位置检测装置及位置检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够在基板的正反两面进行基板的定位的位置检测装置。支承部支承基板。至少一个摄像装置对支承于支承部的基板进行拍摄。处理部根据由一个摄像装置拍摄支承于支承部的基板的角部而得到的第1图像来求出基板的位置信息。之后，处理部根据由一个摄像装置拍摄将正反面翻转后支承于支承部的基板的角部而得到的第2图像、第1图像及根据第1图像而求出的基板的位置信息，求出正反面翻转后的基板的位置信息。

Position detection device and position detection method

The present invention provides a position detection device capable of locating a substrate on both sides of the base and the opposite sides of the substrate. The supporting part supports the base plate. At least one camera device is photographed for a substrate supported on the supporting part. The processing unit calculates the position information of the substrate by taking a first image obtained by taking a corner part supported on the supporting part by a camera device. After that, the processing part is photographed according to the location information of the second image, the first image and the base plate obtained from the first image according to the corner part of the base plate which is supported by the positive and negative flip and is supported on the supporting part according to a camera device, and the position information of the substrate after flip flip is obtained.

【技术实现步骤摘要】
位置检测装置及位置检测方法本申请主张基于2016年7月27日于日本申请的日本专利申请第2016-146855号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。
本专利技术涉及一种位置检测装置及位置检测方法。
技术介绍
已知有一种在对基板进行绘图或加工时使用形成于基板的对准标记而对基板进行定位的技术。在对基板的正反两面进行绘图或加工时，期待正反面上的绘图位置或加工位置彼此一致。可以在基板的内层植入对准标记，并从正反两面检测一个对准标记，从而在正反两面进行定位。作为从正反两面检测内层的对准标记的方法，可考虑使用照射强光来使对准标记浮出的方法及进行锪孔(counterboring)加工直到对准标记露出为止的方法。在下述专利文献1中，公开有一种根据对基板的角部附近进行拍摄而得到的图像数据来对基板进行定位的网版印刷技术。专利文献1：日本特开2014-205286号公报但是，对于在内层未形成有对准标记的基板而言，无法应用从正反两面检测对准标记而对基板进行定位的方法。在专利文献1中，公开有一种仅在基板的单侧面进行定位的技术，并未公开在正反两面进行定位的技术。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够在基板的正反两面进行基板的定位的位置检测装置及位置检测方法。根据本专利技术的一个观点，本专利技术提供一种位置检测装置，其具有：支承部，支承基板；至少一个摄像装置，对支承于所述支承部的所述基板进行拍摄；及处理部，所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄支承于所述支承部的所述基板的角部而得到的第1图像来求出所述角部的位置信息，所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄将正反面翻转后支承于所述支承部的所述基板的所述角部而得到的第2图像、所述第1图像及根据所述第1图像而求出的所述角部的位置信息，求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息。根据本专利技术的另一观点，本专利技术提供一种位置检测方法，其中，从基板的第1面侧拍摄所述基板的角部而获取第1图像，根据所述第1图像，求出从所述基板的所述第1面侧观察时的所述角部的位置信息，从与所述第1面相反一侧的第2面侧拍摄所述基板的所述角部而获取第2图像，根据所述第1图像、所述第2图像及根据所述第1图像而求出的所述基板的所述角部的位置信息，求出从所述基板的所述第2面侧观察时的所述角部的位置信息。由于根据拍摄基板的角部而得到的第1图像、拍摄将正反面翻转后的基板的同一个角部而得到的第2图像及根据第1图像而求出的基板的位置信息求出正反面翻转后的所述基板的位置信息，因此能够在基板的正反两面将角部作为共同的基准点。与分别对第1图像和第2图像进行图像分析而检测出角部的位置的方法相比，能够减少基板的正反两面上的共用的基准点的错位。附图说明图1A是基于实施例的位置检测装置的概略立体图，图1B是表示将基板的正反面翻转的步骤的图，图1C是基于实施例的位置检测装置的基板翻转之后的概略立体图。图2A是表示基板的角部及其周围的第1图像的一例的图，图2B是表示基板的角部及其周围的第2图像的一例的图。