一种单晶硅生长炉炉盖固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及单晶炉设备技术领域，具体是一种单晶硅生长炉炉盖固定装置，包括安装在单晶炉机架立柱上的基座，所述基座垂直向上伸出支撑架，所述支撑架的顶端安装垂直朝向于炉盖导向轴的固定爪，所述固定爪的尾端与所述支撑架铰接、头端上设有与所述炉盖的槽孔相配适的挂钩。本实用新型专利技术的有益效果是，操作简单实用，有效解决了现有单晶硅生长炉的炉盖固定方式不合理的问题，简化分离单晶硅生长炉炉盖与炉筒步骤，且对炉盖进行简易固定，大幅缩短了生产时间，省时省力。

A single crystal silicon growth furnace cover fixing device

The utility model relates to the technical field of single crystal furnace equipment, in particular to a crystal growth furnace cover fixing device, which comprises a base installed in the column on the single crystal furnace frame, the base vertically extending support frame, wherein the top support frame mounted vertically toward the fixed jaw to the guide shaft furnace cover, the tail end of the the fixing claw is hinged with the supporting frame, the head end is provided with a furnace cover slot matched hook. The utility model has the advantages of simple operation, practical, effective solution to the existing crystal growth furnace cover fixed unreasonable problem, simplify the separation of crystal growth furnace and furnace tube and the steps are simple, the furnace cover is fixed, shorten production time, saving time and effort.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生长炉炉盖固定装置
本技术涉及单晶炉设备
，具体是一种单晶硅生长炉炉盖固定装置。
技术介绍
单晶硅生长炉在使用过程中，在长晶前及长晶后，操作者需要将炉盖上升到确定高度及特定位置，使炉盖与炉筒形成错开角度并分离，以方便炉筒上升后退出热场。由于炉盖会绕导向轴自由旋转，当炉盖旋转处于自由旋转状态，会与上升的炉筒碰撞，影响炉筒上升，甚至造成安全事故。申请号为“201410228160.1”、申请公布号为“CN105220236A”、名称为“一种晶体炉炉盖起吊辅具”的中国技术专利公开了一种晶体炉炉盖起吊辅具，所述起吊辅具包括起吊杆，以及设置在起吊杆上的高度调节装置；所述高度调节装置包括摇柄，与摇柄相连的齿轮，以及与齿轮啮合的丝杆；所述起吊杆一端设置有与晶体炉升降装置相连的第一夹持机构，起吊杆的内部设有用于安置丝杆的空腔；所述丝杆一端安置在空腔内，另一端设有用于起吊炉盖的第二夹持机构。操作该起吊辅具时，首先将第一夹持机构紧固在晶体炉升降装置的横梁上，需要起吊时，摇动摇柄带动丝杆上的第二夹持机构向下运动，然后将第二夹持机构夹持在纵杆上，接着反向摇动摇柄，进而带动炉盖向上移动，实现炉盖与炉体的分离。