【技术实现步骤摘要】
一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置
本技术涉及蓝宝石衬底加工
,尤其涉及一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置。
技术介绍
通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。蓝宝石图形衬底也即蓝宝石衬底的图形化,对于提高LED出光效率具有工艺简单,而且效果稳定的特点,从各种统计数据可以看到,LED出光效率至少提高30%以上。较好的试验结果表明LED裸芯片可以提高100%以上,封装后也有50%的提高。使用图形衬底是当前MOCVD外延氮化物的必然选择。在对蓝宝石衬底的图形化加工的第一步一般为对蓝宝石进行激光切割成型,激光切割装置的切割操作室若不与外界进行隔离会存在安全隐患,但若存在隔离室,在放入待加工蓝宝石和取出加工完成蓝宝石时过程会比较繁琐,工作人员需要将身体放入切割室中,这无疑也是一种很大的安全隐患。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置,包括装置外壳,所述装置外壳为长方体结构,装置外壳的底端内壁上固定连接有固定块,装置外壳的一侧内壁上固定安装有第一推杆电机,所述固定块的顶端滑动连接有滑动块,所述滑动块的顶端固定连接有放置块,所述滑动块的一侧与第一推杆电机的输出轴固定连接,所述装置外壳的一侧开设有开口,且装置外壳靠 ...
【技术保护点】
一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置,包括装置外壳(1),其特征在于,所述装置外壳(1)为长方体结构,装置外壳(1)的底端内壁上固定连接有固定块(2),装置外壳(1)的一侧内壁上固定安装有第一推杆电机(3),所述固定块(2)的顶端滑动连接有滑动块(4),所述滑动块(4)的顶端固定连接有放置块(9),所述滑动块(4)的一侧与第一推杆电机(3)的输出轴固定连接,所述装置外壳(1)的一侧开设有开口(5),且装置外壳(1)靠经开口(5)的一侧转动连接有隔离板(6),所述隔离板(6)的一侧开设有滑动槽(7),隔离板(6)与滑动块(4)之间设有斜杆(8),所述斜杆(8)为长方体结构,斜杆(8)的一端与滑动块(4)的一侧转动连接,且斜杆(8)的另一端与滑动槽(7)滑动连接,所述斜杆(8)上开设有滑动口(12),滑动块(4)的一侧固定安装有第二推杆电机(11),所述第二推杆电机(11)的输出轴上固定连接有横杆(13),所述横杆(13)的一端与滑动块(4)的一侧滑动连接,且横杆(13)通过滑动口(12)贯穿斜杆(8),横杆(13)与滑动口(12)的内壁滑动连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于图形化蓝宝石衬底的加工装置,包括装置外壳(1),其特征在于,所述装置外壳(1)为长方体结构,装置外壳(1)的底端内壁上固定连接有固定块(2),装置外壳(1)的一侧内壁上固定安装有第一推杆电机(3),所述固定块(2)的顶端滑动连接有滑动块(4),所述滑动块(4)的顶端固定连接有放置块(9),所述滑动块(4)的一侧与第一推杆电机(3)的输出轴固定连接,所述装置外壳(1)的一侧开设有开口(5),且装置外壳(1)靠经开口(5)的一侧转动连接有隔离板(6),所述隔离板(6)的一侧开设有滑动槽(7),隔离板(6)与滑动块(4)之间设有斜杆(8),所述斜杆(8)为长方体结构,斜杆(8)的一端与滑动块(4)的一侧转动连接,且斜杆(8)的另一端与滑动槽(7)滑动连接,所述斜杆(8)上开设有滑动口(12),滑动块(4)的一侧固定安装有第二推杆电机(11),所述第二推杆电机(11)的输出轴上固定连接有横杆(13),所述横杆(13)...
【专利技术属性】
技术研发人员:候想,仇凯弘,
申请(专利权)人:福建中晶科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。