图3是用于说明根据第1图像与第2图像检测基板的角部的位置的方法的图。图4是用于说明产生匹配错误的例子的图。图5A及图5B分别是被摄像装置拍摄的基板内的一部分的剖视图。图6是基于另一实施例的膜形成装置的概略主视图。图7A及图7B是图6所示的实施例中所使用的基板的俯视图，其中，图7B是图7A的单点划线7B-7B处的剖视图。图8是在图6所示的实施例中所使用的基板上形成蚀刻用抗蚀图案的方法的流程图。图中：10-支承部，11A、11B-摄像装置，12-处理部，13-存储部，15A、15B-摄像范围，16A、16B-升降机构，20-基台，21-移动机构，23-载物台，24-门型框架，26-喷墨头，30-控制装置，31-存储装置，35-输入装置，36-输出装置，50-基板，51-基板的角部，55-基板的角部及其周围的图像(第1图像)，55a-第1翻转图像，55b-模板，56-基板的角部及其周围的图像(第2图像)，57-端面，61-支承基板，62、63-导电膜，DF-景深。具体实施方式下面，参考图1A～图4，对基于实施例的位置检测装置及位置检测方法进行说明。图1A是基于实施例的位置检测装置的概略立体图。基于本实施例的位置检测装置包括支承部10、摄像装置11A、摄像装置11B、处理部12及存储部13。处理对象(即基板50)支承于支承部10的上表面(支承面)。摄像装置11A对支承部10的支承面上的摄像范围15A内进行拍摄，从而获取图像数据。摄像装置11B对支承部10的支承面上的另一范围进行拍摄，从而获取图像数据。处理部12执行存储于存储部13中的处理程序，从而实现位置检测功能。在存储部13中，除了存储有处理程序之外，还存储有由摄像装置11A、11B获取的图像数据及处理部12的处理结果(即坐标数据)等。基板50的平面形状具有多个角部。接着，对使用图1A所示的位置检测装置来检测基板50的位置的方法进行说明。首先，如图1A所示，将基板50支承于支承部10的支承面上，并且调整基板50与摄像装置11A之间的相对位置，以使一个角部51进入摄像范围15A。在该调整中，根据来自处理部12的指令，可以使支承部10移动，也可以使摄像装置11A移动。在该状态下，摄像装置11A对包括基板50的角部51的区域进行拍摄。处理部12读取由摄像装置11A获取的图像(以下，称为第1图像55)。处理部12将从摄像装置11A读取的第1图像55的图像数据存储于存储部13中。在图2A中示出第1图像55的一例。第1图像55在内部包括基板50的角部51。处理部12(图1A)对第1图像55进行图像分析，从而检测摄像范围15A内的角部51的位置。以下，对位置检测步骤的一例进行说明。处理部12首先抽取基板50的轮廓。之后，分别将夹着角部51的一对边缘近似成直线。将近似后得到的两条直线相交的交点的坐标设为角部51的坐标。根据角部51的坐标及支承部10和摄像装置11A之间的相对位置关系，求出角部51的位置信息(例如，相对于支承部10固定的对准坐标系中的坐标)。利用相同的方法求出至少另一个角部的位置信息，从而确定基板50在面内方向上的位置及姿势。处理部12(图1A)将计算出的角部51及另一角部的位置信息存储于存储部13(图1A)中。在确定了基板50的位置及姿势之后，对基板50的朝向上方的面(以下，称为第1面。)进行处理。该处理例如为形成具有所期望的图案的膜的处理。接着，如图1B所示，将基板50的正反面翻转后将基板50支承于支承部10的支承面上。由此，基板50的与第1面相反一侧的第2面朝向上方。如图1C所示，调整基板50与摄像装置11B之间的相对位置，以使基板50的角部51进入摄像装置11B的摄像范围15B。在该调整种中，根据来自处理部12的指令，可以使支承部10移动，也可以使摄像装置11B移动。在该状态下，摄像装置11B对包括基板50的角部51的区域进行拍摄。处理部12读取由摄像装置11B获取的图像(以下，称为第2图像56)。在图2B中示出由摄像装置11B拍摄的第2图像56的一例。第2图像56包括基板50的角部51及其周围。在图2A中示出的第1图像55中，基板50显现在整个图像的左下区域，而在图2B中示出的例本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种位置检测装置，其特征在于，具有：支承部，支承基板；至少一个摄像装置，对支承于所述支承部的所述基板进行拍摄；及处理部，所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄支承于所述支承部的所述基板的角部而得到的第1图像来求出所述角部的位置信息，所述处理器根据由一个所述摄像装置拍摄将正反面翻转后支承于所述支承部的所述基板的所述角部而得到的第2图像、所述第1图像及根据所述第1图像而求出的所述角部的位置信息，求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息。

【技术特征摘要】
2016.07.27 JP 2016-1468551.一种位置检测装置，其特征在于，具有：支承部，支承基板；至少一个摄像装置，对支承于所述支承部的所述基板进行拍摄；及处理部，所述处理部根据由一个所述摄像装置拍摄支承于所述支承部的所述基板的角部而得到的第1图像来求出所述角部的位置信息，所述处理器根据由一个所述摄像装置拍摄将正反面翻转后支承于所述支承部的所述基板的所述角部而得到的第2图像、所述第1图像及根据所述第1图像而求出的所述角部的位置信息，求出正反面翻转后的所述基板的所述角部的位置信息。2.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述摄像装置的景深范围包括支承于所述支承部的所述基板的上表面及下表面这双方。3.根据权利要求1所述的位置检测装置，其特征在于，所述位置检测装置还具有自动调焦机构，该自动调焦机构使所述摄像装置(11A、11B)对焦于基板(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈本裕司，
申请(专利权)人：住友重机械工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP