述结构，能够通过遮光阻止部来规定从第一光照射部组出射的第一偏振光所照射的工件上的区域、以及从第二光照射部组出射的第二偏振光所照射的工件上的区域。由此，能够将偏振轴分别不同的多个偏振光向一片工件分照射区域来照射，能够通过一次光取向处理，在一片工件上形成取向方向不同的多个取向区域。因此，能够高效地制造不同尺寸、不同用途的基板，能够提高生产率。另外，在上述的光照射装置中，也可以是，上述照射阻止部由能够分别控制上述多个光照射部的点亮与熄灭的照射控制部构成。这样，能够构成为分别对各光照射部进行点亮控制，由此无需追加部件，就能够适当地向一片工件分照射区域来照射偏振轴分别不同的多个偏振光。并且，在上述的光照射装置中，也可以是，上述照射阻止部由板部件构成，该板部件配置于上述光出射口与上述工件之间，从而能够对从上述光出射口出射的、有助于上述光取向膜的光取向的波长的偏振光进行遮光。这样，构成为能够使用板部件将从各光照射部出射的偏振光分别进行遮光，由此与例如控制光照射部的点亮以及熄灭的情况相比较，能够迅速地进行偏振光的照射的允许与阻止的切换。另外，在上述的光照射装置中，也可以是，上述第一光照射部组以及上述第二光照射部组中的至少一方，在利用上述照射阻止部允许了上述偏振光向上述工件的照射的光照射部所配置的照射允许区域、以及利用上述照射阻止部阻止了上述偏振光向上述工件的照射的光照射部所配置的照射阻止区域的边界位置，具备对上述偏振光进行遮光的遮光部件。在该情况下，即使在工件上应形成的取向方向不同的多个取向区域彼此非常接近的情况下，也能够防止照射允许区域的从光照射部出射的偏振光向照射阻止区域的正下方的区域回绕，能够防止不希望的偏振光向工件的照射。并且，在上述的光照射装置中，也可以是，上述遮光部件构成为，能够在从上述多个光照射部的光出射口出射的偏振光的可照射区域内的上述边界位置、以及从上述可照射区域退避的退避位置之间移动。由此，能够根据工件上应形成的多个取向区域的位置(布局)，在适当的位置配置遮光部件。另外，在工件上的多个取向区域间的间隙较大、无需在边界位置配置遮光部件的情况下等，也可以使遮光部件向退避位置移动。另外，在上述的光照射装置中，也可以是，上述照射阻止部在沿着上述传输路径的方向上，对来自与上述传输路径正交的方向上位于规定区间的上述光照射部的上述偏振光向上述工件的照射进行阻止。在该情况下，能够在工件上形成从哪个光照射部都被不照射偏振光的区域。换句话说，能够避免偏振轴的方向不同的多个偏振光掺混地可靠地区分区域而向工件上照射。因此，能够在工件上适当地形成取向方向不同的多个取向区域。另外，在上述的光照射装置中，也可以是，上述第一光照射部组以及上述第二光照射部组中的至少一方在沿着上述传输路径的方向上具备多列上述光照射部。在该情况下，能够确保通过一次的光取向处理照射到工件上的偏振光的累计光量，缩短光取向处理所需的时间。另外，在上述的光照射装置中，也可以是，上述多列的光照射部之中属于规定的列的多个光照射部，相对于属于不同的列的多个光照射部，分别在与上述传输路径正交的方向上位移地配置。由此，能够抑制与传输路径正交的方向上的累计光量的偏差。并且，在上述的光照射装置中，也可以是，上述多列的光照射部之中属于规定的列的多个光照射部被配置成，从上述光出射口照射的偏振光在与上述传输路径正交的方向上的照度分布，和从属于不同列的多个光照射部的上述光出射口照射的偏振光在与上述传输路径正交的方向上的照度分布成为互补的关系。由此，能够使与传输路径正交的方向上的累计光量均匀。另外，本专利技术的光照射方法的一方式为，一种光照射方法，对形成有光取向膜的工件照射偏振光来进行光取向，包括以下步骤：在设置在上述工件的传输路径上、通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振、并具备从光出射口照射第一偏振光的多个光照射部的第一光照射装置组中，分别阻止分别从上述多个光照射部的光出射口出射的上述第一偏振光向上述工件的照射，由此规定出应利用上述第一偏振光进行光取向的、上述工件上的第一区域；在于上述传输路径上与上述第一光照射部组排列设置、通过第二偏振镜对来自光源的光进行偏振、并具备从光出射口照射第二偏振光的多个光照射部的第二光照射部组中，分别阻止分别从上述多个光照射部的光出射口出射的上述第二偏振光向上述工件的照射，由此规定出应利用上述第二偏振光进行光取向的、上述工件上的第二区域，上述第二偏振镜具有与上述第一偏振镜不同的方向的透射轴；以及通过工作台沿上述传输路径传输上述工件，对上述工件上的上述第一区域照射上述第一偏振光，对上述工件上的上述第二区域照射上述第二偏振光。通过上述结构，能够将偏振轴分别不同的多个偏振光向一片工件分照射区域来照射，能够通过一次光取向处理，在一片工件上形成取向方向不同的多个取向区域。因此，能够有效地制造不同尺寸、不同用途的基板，能够提高生产率。专利技术的效果根据本专利技术，能够将偏振轴分别不同的多个偏振光向一片工件分照射区域来照射，因此能够通过一次光取向处理在一片工件上形成取向方向不同的多个取向区域。因此，能够有效地制造不同尺寸、不同用途的基板，能够提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光照射装置，对形成有光取向膜的工件照射偏振光来进行光取向，其特征在于，具备：工作台，将上述工件沿着规定的传输路径进行传输；第一光照射部组，设置在上述工件的传输路径上，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第一偏振光的多个光照射部；第二光照射部组，在上述传输路径上与上述第一光照射部组排列设置，通过第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第二偏振光的多个光照射部，上述第二偏振镜具有与上述第一偏振镜不同的方向的透射轴；以及照射阻止部，通过分别阻止从上述多个光照射部的光出射口分别出射的偏振光向上述工件的照射，规定出应通过上述第一偏振光进行光取向的上述工件上的第一区域、以及应通过上述第二偏振光进行光取向的上述工件上的第二区域。

【技术特征摘要】
2016.07.29 JP 2016-1491481.一种光照射装置，对形成有光取向膜的工件照射偏振光来进行光取向，其特征在于，具备：工作台，将上述工件沿着规定的传输路径进行传输；第一光照射部组，设置在上述工件的传输路径上，通过第一偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第一偏振光的多个光照射部；第二光照射部组，在上述传输路径上与上述第一光照射部组排列设置，通过第二偏振镜对来自光源的光进行偏振，具备从光出射口照射第二偏振光的多个光照射部，上述第二偏振镜具有与上述第一偏振镜不同的方向的透射轴；以及照射阻止部，通过分别阻止从上述多个光照射部的光出射口分别出射的偏振光向上述工件的照射，规定出应通过上述第一偏振光进行光取向的上述工件上的第一区域、以及应通过上述第二偏振光进行光取向的上述工件上的第二区域。2.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，上述照射阻止部由能够分别控制上述多个光照射部的点亮与熄灭的照射控制部构成。3.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，上述照射阻止部由板部件构成，该板部件配置于上述光出射口与上述工件之间，从而能够对从上述光出射口出射的、有助于上述光取向膜的光取向的波长的偏振光进行遮光。4.如权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，上述第一光照射部组以及上述第二光照射部组中的至少一方，在利用上述照射阻止部允许了上述偏振光向上述工件的照射的光照射部所配置的照射允许区域、以及利用上述照射阻止部阻止了上述偏振光向上述工件的照射的光照射部所配置的照射阻止区域的边界位置，具备对上述偏振光进行遮光的遮光部件。5.如权利要求4所述的光照射装置，其特征在于，上述遮光部件构成为，能够在从上述多个光照射部的光出射口出射的偏振光的可照射区域内的上述边界位置、以及从上述可照射区域退避的退避位置之间移动。6.如权利要求1所述的光...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井一正，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP