减反膜镜片及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种减反膜镜片，包括：基材；减反膜，设置在所述基材的一个表面上；所述减反膜由在所述基材的一个表面上依次堆叠的十层结构层构成；所述依次堆叠的十层结构层中的前九层机构层由交替堆叠的低折射层和高折射率层构成，第十层为防水层；所述依次堆叠的十层结构层分别为：第一低折射率层、第一高折射率层、第二低折射率层、第二高折射率层、第三低折射率层、第三高折射率层、第四低折射率层、第四高折射率层、第五低折射率层和第一防水层。根据本发明专利技术的减反膜镜片的耐刮擦性能、机械性能以及防水性能好。

Antireflective film and its preparation method

The invention relates to an antireflection film lens, including: a substrate; antireflection film arranged on one surface of the substrate; the antireflection coating composed in ten layers of structure layer on the surface of a sequential stack of the substrate; the ten layer are sequentially stacked in layers the nine layer structure layer is composed of low refractive index layers stacked alternately and high refractive index layers, the tenth layer is a waterproof layer; the ten layer structure of the layer are sequentially stacked respectively: the first low refractive index layer, the first layer of high refractive index and low refractive index layer second and second layer of high refractive index, low third the refractive index layer, the third high refractive index layer, fourth low refractive index layer, fourth layer of high refractive index and low refractive index layer fifth and the first waterproof layer. The antifriction film lenses of the invention have good scratch resistance, mechanical properties and waterproof properties.

【技术实现步骤摘要】
减反膜镜片及其制备方法
本专利技术涉及一种减反膜镜片及其制备方法。
技术介绍
中国专利201110434960.5公开了一种高强度减反膜系结构。这种减反膜系结构适用于S-FPL51、S-BSM81和LAK10等玻璃基材，减反膜中镀制有中折射率的MgF2和AL2O3材料层。这种减反膜系结构构成的镜片膜层的耐刮擦性能和机械性能不够强，达不到塑胶镜片镀制减反膜对于机械性能的要求。玻璃球面镜片超硬防水减反膜主要应用于可拍照手机摄像头、水下作业摄像头及车载摄像头等数码成像等领域。运动摄像机(SDV)光学模组。为达到雨中或水下作业的成像清晰度及膜层表面的耐擦性，采用第一枚玻璃球面镜片镀制超硬防水减反膜取代普通的ARfilter(减反膜)，采取普通的ARfilter(减反膜)加工的产品：膜层耐刮擦性差，与防水性能差，膜层性能达不到使用要求，且使用寿命短，在雨中成像模糊等缺点。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种耐刮擦性能、机械性能以及防水性能好的减反膜镜片，以及这种减反膜镜片的制备方法。为实现上述目的，本专利技术提供一种减反膜镜片，包括：基材；减反膜，设置在所述基材的一个表面上；所述减反膜由在所述基材的一个表面上依次堆叠的十层结构层构成；所述依次堆叠的十层结构层中的前九层机构层由交替堆叠的低折射层和高折射率层构成，第十层为防水层；所述依次堆叠的十层结构层分别为：第一低折射率层、第一高折射率层、第二低折射率层、第二高折射率层、第三低折射率层、第三高折射率层、第四低折射率层、第四高折射率层、第五低折射率层和第一防水层。根据本专利技术的一个方面，所述基材为玻璃球面镜片。根据本专利技术的一个方面，所述低折射率层的材料为氟化镁。根据本专利技术的一个方面，所述高折射率层的材料为镧钛混合物。根据本专利技术的一个方面，所述防水层由防水药形成。根据本专利技术的一个方面，所述第一低折射率层、所述第一高折射率层、所述第二低折射率层、所述第二高折射率层、所述第三低折射率层、所述第三高折射率层、所述第四低折射率层、所述第四高折射率层和所述第五低折射率层的厚度范围分别为：21.11-21.99nm、27.12-28.25nm、72.85-75.89nm、14.40-15.00nm、71.12-74.08nm、44.20-46.04nm、12.05-12.55nm、72.19-75.02nm、91.21-95.01nm；所述第一防水层的厚度为15nm。为实现上述目的，本专利技术提供一种制备减反膜镜片的方法，包括以下步骤：(a)采用离子源清洗工艺清洗基材；(b)真空状态下在基材的一个面上交替堆叠地镀制九层低折射率层和高折射率层，然后镀制防水层形成减反膜；(c)持续真空状态后，完成镀膜。根据本专利技术的一个方面，镀制减反膜的起始真空度为2.5×10-3Pa-3.0×10-3Pa，温度为340-350℃，恒温时间为15-20min。根据本专利技术的一个方面，所述(a)步骤中，离子源清洗时间为1min。根据本专利技术的一个方面，所述(a)步骤中，离子源清洗工艺的离子源参数设定为以下数值或者数值范围，根据本专利技术的一个方面，所述(b)步骤中，各低折射率层的镀膜速率为/S，镀膜真空压力为2.5×10-3Pa；各高折射率层的镀膜速率为/S，镀膜真空压力为8.0×10-3Pa；防水层的镀膜速率为/S，镀膜真空压力为2.5×10-3Pa。根据本专利技术的一个方面，所述(b)步骤中，采用离子源辅助的真空镀膜方法镀膜，离子源参数设定为以下数值或者数值范围，根据本专利技术的一个方面，所述(c)步骤中，镀膜完成后需保持真空状态5min以上。根据本专利技术的减反膜镜片，在玻璃球面镜片的一个表面上沿着远离镜片的方向，依次设置有不同厚度的第一低折射率层、第一高折射率层、第二低折射率层、第二高折射率层、第三低折射率层、第三高折射率层、第四低折射率层、第四高折射率层和第五低折射率层以及防水层，尤其是低折射率层采用氟化镁，高折射率层采用镧钛混合物以及防水层采用防水药时，相较于现有技术，大大提高了减反膜镜片的结构稳定性、耐刮擦性和机械性能以及膜层的牢固程度，同时大大地提高了防水性能。根据本专利技术的制备减反膜镜片方法步骤(a)，采用离子源清洗工艺清洗基材，保证基材的洁净无污，便于后续步骤在基材表面上镀制减反膜。根据本专利技术制备减反膜镜片方法步骤(b)，在恒温340°的真空中镀膜，避免镀膜时外界污染物对膜层造成污染，镀制低折射率层、高折射率层以及防水层时采用不同的镀膜速率和镀膜压力，提高镀制效率的同时，增加了膜层之间的牢固性，也提高了膜层的强度和耐刮擦性。根据本专利技术的镀制减反膜的方法，通过在基材上交替镀制共九层厚度不同的低、高折射率层，再镀制防水层，并且首先镀制低折射率层，使得镀制膜层的强度和膜层之间牢固性大大增强，大幅度的提升了膜层的耐刮擦性。此外，镀膜过程中，采用特定范围参数的离子源辅助镀膜并充入不同流量的氧气和氩气，提高了镀膜的效率，也进一步提升了膜层的机械性能和耐刮擦性。附图说明图1是示意性表示根据本专利技术的一种实施方式的减反膜镜片的结构示意图；图2是示意性表示根据本专利技术的一种实施方式的玻璃球面镜片减反膜的光谱特性图；图3是示意性表示根据本专利技术的另一种实施方式的玻璃球面镜片减反膜的光谱特性图；图4是示意性表示根据本专利技术的第三种实施方式的玻璃球面镜片减反膜的光谱特性图。具体实施方式为了更清楚地说明本专利技术实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在针对本专利技术的实施方式进行描述时，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”所表达的方位或位置关系是基于相关附图所示的方位或位置关系，其仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此上述术语不能理解为对本专利技术的限制。下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作详细地描述，实施方式不能在此一一赘述，但本专利技术的实施方式并不因此限定于以下实施方式。图1是示意性表示根据本专利技术的一种实施方式的减反膜镜片的结构示意图。如图1所示，根据本专利技术的减反膜镜片包括基材1和减反膜2。减反膜2镀制在基材1的一个表面上，根据本专利技术的减反膜镜片，基材1的材料选用玻璃材料制成。在本实施方式中，基材1的材料为玻璃球面镜片。减反膜2镀制在如图1所示的基材1的上表面上。根据本专利技术的减反膜2由十层结构层构成，十层结构层分为低折射率层、高折射率层和防水层三种，并且十层结构层的前九层(即靠近基材1至远离基材1依次堆叠的九层)结构层是由低折射率层和高折射率层交替堆叠组成的，第十层是防水层。在本实施方式中，如图1所示，十层结构层沿着远离基材1的方向分别为第一低折射率层201、第一高折射率层202、第二低折射率层203、第二高折射率层204、第三低折射率层205、第三高折射率层206、第四低折射率层207、第四高折射率层208、第五低折射率层209和第一防水层210。换言之，减反膜2是按照第一低折射率层201、第一高折射率本文档来自技高网...