所述起吊辅具需进行包括在晶体炉上设置横梁、把第一夹持机构夹持在晶体炉升降装置的横梁上、把第二夹持机构夹持在纵杆上等步骤，步骤较多，且每个步骤均需要一定的精准度，增加了操作者的劳动量。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种简化分离单晶硅生长炉炉盖与炉筒步骤且能对炉盖进行简易固定的单晶硅生长炉炉盖固定装置。为了达到上述目的，本技术提供了一种单晶硅生长炉炉盖固定装置，包括安装在单晶炉机架立柱上的基座，所述基座垂直向上伸出支撑架，所述支撑架的顶端安装垂直朝向于炉盖导向轴的固定爪，所述固定爪的尾端与所述支撑架铰接、头端上设有与所述炉盖的槽孔相配适的挂钩；在所述支撑架上部的一侧设有第一弹簧支柱，所述固定爪的一侧设有第二弹簧支柱，在该第一弹簧支柱与第二弹簧支柱之间安装弹簧，所述固定爪以第一弹簧支柱为轴心、以弹簧的长度为轴长绕支撑架进行周向运动；在所述支撑架上还设有与所述固定爪相配适的第一近接开关以及垂直所述炉盖导向轴的第二近接开关，所述第一近接开关的感应面垂直向上，所述第二近接开关的感应面朝向所述炉盖导向轴。所述固定爪以第一弹簧支柱为轴心、以弹簧的长度为轴长绕支撑架进行周向运动，巧妙地限制了固定爪的转动范围，有效限定了固定爪在第一近接开关与适合高度、位置的炉盖间的活动空间。优选地，所述的基座的顶部对称形成两个挡板，这两个挡板上设有开孔；所述固定爪上设有安装孔；转轴依次穿过第一个挡板、固定爪及第二个挡板。该结构提高了基座上安装固定爪的稳定性。优选地，所述的支撑架上设有开关支架，所述第一近接开关与第二近接开关连接在该开关支架上后安装在所述支撑架上。优选地，所述的固定爪与支撑架之间形成的夹角α的夹角范围为90-270°；所述的弹簧与支撑架之间形成的夹角β的夹角范围为30-150°。优选地，所述的固定爪上安装转动手柄。优选地，所述的弹簧外套设保护壳。更进一步，在于所述第一弹簧支柱同侧的支撑架表面安装自动推杆机构，所述自动推杆机构与所述保护壳配适连接。本技术的有益效果是，固定爪在弹簧的作用下有两种位置状态，在单晶硅生长炉正常使用过程中，固定爪位于状态二，即固定爪的头端位于第一近接开关上方时，所述第一近接开关感应到固定爪，此时炉盖上升和下降都不会碰到固定爪；在长晶前及长晶后，操作者需要将炉盖上升到确定高度及特定位置，当第二近接开关感应到炉盖处于这个特定的高度即位置后，只需要手动转动固定爪或固定爪上的转动手柄，将固定爪朝向炉盖导向轴方向翻转180，此时固定爪位于状态一，且固定爪的挂钩正好挂住炉盖的槽孔，对炉盖起到定位作用，这个时候可以提升炉筒，不会造成炉盖与炉筒的碰撞。进一步地通过两个自动推杆机构实现在第二近接开关感应到炉盖位置时，自动推动固定爪，使固定爪位于需要位置的作用。本技术操作简单实用，有效解决了现有单晶硅生长炉的炉盖固定方式不合理的问题，简化分离单晶硅生长炉炉盖与炉筒步骤，且对炉盖进行简易固定，大幅缩短了生产时间，省时省力。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的使用状态示意图；图3为实施例2的结构示意图。其中：1-基座2-支撑架3-第一弹簧支柱4-弹簧5-第二弹簧支柱6-固定爪7-转轴8-支架9-第一近接开关10-第二近接开关11，11′-挡板具体实施方式以下结合附图和具体实施例，对本技术做进一步说明。实施例1：如图1、2所示的一种单晶硅生长炉炉盖固定装置，包括安装在单晶炉机架立柱上的基座1，其特征在于，所述基座1垂直向上伸出支撑架2，所述支撑架2的顶端安装垂直朝向于炉盖导向轴的固定爪6，所述固定爪6的尾端与所述支撑架2铰接、头端上设有与所述炉盖的槽孔相配适的挂钩61；在所述支撑架2上部的一侧设有第一弹簧支柱3，所述固定爪6的一侧设有第二弹簧支柱5，在该第一弹簧支柱3与第二弹簧支柱5之间安装弹簧4，所述固定爪6以第一弹簧支柱3为轴心、以弹簧4的长度为轴长绕支撑架2进行周向运动；在所述支撑架2上还设有与所述固定爪6相配适的第一近接开关9以及垂直于所述炉盖导向轴的第二近接开关10，所述第一近接开关9的感应面垂直向上，所述第二近接开关10的感应面朝向所述炉盖导向轴。所述的基座1的顶部对称形成挡板11和挡板11′，这两个挡板上设有开孔；所述固定爪6上设有安装孔；转轴7依次穿过第一个挡板11、固定爪6及第二个挡板11′。所述的支撑架2上设有开关支架8，所述第一近接开关9与第二近接开关10连接在该开关支架8上后安装在所述支撑架2上。所述的固定爪6与支撑架2之间形成的夹角α的夹角范围为90-270°；所述的弹簧4与支撑架2之间形成的夹角β的夹角范围为30-150°。所述的固定爪6上安装转动手柄。固定爪在弹簧的作用下有两种位置状态，在单晶硅生长炉正常使用过程中，固定爪位于状态二，即固定爪的头端位于第一近接开关上方时，所述第一近接开关感应到固定爪，此时炉盖上升和下降都不会碰到固定爪；在长晶前及长晶后，操作者需要将炉盖上升到确定高度及特定位置，当第二近接开关感应到炉盖处于这个特定的高度即位置后，只需要手动转动固定爪或固定爪上的转动手柄，将固定爪朝向炉盖导向轴方向翻转180，此时固定爪位于状态一，且固定爪的挂钩正好挂住炉盖的槽孔，对炉盖起到定位作用，这个时候可以提升炉筒，不会造成炉盖与炉筒的碰撞。实施例2：其余同实施例1，如图3所示的一种单晶硅生长炉炉盖固定装置，中所述的弹簧4外套设保护壳。在于所述第一弹簧支柱3同侧的支撑架2表面安装自动推杆机构，所述自动推杆机构与所述保护壳配适连接。进一步地通过两个自动推杆机构实现在第二近接开关感应到炉盖位置时，自动推动固定爪，使固定爪位于需要位置的作用。以上已对本技术创造的较佳实施例进行了具体说明，但本技术创造并不限于所述的实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本技术创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换，这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅生长炉炉盖固定装置，包括安装在单晶炉机架立柱上的基座(1)，其特征在于，所述基座(1)垂直向上伸出支撑架(2)，所述支撑架(2)的顶端安装垂直朝向于炉盖导向轴的固定爪(6)，所述固定爪(6)的尾端与所述支撑架(2)铰接、头端上设有与所述炉盖的槽孔相配适的挂钩(61)；在所述支撑架(2)上部的一侧设有第一弹簧支柱(3)，所述固定爪(6)的一侧设有第二弹簧支柱(5)，在该第一弹簧支柱(3)与第二弹簧支柱(5)之间安装弹簧(4)，所述固定爪(6)以第一弹簧支柱(3)为轴心、以弹簧(4)的长度为轴长绕支撑架(2)进行周向运动；在所述支撑架(2)上还设有与所述固定爪(6)相配适的第一近接开关(9)以及垂直于所述炉盖导向轴的第二近接开关(10)，所述第一近接开关(9)的感应面垂直向上，所述第二近接开关(10)的感应面朝向所述炉盖导向轴。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生长炉炉盖固定装置，包括安装在单晶炉机架立柱上的基座(1)，其特征在于，所述基座(1)垂直向上伸出支撑架(2)，所述支撑架(2)的顶端安装垂直朝向于炉盖导向轴的固定爪(6)，所述固定爪(6)的尾端与所述支撑架(2)铰接、头端上设有与所述炉盖的槽孔相配适的挂钩(61)；在所述支撑架(2)上部的一侧设有第一弹簧支柱(3)，所述固定爪(6)的一侧设有第二弹簧支柱(5)，在该第一弹簧支柱(3)与第二弹簧支柱(5)之间安装弹簧(4)，所述固定爪(6)以第一弹簧支柱(3)为轴心、以弹簧(4)的长度为轴长绕支撑架(2)进行周向运动；在所述支撑架(2)上还设有与所述固定爪(6)相配适的第一近接开关(9)以及垂直于所述炉盖导向轴的第二近接开关(10)，所述第一近接开关(9)的感应面垂直向上，所述第二近接开关(10)的感应面朝向所述炉盖导向轴。2.根据权利要求1所述的单晶硅生长炉炉盖固定装...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海，贺贤汉，郡司拓，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31