【技术保护点】
减反膜镜片，包括：基材(1)；减反膜(2)，设置在所述基材(1)的一个表面上；其特征在于，所述减反膜(2)由在所述基材(1)的所述表面上依次堆叠的十层结构层构成；所述依次堆叠的十层结构层中的前九层机构层由交替堆叠的低折射层和高折射率层构成，第十层为防水层；所述依次堆叠的十层结构层分别为：第一低折射率层(201)、第一高折射率层(202)、第二低折射率层(203)、第二高折射率层(204)、第三低折射率层(205)、第三高折射率层(206)、第四低折射率层(207)、第四高折射率层(208)、第五低折射率层(209)和第一防水层(210)。

【技术特征摘要】
1.减反膜镜片，包括：基材(1)；减反膜(2)，设置在所述基材(1)的一个表面上；其特征在于，所述减反膜(2)由在所述基材(1)的所述表面上依次堆叠的十层结构层构成；所述依次堆叠的十层结构层中的前九层机构层由交替堆叠的低折射层和高折射率层构成，第十层为防水层；所述依次堆叠的十层结构层分别为：第一低折射率层(201)、第一高折射率层(202)、第二低折射率层(203)、第二高折射率层(204)、第三低折射率层(205)、第三高折射率层(206)、第四低折射率层(207)、第四高折射率层(208)、第五低折射率层(209)和第一防水层(210)。2.根据权利要求1所述的减反膜镜片，其特征在于，所述低折射率层的材料为氟化镁。3.根据权利要求1所述的减反膜镜片，其特征在于，所述高折射率层的材料为镧钛混合物。4.根据权利要求1所述的减反膜镜片，其特征在于，所述基材(1)为玻璃球面镜片。5.根据权利要求4所述的减反膜镜片，其特征在于，所述防水层由防水药形成。6.根据权利要求1至5之一所述的减反膜镜片，其特征在于，所述第一低折射率层(201)、所述第一高折射率层(202)、所述第二低折射率层(203)、所述第二高折射率层(204)、所述第三低折射率层(205)、所述第三高折射率层(206)、所述第四低折射率层(207)、所述第四高折射率层(208)和所述第五低折射率层(209)的厚度范围分别为：21.11-21.99nm、27.12-28.25nm、72.85-75.89nm、14.40-15.00nm、71.12-74...

【专利技术属性】
技术研发人员：李毅桢，聂小飞，叶忠海，谢志高，唐甫星，朱继昌，蒋连林，陈斌，万秋进，郑素丽，
申请(专利权)人：舜宇光学中山有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44